针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针的制作方法

文档序号:12189086阅读:来源:国知局

技术特征:

1.针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,包括用于扫描探针显微镜的导电探针,其特征在于:所述的导电探针由导电针体及设置于导电针体自由端的导电针尖构成,该导电针尖上包覆有至少一层固态电介质薄膜。

2.根据权利要求1所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的导电针体为弹性体结构,该弹性体结构为悬臂梁结构、螺旋形弹簧结构或之字形弹簧结构。

3.根据权利要求1或2所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的导电针体包含压阻材料和/或包含压电材料和/或包含反光膜,构成压阻和/或压电和/或反光的探针。

4.根据权利要求1所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的固态电介质薄膜的层数为一层时,该固态电介质薄膜的厚度为0.5-20nm,固态电介质薄膜的层数为多层时,该固态电介质薄膜的总厚度为0.5-20nm,所述的固态电介质薄膜的材质为三氧化二铝、二氧化硅、氯化钠、硫、金刚石、磷或磁性电介质中的一种或多种。

5.根据权利要求1或4所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的固态电介质薄膜是采用沉积或生长的工艺制成的。

6.根据权利要求1所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的导电针尖上均匀包覆有厚度一致的固态电介质薄膜或者所述的导电针尖上包覆有尖端薄两侧厚的固态电介质薄膜或者所述的导电针尖上包覆有尖端厚两侧薄的固态电介质薄膜。

7.根据权利要求1所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的导电针尖上包覆有尖端厚两侧薄的固态电介质薄膜,该尖端厚两侧薄的固态电介质薄膜外侧包覆有中间薄两侧厚的固态电介质薄膜;或者所述的导电针尖上包覆有尖端薄两侧厚的固态电介质薄膜,该尖端薄两侧厚的固态电介质薄膜外侧包覆有尖端厚两侧薄的固态电介质薄膜。

8.根据权利要求1所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的导电探针为导电原子力显微镜的导电探针或者所述的导电探针是被折弯的铂铱合金探针或钨探针。

9.根据权利要求1所述的针尖上有固态电介质薄膜的势垒探针,其特征在于:所述的导电针尖的材质为银、铜、铝、铁、钴、钠、钾、镍、铷或钙。

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