料 相比，可获得具有优异的频率温度特性的陀螺元件2。另外，在以下，对由水晶构成振动片3 的情况进行说明。
[0074] 振动片3呈在由作为水晶基板的结晶轴的Y轴（机械轴）及X轴（电轴）规定的 XY平面上具有展宽，在Z轴（光轴）方向上具有厚度的板状。即，振动片3由Z切割水晶板 构成。另外，虽然优选为，Z轴与振动片3的厚度方向相一致，但从减少常温附近的频率温 度变化的观点出发，也可以相对于厚度方向而略微（例如，一 5° < 0 <15°左右）倾斜。
[0075] 这种振动片3具有：位于中心部的基部31 ;从基部31向Y轴方向两侧延伸出的第 一、第二检测臂321、322 ;从基部31向X轴方向两侧延伸的第一、第二连结臂331、332 ;从第 一连结臂331的顶端部向Y轴方向两侧延伸出的第一、第二驱动臂341、342 ;以及从第二连 结臂332的顶端部向Y轴方向两侧延伸出的第三、第四驱动臂343、344。
[0076] 第一检测臂321从基部31向+Y轴方向延伸出，并且在其顶端部处设置有宽幅的 锤头3211。另一方面，第二检测臂322从基部31向一Y轴方向延伸出，并且在其顶端部处 设置有宽幅的锤头3221。上述第一、第二检测臂321、322以关于穿过陀螺元件2的重心G 的XZ平面面对称的方式被配置。另外，锤头321U3221只需根据需要而设置即可，也可以 省略。另外，也可以根据需要，而在第一、第二检测臂321、322的上表面及下表面上形成在 长度方向上延伸的有底的槽。
[0077] 第一连结臂331从基部31向+X轴方向延伸出。另一方面，第二连结臂332从基 部31向一X轴方向延伸出。上述第一、第二连结臂331、332以关于穿过重心G的YZ平面 面对称的方式被配置。
[0078] 第一驱动臂341从第一连结臂331的顶端部向+Y轴方向延伸出，并且在其顶端部 处设置有宽幅的锤头3411。另外，第二驱动臂342从第一连结臂331的顶端部向一Y轴方 向延伸出，并且在其顶端部处设置有宽幅的锤头3421。另外，第三驱动臂343从第二连结 臂332的顶端部向+Y轴方向延伸出，并且在其顶端部处设置有宽幅的锤头3431。另外，第 四驱动臂344从第二连结臂332的顶端部向一Y轴方向延伸出，并且在其顶端部处设置有 宽幅的锤头3441。上述四根驱动臂341、342、343、344以关于重心G点对称的方式被配置。 另外，锤头3411、3421、3431、3441只需根据需要而设置即可，也可以省略。另外，也可以根 据需要，而在驱动臂341、342、343、344的上表面及下表面上形成在长度方向上延伸的有底 的槽。
[0079]电极
[0080] 图4及图5所示，电极具有第一检测信号电极411、第一检测信号端子412、第一检 测接地电极421、第一检测接地端子422、第二检测信号电极431、第二检测信号端子432、第 二检测接地电极441、第二检测接地端子442、驱动信号电极451、驱动信号端子452、驱动接 地电极461和驱动接地端子462。另外，在图3及图4中，为了便于说明，而用分别不同的阴 影线对第一、第二检测信号电极411、431及第一、第二检测信号端子412、432,第一、第二检 测接地电极421、441及第一、第二检测接地端子422、442,驱动信号电极451及驱动信号端 子452,驱动接地电极461及驱动接地端子462进行了图示。另外，用粗线对被形成在振动 片3的侧面上的电极进行了图示。
[0081] 第一检测信号电极411被形成在第一检测臂321的上表面及下表面（除锤头3211 以外的部分）上，第二检测信号电极431被形成在第二检测臂322的上表面及下表面（除 锤头3221以外的部分）上。这种第一、第二检测信号电极411、431为，在第一、第二检测臂 321、322的检测振动被激励时，用于对通过该振动而产生的电荷进行检测的电极。
