技术特征：
1.一种靶材内壁控温水循环装置，其特征在于：包括水箱(1)，所述水箱(1)内部为空腔且上部开口，所述水箱(1)上部的一侧设置有回水管(14)，所述水箱(1)下部的一侧设置有出水管(12)，所述出水管(12)连接水泵(5)的进水口；所述水箱(1)内部空腔的底部设置有加热管(3)，所述水箱(1)内部空腔内设置有蛇形管(6)，所述蛇形管(6)与冷却装置连接，所述水箱(1)的一侧设置有热电偶(4)，所述水箱(1)的上部设置有上盖(2)，所述上盖(2)的上部设置有电机(21)，所述电机(21)的转轴连接有搅拌桨(22)，所述搅拌桨(22)向下穿过上盖(2)且其下部位于水箱(1)内部。2.根据权利要求1所述的一种靶材内壁控温水循环装置，其特征在于：所述水箱(1)上部的一侧设置有进水管(11)，所述水箱(1)的底部设置有排水管(13)，所述进水管(11)和排水管(13)的另一端都设置有球阀。3.根据权利要求1或2任意一项所述的一种靶材内壁控温水循环装置，其特征在于：所述水箱(1)的外壁可拆卸的连接有保温板(7)。4.根据权利要求3所述的一种靶材内壁控温水循环装置，其特征在于：所述水箱(1)外壁设置有多个钢铁材质的凸柱(15)，所述保温板(7)上设置有多个与凸柱(15)相配合的盲孔(71)，所述盲孔(71)的底部固定有磁铁片(72)。5.根据权利要求3所述的一种靶材内壁控温水循环装置，其特征在于：所述水箱(1)外壁旋转连接有多个旋钮(16)，所述旋钮(16)的顶端呈长方体状，所述保温板(7)上设置有多个长孔(73)，所述旋钮(16)的顶端可以从长孔(73)穿出并且其旋转90
°
后可以将保温板(7)固定在水箱(1)外壁上。
技术总结
本实用新型涉及靶材生产设备技术领域，尤其涉及一种靶材内壁控温水循环装置。包括水箱，所述水箱内部为空腔且上部开口，所述水箱上部的一侧设置有回水管，所述水箱下部的一侧设置有出水管，所述出水管连接水泵的进水口；所述水箱内部空腔的底部设置有加热管，所述水箱内部空腔内设置有蛇形管，所述蛇形管与冷却装置连接，所述水箱的一侧设置有热电偶，所述水箱的上部设置有上盖，所述上盖的上部设置有电机，所述电机的转轴连接有搅拌桨，所述搅拌桨向下穿透上盖且其下部位于水箱内部。本实用新型能提供具有要求温度的循环水，以使得靶材达到要求的温度。达到要求的温度。达到要求的温度。
技术研发人员：施玉良
受保护的技术使用者：法柯特科技（江苏）有限公司
技术研发日：2021.07.09
技术公布日：2021/11/30