一种半导体裸片测试探针设备的制作方法

文档序号:26761646发布日期:2021-09-25 09:25阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种半导体裸片测试探针设备,包括设备本体(1),其特征在于:所述设备本体(1)的左侧栓接有安装座(2),所述安装座(2)的内腔活动连接有活动框(3),所述活动框(3)的内腔活动连接有探针本体(4),所述活动框(3)的内腔设置有卡接机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种半导体裸片测试探针设备,其特征在于:所述卡接机构(5)包括导向槽(51)、卡块(52)、限位槽(53)、卡槽(54)、固定盒(55)、活动杆(56)、第一弹簧(57)和限位孔(58),所述活动框(3)内腔的顶部和底部均开设有导向槽(51),所述导向槽(51)的内腔滑动连接有卡块(52),所述卡块(52)相向的一侧与探针本体(4)的顶部和底部栓接,所述导向槽(51)内腔正面和背面的右侧均开设有限位槽(53),所述限位槽(53)的右侧开设有配合卡块(52)使用的卡槽(54),所述活动框(3)左侧的正面和背面均嵌设有固定盒(55),所述固定盒(55)两侧的中心处均开设有通孔,且通孔的内腔滑动连接有活动杆(56),所述活动杆(56)的表面栓接有活动板,所述活动杆(56)的表面缠绕有第一弹簧(57),所述第一弹簧(57)的左侧与固定盒(55)内腔的左侧栓接,所述第一弹簧(57)的右侧与活动板的左侧栓接,所述卡块(52)的左侧开设有配合活动杆(56)使用的限位孔(58)。3.根据权利要求1所述的一种半导体裸片测试探针设备,其特征在于:所述安装座(2)内腔右侧的四周均栓接有第二弹簧(6),所述第二弹簧(6)的左侧与活动框(3)的右侧栓接。4.根据权利要求1所述的一种半导体裸片测试探针设备,其特征在于:所述安装座(2)内腔的顶部和底部均开设有第一滑槽(7),所述第一滑槽(7)的内腔从左至右均依次滑动连接有第一滑块(8),所述第一滑块(8)相向的一侧贯穿第一滑槽(7)并与活动框(3)的顶部和底部栓接。5.根据权利要求1所述的一种半导体裸片测试探针设备,其特征在于:所述活动框(3)内腔右侧的顶部和底部均栓接有第三弹簧(9),所述第三弹簧(9)的左侧栓接有移动板(10),所述移动板(10)左侧的中心处栓接有凸块,且凸块的左侧与探针本体(4)的右侧活动连接。6.根据权利要求1所述的一种半导体裸片测试探针设备,其特征在于:所述活动框(3)内腔顶部和底部的右侧均开设有第二滑槽(11),所述第二滑槽(11)的内腔滑动连接有第二滑块(12),所述第二滑块(12)相向的一侧贯穿第二滑槽(11)并与移动板(10)的顶部和底部栓接。7.根据权利要求2所述的一种半导体裸片测试探针设备,其特征在于:所述活动杆(56)的左侧栓接有连接件(13),所述连接件(13)左侧的中心处开设有配合探针本体(4)使用的通槽。

技术总结
本实用新型属于探针设备相关技术领域,具体涉及一种半导体裸片测试探针设备,包括设备本体,所述设备本体的左侧栓接有安装座,所述安装座的内腔活动连接有活动框,所述活动框的内腔活动连接有探针本体,所述活动框的内腔设置有卡接机构。本实用新型通过导向槽、卡块、限位槽、卡槽、固定盒、活动杆、第一弹簧和限位孔的配合,便于使用者对卡块进行限位,方便对探针本体进行固定,防止探针本体发生晃动脱落,提高了探针本体的稳定性,避免探针松动掉落频繁,造成使用者重复安装探针浪费时间,不利于测试的进行,降低半导体裸片测试的效率,解决了传统半导体裸片测试探针设备对探针固定效果差的问题。果差的问题。果差的问题。


技术研发人员:刘静 陈伟
受保护的技术使用者:芯冠(苏州)半导体有限公司
技术研发日:2020.12.08
技术公布日:2021/9/24
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1