进行检测的电阻规和电离规，所述电阻规和电离规均与真空计连接。
[0031]本实施例中，本实用新型还包括水冷系统，所述水冷系统包括固定连接在机架I顶部且位于旋片泵2旁侧的循环水冷却装置14，以及与外部水箱相连的进水管15和回水管16，所述进水管15的出水口与循环水冷却装置14的冷却水入口相连，所述循环水冷却装置14的冷却水出口通过第一输水管17与旋片泵2的冷却水入口相连，所述旋片泵2的冷却水出口通过第二输水管18与扩散泵3的冷却水入口相连，所述扩散泵3的冷却水出口通过第三输水管19与冷阱6的冷却水入口相连，所述冷阱6的冷却水出口与回水管16的进水口相连。通过设置水冷系统，保证了该高真空机组的长时间稳定可靠工作，延长了该高真空机组的使用寿命。
[0032]本实施例中，所述旋片泵2和扩散泵3均通过螺栓固定连接在机架I顶部。所述冷阱6通过法兰与扩散泵3的进气口连接。所述扩散泵3的额定功率为3kW。
[0033]本实用新型通过设置冷阱6，能够有效地防止扩散泵污染到待抽真空的腔体；通过设置第一波纹管10和第二波纹管12，能够缓冲旋片泵2运转时产生的振动，有效地减小了本实用新型工作时由于旋片泵2振动产生的噪音；通过在所述第一手动挡板阀7的抽真空端口上连接快插接头13，能够方便地通过快插接头13连接伸入待抽真空的腔体内部的抽真空管；由于机架I的底部设置有行走轮4，因此本实用新型的高真空机组能够方便地移动。
[0034]本实用新型使用时，运作前，先将所有阀关闭，进行抽真空时，在快插接头13上连接与待抽真空的腔体相通的抽真空管，首先，启动旋片泵2，并打开手动蝶阀9，当抽真空的真空度达到1Pa以下时，启动扩散泵3 ;然后，关闭手动蝶阀9，打开第二手动挡板阀8，打开快插接头13，对待抽真空的腔体进行抽真空，当抽真空的真空度再次达到1Pa以下时，关闭第二手动挡板阀8，打开手动蝶阀9，开启第一手动挡板阀7，继续对待抽真空的腔体进行抽真空，直至待抽真空的腔体内部真空度满足抽真空需求。抽真空完毕关机时，先关闭第一手动挡板阀7、快插接头13，停止扩散泵3，待扩散泵3的油温冷却至70°C以下时，再关闭手动蝶阀9，停止旋片泵2。
[0035]本实用新型能够使待抽真空的腔体内部真空度达到10_5Pa，预抽真空时间短，能够很好地满足使用需求。
[0036]以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围内。
【主权项】
1.一种高真空机组，其特征在于:包括机架(I)以及固定连接在机架(I)顶部的旋片泵⑵和扩散泵(3)，所述机架⑴的底部设置有行走轮(4)，靠近旋片泵⑵进气口的位置处设置有电磁挡板阀(5)，所述扩散泵(3)的进气口上连接有冷阱￠)，所述冷阱(6)上方设置有第一手动挡板阀(7)，所述第一手动挡板阀(7)的旁侧设置有第二手动挡板阀(8)，靠近所述扩散泵(3)的出气口的位置处设置有手动蝶阀(9);所述旋片泵(2)的进气口与电磁挡板阀(5)的一端连接，所述电磁挡板阀(5)的另一端通过第一波纹管(10)连接有三通管(11)，所述三通管(11)未与第一波纹管(10)连接的两个端口中的其中一个端口通过第二波纹管(12)与第二手动挡板阀(8)的一端连接，所述第二手动挡板阀(8)的另一端与第一手动挡板阀(7)的一端相接，所述第一手动挡板阀(7)上设置有抽真空端口，所述抽真空端口上连接有快插接头(13)，所述第一手动挡板阀(7)的另一端与冷阱(6)连接，所述三通管(11)未与第一波纹管(10)连接的两个端口中的另一个端口与手动蝶阀(9)的一端连接，所述手动蝶阀(9)的另一端与扩散泵(3)的出气口连接。
2.按照权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于:包括真空计，所述冷阱(6)上连接有用于对所述高真空机组抽真空的真空度进行检测的电阻规和电离规，所述电阻规和电离规均与真空计连接。
3.按照权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于:包括水冷系统，所述水冷系统包括固定连接在机架(I)顶部且位于旋片泵(2)旁侧的循环水冷却装置(14)，以及与外部水箱相连的进水管(15)和回水管(16)，所述进水管(15)的出水口与循环水冷却装置(14)的冷却水入口相连，所述循环水冷却装置(14)的冷却水出口通过第一输水管(17)与旋片泵(2)的冷却水入口相连，所述旋片泵(2)的冷却水出口通过第二输水管(18)与扩散泵(3)的冷却水入口相连，所述扩散泵(3)的冷却水出口通过第三输水管(19)与冷阱(6)的冷却水入口相连，所述冷阱(6)的冷却水出口与回水管(16)的进水口相连。
4.按照权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于:所述旋片泵(2)和扩散泵(3)均通过螺栓固定连接在机架(I)顶部。
5.按照权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于:所述冷阱(6)通过法兰与扩散泵⑶的进气口连接。
6.按照权利要求1所述的一种高真空机组，其特征在于:所述扩散泵(3)的额定功率为 3kffo
【专利摘要】本实用新型公开了一种高真空机组，包括机架、旋片泵、扩散泵、电磁挡板阀、冷阱、第一手动挡板阀、第二手动挡板阀和手动蝶阀，机架底部设有行走轮；旋片泵进气口与电磁挡板阀的一端连接，电磁挡板阀的另一端通过第一波纹管连接有三通管，三通管的一个端口通过第二波纹管与第二手动挡板阀的一端连接，第二手动挡板阀的另一端与第一手动挡板阀的一端相接，第二手动挡板阀上设有抽真空端口，抽真空端口上连接有快插接头，第一手动挡板阀的另一端与冷阱连接，三通管的另一个端口与手动蝶阀的一端连接，手动蝶阀的另一端与扩散泵的出气口连接。本实用新型结构紧凑，占地面积小，预抽真空时间短，工作可靠性高、噪音小，整体移动方便。
【IPC分类】F04B39-06, F04B37-14, F04B41-06, F04B39-10, F04B39-00
【公开号】CN204493123
【申请号】CN201520071063
【发明人】张乃禄, 闫锋, 孟智彬
【申请人】西安海联石化科技有限公司
【公开日】2015年7月22日
【申请日】2015年1月31日