[0082] 第一检测信号端子412被设置在基部31的+X轴侧的列的+Y轴侧，并经由未图示 的配线而与被形成在第一检测臂321上的第一检测信号电极411电连接。另外，第二检测 信号端子432被设置在基部31的+X轴侧的列的一Y轴侧，并经由未图示的配线而与被形 成在第二检测臂322上的第二检测信号电极431电连接。
[0083] 第一检测接地电极421被形成在第一检测臂321的两侧面上，并且相互经由锤头 3211上而电连接。同样地，第二检测接地电极441被形成在第二检测臂322的两侧面上， 并且相互经由锤头3221上而电连接。这种第一、第二检测接地电极421、441具有相对于第 一、第二检测信号电极411、431而成为接地电位的电位。
[0084] 第一检测接地端子422被设置在基部31的一X轴侧的列的+Y轴侧，并经由未图 示的配线而与被形成在第一检测臂321上的第一检测接地电极421电连接。另外，第二检 测接地端子442被设置在基部31的一X轴侧的列的一Y轴侧，并经由未图示的配线而与被 形成在第二检测臂322上的第二检测信号电极431电连接。
[0085] 通过以此种方式配置第一、第二检测信号电极411、431，第一、第二检测信号端子 412、432,第一、第二检测接地电极421、441，第一、第二检测接地端子422、442,从而在第一 检测臂321中产生的检测振动以第一检测信号电极411与第一检测接地电极421之间的电 荷的形式而显现，由此能够从第一检测信号端子412与第一检测接地端子422以信号（检 测信号）的形式而获取。另外，在第二检测臂322中产生的检测振动以第二检测信号电极 431与第二检测接地电极441之间的电荷的形式而显现，由此能够从第二检测信号端子432 与第二检测接地端子442以信号（检测信号）的形式而获取。
[0086] 驱动信号电极451被形成在第一、第二驱动臂341、342的上表面及下表面（除锤 头341U3421以外的部分）上。而且，驱动信号电极451还被形成在第三、第四驱动臂343、 344的两侧面上，并且相互经由锤头343U3441上而电连接。这种驱动信号电极451为，用 于激励第一、第二、第三、第四驱动臂341、342、343、344的驱动振动的电极。
[0087] 驱动信号端子452被设置在基部31的一X轴侧的列的中央部（S卩，第一检测接地 端子422与第二检测接地端子442之间），并经由未图示的配线而与被形成在第一、第二、第 三、第四驱动臂341、342、343、344上的驱动信号电极451电连接。
[0088] 驱动接地电极461被形成在第三、第四驱动臂343、344的上表面及下表面（除锤 头343U3441以外的部分）上。而且，驱动接地电极461还被形成在第一、第二驱动臂341、 342的两侧面上，并且相互经由锤头341U3421上而电连接。这种驱动接地电极461具有相 对于驱动信号电极451而成为接地电位的电位。
[0089] 驱动接地端子462被设置在基部31的+X轴侧的列的中央部（即，第一检测信号 端子412与第二检测信号端子432之间），并经由未图示的配线而与被形成在第一、第二、第 三、第四驱动臂341、342、343、344上的驱动接地电极461电连接。
[0090] 通过以此种方式配置驱动信号电极451、驱动信号端子452、驱动接地电极461、驱 动接地端子462,从而能够通过向驱动信号端子452与驱动接地端子462之间施加驱动信 号，使被形成在第一、第二、第三、第四驱动臂341、342、343、344上的驱动信号电极451与驱 动接地电极461之间产生电场，由此使各驱动臂341、342、343、344驱动振动。
[0091] 作为以上这种电极的构成，只要具有导电性则不被特别地限定，例如可以由在 Cr(铬）、W(钨）等的金属化层（基底层）上层压Ni(镍）、Au(金）、Ag(银）、Cu(铜）等 的各被膜所形成的金属被膜构成。
