一种表晶圆柱体的除油装置的制作方法

文档序号:19965639发布日期:2020-02-18 13:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种表晶圆柱体的除油装置,其特征在于,包括:机架、驱动电机、传动链、若干滚动机构及若干滚筒;

所述驱动电机的固定端设置在所述机架上,所述驱动电机的输出端设置有第一齿轮;

若干所述滚动机构与若干所述滚筒一一对应,所述滚筒设置在相对应的滚动机构上;

所述滚动机构包括:两个滚轴;

两个所述滚轴的可转动地设置在所述机架上,两个所述滚轴的同一端均设置有第二齿轮,所述传动链套接在所述第一齿轮及两个所述第二齿轮上,所述传动链分别与所述第一齿轮及两个所述第二齿轮相啮合。

2.根据权利要求1所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于:

所述滚筒的直径大于两个所述滚轴之间的间距。

3.根据权利要求1所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于,所述滚筒包括:筒体及筒盖;

所述筒盖与所述筒体可拆卸式的连接。

4.根据权利要求3所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于:

所述筒盖上设置有压力表及压力开关。

5.根据权利要求4所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于,所述表晶圆柱体的除油装置还包括:抽压泵及抽压管;

所述抽压泵通过所述抽压管与所述压力开关连通。

6.根据权利要求3所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于:

所述筒盖上设置有把手。

7.根据权利要求1所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于:

若干所述滚动机构等间距均匀间隔设置在所述机架上;

每两个相邻的所述滚动机构之间的间距大于所述滚筒的直径。

8.根据权利要求1所述的表晶圆柱体的除油装置,其特征在于,所述滚动机构还包括:两个第一轴承座及两个第二轴承座;

两个所述第一轴承座及两个所述第二轴承座均设置在所述机架上;

两个所述第一轴承座的位置与两个所述第二轴承座的位置相对应;

所述滚轴设置有第二齿轮的端部可转动式地穿过所述第一轴承座,所述滚轴远离所述第二齿轮的端部可转动式地设置在所述第二轴承座内。

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