一种高真空机组的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于抽真空技术领域，具体涉及一种高真空机组。
【背景技术】
[0002]在国内外稀有金属应用广泛的条件下，对稀有金属加工设备中的真空系统性能需求日益增高，国内普遍的抽真空高真空机组，价格昂贵，结构复杂，对作业场地要求10平方米左右，造价高达20万元左右；而且，现有的高真空机组真空度很难达到要求10_5pa，预抽真空时间长，不能很好地满足使用需求；另外现有技术中的高真空机组还存在着噪音大、设备体型庞大、一般机组处于固定方式、移动不方便等缺陷和不足。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种高真空机组，其结构紧凑，使用时占地面积小，预抽真空时间短，工作可靠性高，工作噪音小，整体移动方便，使用操作便捷，实用性强，使用效果好，便于推广使用。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:一种高真空机组，其特征在于:包括机架以及固定连接在机架顶部的旋片泵和扩散泵，所述机架的底部设置有行走轮，靠近旋片泵进气口的位置处设置有电磁挡板阀，所述扩散泵的进气口上连接有冷阱，所述冷阱上方设置有第一手动挡板阀，所述第一手动挡板阀的旁侧设置有第二手动挡板阀，靠近所述扩散泵的出气口的位置处设置有手动蝶阀；所述旋片泵的进气口与电磁挡板阀的一端连接，所述电磁挡板阀的另一端通过第一波纹管连接有三通管，所述三通管未与第一波纹管连接的两个端口中的其中一个端口通过第二波纹管与第二手动挡板阀的一端连接，所述第二手动挡板阀的另一端与第一手动挡板阀的一端相接，所述第一手动挡板阀上设置有抽真空端口，所述抽真空端口上连接有快插接头，所述第一手动挡板阀的另一端与冷阱连接，所述三通管未与第一波纹管连接的两个端口中的另一个端口与手动蝶阀的一端连接，所述手动蝶阀的另一端与扩散泵的出气口连接。
[0005]上述的一种高真空机组，其特征在于:包括真空计，所述冷阱上连接有用于对所述高真空机组抽真空的真空度进行检测的电阻规和电离规，所述电阻规和电离规均与真空计连接。
[0006]上述的一种高真空机组，其特征在于:包括水冷系统，所述水冷系统包括固定连接在机架顶部且位于旋片泵旁侧的循环水冷却装置，以及与外部水箱相连的进水管和回水管，所述进水管的出水口与循环水冷却装置的冷却水入口相连，所述循环水冷却装置的冷却水出口通过第一输水管与旋片泵的冷却水入口相连，所述旋片泵的冷却水出口通过第二输水管与扩散泵的冷却水入口相连，所述扩散泵的冷却水出口通过第三输水管与冷阱的冷却水入口相连，所述冷阱的冷却水出口与回水管的进水口相连。
[0007]上述的一种高真空机组，其特征在于:所述旋片泵和扩散泵均通过螺栓固定连接在机架顶部。
[0008]上述的一种高真空机组，其特征在于:所述冷阱通过法兰与扩散泵的进气口连接。
[0009]上述的一种高真空机组，其特征在于:所述扩散泵的额定功率为3kW。
[0010]本实用新型与现有技术相比具有以下优点:
[0011]1、本实用新型结构紧凑，使用时占地面积小，设计新颖合理，实现方便。
[0012]2、本实用新型的预抽真空时间短，能够使待抽真空的腔体内部真空度达到l(T5pa，能够很好地满足使用需求。
[0013]3、本实用新型通过设置冷阱，能够有效地防止扩散泵污染到待抽真空的腔体，有效地提高了扩散泵的工作可靠性。
[0014]4、本实用新型通过设置第一波纹管和第二波纹管，能够缓冲旋片泵运转时产生的振动，有效地减小了本实用新型工作时由于旋片泵振动产生的噪音。
[0015]5、本实用新型通过在所述第一手动挡板阀的抽真空端口上连接快插接头，能够方便地通过快插接头连接伸入待抽真空的腔体内部的抽真空管。
[0016]6、本实用新型在机架的底部设置有行走轮，因此本实用新型的高真空机组能够方便地移动。
[0017]7、本实用新型能够应用到稀有金属加工过程中，实用性强，使用效果好，便于推广使用。
[0018]综上所述，本实用新型结构紧凑，使用时占地面积小，预抽真空时间短，工作可靠性高，工作噪音小，整体移动方便，使用操作便捷，实用性强，使用效果好，便于推广使用。
[0019]下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
【附图说明】
[0020]图1为本实用新型的结构示意图。
[0021]附图标记说明:
[0022]I一机架；2—旋片泵；3—扩散泵；
[0023]4一行走轮；5—电磁挡板阀；6—冷阱；
[0024]7一第一手动挡板阀；8一第二手动挡板阀；9一手动蝶阀；
[0025]10—第一波纹管；11 一三通管；12—第二波纹管；
[0026]13—快插接头；14一循环水冷却装置；15—进水管；
[0027]16—回水管；17—第一输水管；18—第二输水管；
[0028]19—第三输水管。
【具体实施方式】
[0029]如图1所示，本实用新型包括机架I以及固定连接在机架I顶部的旋片泵2和扩散泵3，所述机架I的底部设置有行走轮4，靠近旋片泵2进气口的位置处设置有电磁挡板阀5，所述扩散泵3的进气口上连接有冷阱6，所述冷阱6上方设置有第一手动挡板阀7，所述第一手动挡板阀7的旁侧设置有第二手动挡板阀8，靠近所述扩散泵3的出气口的位置处设置有手动蝶阀9 ;所述旋片泵2的进气口与电磁挡板阀5的一端连接，所述电磁挡板阀5的另一端通过第一波纹管10连接有三通管11，所述三通管11未与第一波纹管10连接的两个端口中的其中一个端口通过第二波纹管12与第二手动挡板阀8的一端连接，所述第二手动挡板阀8的另一端与第一手动挡板阀7的一端相接，所述第一手动挡板阀7上设置有抽真空端口，所述抽真空端口上连接有快插接头13，所述第一手动挡板阀7的另一端与冷阱6连接，所述三通管11未与第一波纹管10连接的两个端口中的另一个端口与手动蝶阀9的一端连接，所述手动蝶阀9的另一端与扩散泵3的出气口连接。
[0030]本实施例中，本实用新型还包括真空计，所述冷阱6上连接有用于对所述高真空机组抽真空的真空度