[0092] 另外，被形成在锤头321U3221上的金属膜作为用于对检测振动模式的频率进行 调节的调节膜而发挥功能，例如，能够通过激光照射等将金属膜的一部分去除，对第一、第 二检测臂321、322的质量进行调节，从而对检测振动模式的频率进行调节。另一方面，被形 成在锤头3411、3421、3431、3441上的金属膜作为用于对驱动振动模式的频率进行调节的 调节膜而发挥功能，例如，能够通过激光照射等将金属膜的一部分去除，对驱动臂341、342、 343、344的质量进行调节，从而能够对驱动振动模式的频率进行调节。
[0093] 以上对陀螺元件2的结构简单地进行了说明。接下来，对陀螺元件2的驱动简单 地进行说明。
[0094] 当在未向陀螺元件2施加角速度的状态下，向驱动信号端子452与驱动接地端子 462之间施加电压（交流电压）时，将在驱动信号电极451与驱动接地电极461之间产生电 场，从而如图6(a)所示，各驱动臂341、342、343、344向箭头标记八所示的方向进行弯曲振 动。此时，由于第一、第二驱动臂341、342与第三、第四驱动臂343、344进行关于穿过陀螺 元件2的重心G的YZ平面面对称的振动，因此基部31、第一、第二检测臂321、322及第一、 第二连结臂331、332基本不进行振动。
[0095] 当在进行这种驱动振动的状态下，向陀螺元件2施加绕Z轴的角速度《时，图 6(b)所示这种检测振动将被激励。具体而言，在驱动臂341、342、343、344及第一、第二连 结臂331、332上作用有箭头标记B方向的科里奥里力，从而新的振动被激励。该箭头标记 B方向的振动为相对于重心G的周向的振动。并且同时，在第一、第二检测臂321、322中， 响应箭头标记B的振动，从而箭头标记C方向的检测振动被激励。然后，从第一、第二检测 信号电极411、431和第一、第二检测接地电极421、441将通过该振动而在第一、第二检测臂 321、322中产生的电荷作为信号而取出，并根据该信号而求出角速度
[0096] 封装件
[0097] 如图1及图2所示，封装件5具有：具有在上表面上开口的凹部61的箱状的基座 (基体）6 ;封堵凹部61的开口并被接合在基座6上的板状的盖（盖体）7。并且，在通过凹 部61的开口被盖7封堵而形成的内部空间S内收纳有上述的陀螺元件2。内部空间S的气 氛不被特别地限定，在本实施方式中，形成真空状态（例如，IOPa以下的减压状态）。
[0098] 基座
[0099] 基座6在俯视观察时具有大致长方形（矩形）的外形，并具有在长轴方向上延伸 的一对外边缘631、632和在短轴方向（与长轴方向交叉的方向）上延伸的一对外边缘633、 634。但是，基座6的俯视观察时的形状并不限定于长方形，例如，既可以为正方形，也可以 为五边形以上的多边形，还可以为异形形状。
[0100] 在此，本说明书中所提及的"大致长方形"是指，除了包括完全的长方形以外，还包 括实质上被视为长方形的形状，具体而言，如长方形所具有的4个角部中的至少1个角部被 倒圆角这样的形状、如长方形所具有的4条边中的至少1条边存在弯曲或屈曲的部分这样 的形状。
[0101] 另外，基座6通过在对氧化铝质、氮化铝质、碳化硅质、莫来石质、玻璃陶瓷质等陶 瓷生片进行成形而形成的多个矩形的基板（薄片）进行层压之后，再进行烧结而形成。作 为被层压的薄片的张数并不被特别地限定，但在本实施方式中为6张薄片，具体而言，从图 2中的下侧（与盖7相反的一侧）起依次层压有第一基板6A、第二基板6B、第三基板6C、第 四基板6D、第五基板6E、第六基板6F。
[0102] 另外，凹部61具有：在基座6的上表面上开口的有底的第一凹部611 ;在第一凹部 611的底部开口，且比第一凹部611小的有底的第二凹部612 ;在第二凹部612的底部开口， 且比第二凹部612小的有底的第三凹部613。其中，第一凹部611由被形成在第六基板6F 上的贯穿孔构成，第二凹部612由被形成在第五基板6E上的贯穿孔构成，第三凹部613由 被连续形成在第四基板6D及第三基板6C上的贯穿孔构成。另外，在第五基板6E上