8]制冷装置可以包含一个具有高压接口和低压接口的膨胀阀60用于对制冷剂55进行降压，该膨胀阀60在高压接口 62处获得在制冷剂回路54中循环的制冷剂55。然后膨胀阀60通过低压接口 66将制冷剂55输送至冷凝-热交换器的二次侧。
[0139]通过膨胀阀60的膨胀，制冷剂55被蒸发，所需的蒸发热量来自在处理腔室14中吸收的环境气体中蒸汽和/或雾状和/或气体成分的冷凝过程中释放出的冷凝热量。
[0140]现在，经过蒸发的气体状的制冷剂55通过压缩机56的低压接口68被抽吸至制冷剂回路54中，并被压缩。在压缩过程中，气体状的制冷剂55通过压缩热量被明显加热。
[0141]用于加热在工件处理过程中已经冷却的液体处理介质的加热-热交换器3501因此可以以更加有利的方式安排在压缩机56的高压接口62的后方。通过将仍然为气态的、较热的制冷剂55释放冷凝热量至液体处理介质中，制冷剂被55冷却，且完全或者部分被重新转化为液体状态。同时，处理介质被加热，该介质通过热交换器70的二次侧74进行输送。
[0142]比较有利的方法是，对工件处理或者作用过程中所使用的体积流直接进行加热或者至少一种工件处理液体介质的体积流直接进行加热。
[0143]因此，本发明的一种思想在于，安排在处理腔室14处理区域16中的工件施加液体介质的装置20通过输送管道获得液体介质18，该液体介质18至少部分经过第二加热装置35ο
[0144]该装置也可以包含一种安排在输送管道28中的输送装置26，该输送装置26从储存容器24中向安排在处理处理腔室14处理区域16中的工件12施加液体的装置20输送液体介质18，向安排在处理腔室14处理区域16中的工件12施加液体的装置20至少部分在第二加热装置35之间进行移动。由此不需要对向安排在处理处理腔室14处理区域16中的工件施加液体的装置20的整体进行加热，而只需要对所使用的、较小的处理体积流，例如通过喷嘴输送至工件的处理体积流进行加热。由此在操作设备的过程中可以节省能量和时间。
[0145]该装置也可以包含一个在将液体施加至安排在处理区的工件后将液体介质输送至储存容器24中的液体收集装置。此外，在该装置中也可以包含一个第一加热装置25用于对储存容器24中收集的液体介质18进行恒温处理的第一加热装置25。
[0146]本发明的思想还在于，在加热装置的热交换器中，对在加热液体处理介质中已经冷却的、同时已经完全或者部分转化为液态的制冷剂经过其他的热交换器或者通过多个其他的热交换器进行输送。由此，待循环的制冷剂55可以进一步冷却，同时也可以完全转化为液态。该措施可以将抽吸出的液体介质18中的蒸汽和/或雾状和/或气体成分在冷凝时产生的全部热量从制冷剂55中无剩余地排出。
[0147]例如，该装置可以具有一个热5交换器，该热5交换器具有一个冷凝器44中冷却气体介质1801流经的二次侧和一个制冷剂55在制冷剂回路54中流经的一次侧，对此，热交换器70从热交换器的一次侧72向热交换器的二次侧74传递热量。
[0148]尤其是，该热交换器70可以具有一个冷凝器44中冷却的气体介质1801流经的二次侧，对此，用于加热的热交换器由冷凝器44中冷却的气体介质1801通过从一次侧向二次侧传递热量从加热-热交换器3501中获得制冷剂回路54中循环的制冷剂55，并输送至膨胀阀60的高压接口 62。
[0149]由此，抽吸出的气体的以及在冷凝器44中冷却并冷凝的介质被重新加热。进而可以实现，如果在环境温度TU低于废气温度TA时向环境中释放废气，从设备中释放出的废气不会冷凝为液体。由此，抽吸的具有取决于温度TA的饱和浓度的气体介质1801，在和环境空气混合时会再次冷却，并使得多余的湿气转化为雾气。通过额外加热抽吸的气体介质，在和环境空气混合后不会达到饱和点。
[0150]具体地，如图1所示，工件12在清洗设备10的处理腔室14的内部区域39中被液体介质18处理。液体介质18为处理介质。清洗设备10可对工件12进行清洗，也可以通过液体介质18对工件12进行表面处理。
[0151]在处理腔室4中，工件12处理区域域16中被液体介质18处理。液体介质18通过喷嘴20被输送至处理区域16中的工件12上。喷嘴为向工件12施加液体介质的装置。通过收集槽22可以收集处理腔室14中的液体介质18，并在重力的作用下，使其流动到储存容器24中。
[0152]液体介质18在清洗设备10中循环使用。储存容器24收集清洗设备10中的液体介质18并利用由输送栗构成的输送装置26通过输送管路28重新输送至喷嘴20。为了保持储存容器24中收集的液体介质18的温度恒定，在清洗设备10中安装了一个第一加热装置25。第一加热装置25可以使用电能，也可以使用化石燃料(例如汽油)。处理腔室14包括的入口 30和出口32。在清洗设备10中，幕帘29，幕帘34用来在入口30和出口32处的隔离装置。清洗设备10的包含一个输送装置(未标出)，通过这个输送装置将工件12通过处理腔室14的入口 30按照箭头33移动至处理区域域16中，并从处理区域域16通过出口32按照箭头33方向输送至室外。
