技术特征：
1.一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，包括托板(1)、弯管(2)、传输装置(3)、法兰(4)、电磁阀(5)、玻璃管(7)和单晶硅压力传感器(9)；所述托板(1)上设置有单晶硅压力传感器(9)和传输装置(3)，所述单晶硅压力传感器(9)的输出端连接传输装置(3)的输入端，所述传输装置(3)的输出端连接数据处理装置的输入端；所述玻璃管(7)设置在法兰(4)上，所述玻璃管(7)的上端连通冷凝器的排水口，玻璃管(7)的底部设置有出水管道，出水管道上设置有电磁阀(5)；所述单晶硅压力传感器(9)连通弯管(2)的一端，弯管(2)的一端的另一端连接玻璃管(7)的底部。2.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述玻璃管(7)呈圆柱形结构，玻璃管(7)的内部呈变径结构。3.根据权利要求2所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述玻璃管(7)内部上端的直径大于下端的直径。4.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述玻璃管(7)的外侧设置有螺杆(6)，螺杆(6)的一端固定在法兰(4)上，螺杆(6)的另一端固定在排气分离器法兰上，排气分离器法兰固定在玻璃管(7)的上端，排气分离器法兰连通冷凝器的排水口。5.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述螺杆(6)的数量为3个，螺杆(6)周向均匀分布在玻璃管(7)的外侧壁上。6.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述托板(1)上设置有防护罩(8)，所述单晶硅压力传感器(9)和传输装置(3)设置在防护罩(8)内部。7.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述弯管(2)的两端安装高度相同。8.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述玻璃管(7)与法兰(4)的连接部位设置有密封胶。9.根据权利要求1所述的一种高真空智能微水测量装置，其特征在于，所述传输装置(3)为无线传输装置。10.一种高真空智能微水测量方法，其特征在于，基于权利要求1
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9任意一项所述的一种高真空智能微水测量装置，包括以下过程，在产品汽相干燥高真空干燥阶段，干燥罐内抽出的气体经过冷凝器持续排出水至玻璃管(7)内，弯管(2)将玻璃管(7)内水压传至单晶硅压力传感器(9)，单晶硅压力传感器(9)测量液体静压与实际大气压之差，单晶硅压力传感器(9)通过传输装置(3)输出至数据处理装置，计算得到出水量、累计出水量和出水率，用于干燥终点判断。
技术总结
本发明公开了一种高真空智能微水测量装置和方法，包括托板、弯管、传输装置、法兰、电磁阀、玻璃管和单晶硅压力传感器；托板上设置有单晶硅压力传感器和传输装置，单晶硅压力传感器的输出端连接传输装置的输入端，传输装置的输出端连接数据处理装置的输入端；玻璃管设置在法兰上，玻璃管的上端连通冷凝器的排水口，玻璃管的底部设置有出水管道，出水管道上设置有电磁阀；单晶硅压力传感器连通弯管的一端，弯管的一端的另一端连接玻璃管的底部。通过设置玻璃管和单晶硅压力传感器，测量探头上的液体静压与实际大气压之差，用于干燥终点判断。保证检测数据准确度、降低操作人员劳动强度，更好保证产品干燥质量。更好保证产品干燥质量。更好保证产品干燥质量。
技术研发人员：韩学锋 胡宽海 边渊 赵航 苏保勤
受保护的技术使用者：中国西电电气股份有限公司
技术研发日：2021.06.29
技术公布日：2021/10/8