一种半导体裸片测试探针设备的制作方法

1.本实用新型属于探针设备相关技术领域，具体涉及一种半导体裸片测试探针设备。


背景技术：

2.探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在ic尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。
3.半导体裸片生产车间，需要对半导体裸片进行测试，在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，保障半导体裸片的质量，在对半导体进行测试时需要使用探针将半导体裸片与检测设备进行连接，传统半导体裸片测试探针设备的探针固定效果差，容易出现探针掉落，需要重新安装，浪费时间，降低半导体裸片测试的效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体裸片测试探针设备，以解决上述背景技术中提出的传统半导体裸片测试探针设备对探针固定效果差的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
6.一种半导体裸片测试探针设备，包括设备本体，所述设备本体的左侧栓接有安装座，所述安装座的内腔活动连接有活动框，所述活动框的内腔活动连接有探针本体，所述活动框的内腔设置有卡接机构。
7.优选的，所述卡接机构包括导向槽、卡块、限位槽、卡槽、固定盒、活动杆、第一弹簧和限位孔，所述活动框内腔的顶部和底部均开设有导向槽，所述导向槽的内腔滑动连接有卡块，所述卡块相向的一侧与探针本体的顶部和底部栓接，所述导向槽内腔正面和背面的右侧均开设有限位槽，所述限位槽的右侧开设有配合卡块使用的卡槽，所述活动框左侧的正面和背面均嵌设有固定盒，所述固定盒两侧的中心处均开设有通孔，且通孔的内腔滑动连接有活动杆，所述活动杆的表面栓接有活动板，所述活动杆的表面缠绕有第一弹簧，所述第一弹簧的左侧与固定盒内腔的左侧栓接，所述第一弹簧的右侧与活动板的左侧栓接，所述卡块的左侧开设有配合活动杆使用的限位孔。
8.优选的，所述安装座内腔右侧的四周均栓接有第二弹簧，所述第二弹簧的左侧与活动框的右侧栓接。
9.优选的，所述安装座内腔的顶部和底部均开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内腔从左至右均依次滑动连接有第一滑块，所述第一滑块相向的一侧贯穿第一滑槽并与活动框的顶部和底部栓接。
10.优选的，所述活动框内腔右侧的顶部和底部均栓接有第三弹簧，所述第三弹簧的
左侧栓接有移动板，所述移动板左侧的中心处栓接有凸块，且凸块的左侧与探针本体的右侧活动连接。
11.优选的，所述活动框内腔顶部和底部的右侧均开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内腔滑动连接有第二滑块，所述第二滑块相向的一侧贯穿第二滑槽并与移动板的顶部和底部栓接。
12.优选的，所述活动杆的左侧栓接有连接件，所述连接件左侧的中心处开设有配合探针本体使用的通槽。
13.本实用新型的有益效果是：
14.1、本实用新型通过导向槽、卡块、限位槽、卡槽、固定盒、活动杆、第一弹簧和限位孔的配合，便于使用者对卡块进行限位，方便对探针本体进行固定，防止探针本体发生晃动脱落，提高了探针本体的稳定性，避免使用者重复安装探针浪费时间，降低半导体裸片测试的效率，解决了传统半导体裸片测试探针设备对探针固定效果差的问题。
15.2、本实用新型通过第二弹簧的配合，便于使用者对活动框进行缓冲，防止探针本体与半导体裸片接触，为了保障接触良好按压设备本体，从而造成半导体裸片破损，提高了半导体裸片的损坏率，通过第一滑槽和第一滑块的配合，便于使用者对活动框进行限位，防止活动框发生晃动，同时辅助活动框进行左右移动，通过第三弹簧、移动板和凸块的配合，便于探针本体与凸块良好接触，避免探针与设备本体接触不良，造成对半导体裸片测试不通过，通过第二滑槽和第二滑块的配合，便于使用者对移动板进行限位，防止移动板发生晃动，同时辅助移动板进行左右移动，通过连接件的配合，便于使用者同时对活动杆进行移动，方便对探针本体进行安装固定。
附图说明
16.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
17.图1为本实用新型提出的一种半导体裸片测试探针设备示意图；
18.图2为本实用新型提出一种半导体裸片测试探针设备的结构剖视图；
19.图3为本实用新型提出活动框的结构俯视剖面图；
20.图4为本实用新型提出活动框的结构左视剖面图。