[0153]液体介质18流经输送管路28中的加热-热交换器35。通过加热-热交换器3501对输送管路28中流动的液体介质18进行恒温控制。通过该装置，位于处理腔室14处理区域16中的工件12在被处理器，可以将液体介质18加热至最佳的处理温度TR。为了调节加热-热交换器35中的液体介质18，在输送管路28上安装了入口比例调节阀36和出口比例调节阀38，使得加热-热交换器3501可以对输送至喷嘴20的液体介质18进行精确的温度控制。
[0154]需要说明的是，可以通过增加一个旁路管道(未标识)对清洗设备10进行改进。在该管道中，作为处理液体的液体介质18被完全或者部分输送至加热-热交换器3501。由此，设备10中的液体介质18可以借助加热-热交换器3501调节至设定的温度。用于加热储存容器24中收集的液体介质18的第一加热装置25为辅助加热装置。通过该加热装置25可以在启动清洗设备10或者在暂停后再启动清洗设备10或者加热-热交换器3501对液体介质18的加热不足时，保证清洗设备10中处理的工件12的液体介质18具有设定处理温度TR。抽吸出的气体经冷凝器44冷凝后被重新加热。由此可以在外界环境温度TU低于废气温度TA时，避免设备向外界环境排放的废气发生冷凝。如果设备排放温度为TA的饱和水蒸汽，其与外界环境空气混合并发生再次冷却，使得部分水汽转化为水雾。通过对冷凝气体的二次加热，可以避免废气与外界环境空气混合后不会达到饱和。
[0155]清洗设备10具有一个从处理腔室14内部区域39中抽吸水汽1801的抽吸装置37。抽吸装置37通过带有排气风机42的抽吸管道40与内部区域39相连。排气风机42为离心式风机。排气风机42可以在处理腔室14的内部区域39中产生一个相对于处理腔室14外大气压力PA的负压PU。由此，可以避免作为处理液体的液体介质1801不会从处理腔室14内部区域39中通过腔室的入口 30和出口 32溢出。在处理区域16中以液滴、蒸汽或者水雾的形式向工件12施加液体介质18时，液体介质18会进入处理腔室处理腔室14的内部区域39中。排气风机42抽吸处理腔室14内部区域39的气体介质1801，并通过抽吸管道40输送至冷凝器44的中。在冷凝器44中，气体介质1801中的液体部分被冷凝，并以冷凝液19的形式返回储存容器24中。由此，在冷凝器44中，从处理腔室14中抽吸出的用作处理液体的液体介质18的气体介质1801被分离，即被去除。在冷凝器44中去除液体介质后的气体由清洗设备10的排气管道46排至外界环境48中。
[0156]清洗设备10包含制冷装置52，该制冷装置52具有一个制冷剂回路54和一个高压接口以及低压接口。在其制冷剂回路中，制冷剂55在加热和冷却端间循环流动。制冷装置制冷装置52具有一个安装在制冷剂回路54中的用于压缩制冷剂55的受控的压缩机56以及压缩机56的低压接口 68和压缩机56的高压接口 64。
[0157]此外，在制冷装置制冷装置52中还安装了用于对制冷剂55进行降压，并带有高压接口 62和低压接口 66的膨胀阀60。
[0158]清洗设备10中的第二加热装置35具有一个加热-热交换器3501，制冷剂55流经加热装置的一次侧53，输送至喷嘴的液体介质18流经第二加热装置的二次侧3502。由此，热量由加热装置的一次侧53向加热装置的二次侧3502传递，制冷剂回路54中的制冷剂55被冷却，输送至喷嘴的液体介质18被加热。第二加热装置的一次侧53为制冷装置52的加热端。
[0159]设备10中的冷凝器44包含一个冷凝-热交换器4401，从处理腔室14内部区域39中抽吸出的水汽1801流经该热交换器的一次侧4401，制冷剂55流经冷凝-热交换器的二次侧50。由此，热量由冷凝-热交换器的一次侧4401向冷凝-热交换器的二次侧50传递，制冷剂回路54中的制冷剂55被加热，流经排气管道46的水汽1801被冷却。冷凝-热交换器的二次侧50为制冷装置52的冷却端。
[0160]制冷装置52的压缩机56将压缩后的制冷剂通过高压接口64输送至第二加热装置的一次侧53。制冷剂回路54中循环的制冷剂经压缩后流经膨胀阀60的高压接口 62，再通过低压接口 66输送至冷凝-热交换器的二次侧50。
[0161]制冷剂回路54中的制冷剂55在冷凝-热交换器的二次侧50被蒸发，并在第二加热装置的一次侧53变为液体。制冷剂从冷凝器44中吸收蒸发热量，该热量在制冷剂液化时被重新释放至第二加热装置35中。
[0162]在设备1中，抽吸至冷凝器44中的水汽1801在冷凝时释放的热量，通过第二加热装置35重新用于加热作为处理液体的液体介质18。
[0163]通过控制压缩机56，可以在需要时对制冷装置52的制冷功率进行调节。