21.图例说明：1、设备本体；2、安装座；3、活动框；4、探针本体；5、卡接机构；51、导向槽；52、卡块；53、限位槽；54、卡槽；55、固定盒；56、活动杆；57、第一弹簧；58、限位孔；6、第二弹簧；7、第一滑槽；8、第一滑块；9、第三弹簧；10、移动板；11、第二滑槽；12、第二滑块；13、连接件。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1
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图4，一种半导体裸片测试探针设备，包括设备本体1，设备本体1的左
侧栓接有安装座2，安装座2的内腔活动连接有活动框3，活动框3的内腔活动连接有探针本体4，活动框3的内腔设置有卡接机构5，通过导向槽51、卡块52、限位槽53、卡槽54、固定盒55、活动杆56、第一弹簧57和限位孔58 的配合，便于使用者对卡块52进行限位，方便对探针本体4进行固定，防止探针本体4发生晃动脱落，提高了探针本体4的稳定性，避免使用者重复安装探针浪费时间，降低半导体裸片测试的效率，解决了传统半导体裸片测试探针设备对探针固定效果差的问题。
24.卡接机构5包括导向槽51、卡块52、限位槽53、卡槽54、固定盒55、活动杆56、第一弹簧57和限位孔58，活动框3内腔的顶部和底部均开设有导向槽51，导向槽51的内腔滑动连接有卡块52，卡块52相向的一侧与探针本体4的顶部和底部栓接，导向槽51内腔正面和背面的右侧均开设有限位槽 53，限位槽53的右侧开设有配合卡块52使用的卡槽54，活动框3左侧的正面和背面均嵌设有固定盒55，固定盒55两侧的中心处均开设有通孔，且通孔的内腔滑动连接有活动杆56，活动杆56的表面栓接有活动板，活动杆56的表面缠绕有第一弹簧57，第一弹簧57的左侧与固定盒55内腔的左侧栓接，第一弹簧57的右侧与活动板的左侧栓接，卡块52的左侧开设有配合活动杆 56使用的限位孔58，通过导向槽51、卡块52、限位槽53、卡槽54、固定盒 55、活动杆56、第一弹簧57和限位孔58的配合，便于使用者对卡块52进行限位，方便对探针本体4进行固定，防止探针本体4发生晃动脱落，提高了探针本体4的稳定性，避免使用者重复安装探针浪费时间，降低半导体裸片测试的效率。
25.安装座2内腔右侧的四周均栓接有第二弹簧6，第二弹簧6的左侧与活动框3的右侧栓接，通过第二弹簧6的配合，便于使用者对活动框3进行缓冲，防止探针本体4与半导体裸片接触，为了保障接触良好按压设备本体1，从而造成半导体裸片破损，提高了半导体裸片的损坏率。
26.安装座2内腔的顶部和底部均开设有第一滑槽7，第一滑槽7的内腔从左至右均依次滑动连接有第一滑块8，第一滑块8相向的一侧贯穿第一滑槽7并与活动框3的顶部和底部栓接，通过第一滑槽7和第一滑块8的配合，便于使用者对活动框3进行限位，防止活动框3发生晃动，同时辅助活动框3进行左右移动。
27.活动框3内腔右侧的顶部和底部均栓接有第三弹簧9，第三弹簧9的左侧栓接有移动板10，移动板10左侧的中心处栓接有凸块，且凸块的左侧与探针本体4的右侧活动连接，通过第三弹簧9、移动板10和凸块的配合，便于探针本体4与凸块良好接触，避免探针与设备本体1接触不良，造成对半导体裸片测试不通过。
28.活动框3内腔顶部和底部的右侧均开设有第二滑槽11，第二滑槽11的内腔滑动连接有第二滑块12，第二滑块12相向的一侧贯穿第二滑槽11并与移动板10的顶部和底部栓接，通过第二滑槽11和第二滑块12的配合，便于使用者对移动板10进行限位，防止移动板10发生晃动，同时辅助移动板10进行左右移动。
29.活动杆56的左侧栓接有连接件13，连接件13左侧的中心处开设有配合探针本体4使用的通槽，通过连接件13的配合，便于使用者同时对活动杆56 进行移动，方便对探针本体4进行安装固定。
30.工作原理：使用者卡块52与导向槽51对齐，随后使用者带动探针本体4 向右移动，同时探针本体4的右侧与凸块接触并带动移动板10向右移动，随后卡块52移动至导向槽51内腔的右侧，同时使用者转动探针本体4，随后探针本体4带动卡块52在限位槽53的内腔转
动，同时使用者提拉连接件13向左移动，随后连接件13带动活动杆56向左移动，同时卡块52继续转动，随后使用者松开连接件13，同时第一弹簧57通过活动板带动活动杆56向右移动并与限位孔58卡接，随后活动杆56带动卡块52与卡槽54卡接，在使用探针本体4对半导体裸片进行测试时，探针本体4的左侧与半导体裸片接触并按压设备本体1，使探针本体4与半导体裸片良好接触，此时活动框3在安装座2的内腔进行左右移动，避免探针本体4对半导体裸片挤压损坏。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。