信息记录介质用玻璃基板的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
【背景技术】
[0002]近年来，关于搭载记录介质(磁盘)的硬盘驱动(HDD)装置，研发出了在一片2.5英寸的记录介质中具有记录容量为500GB(单面250GB)、面记录密度为630Gbit/平方英寸以上的记录密度的装置。
[0003]在这些HDD装置中，磁头与磁盘之间的距离(flying height，悬浮高度)缩小。随着悬浮高度缩小，为了抑制起因于磁盘的不良(head crash磁头碰撞)，对作为磁盘所允许的基板表面的清洁度及基板表面的平坦性的要求日益严格。
[0004]另外，从HDD装置的耐久性的角度考虑，对HDD装置要求较强的抗冲击性。近年来，在HDD装置中，相比铝基板更多地采用玻璃基板。为了提高玻璃基板的强度，已知对玻璃基板实施化学强化处理。在日本特开2008 — 234823号公报(专利文献1)中公开了采用化学强化处理工序形成的磁盘。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2008 — 234823号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的问题
[0009]但是，近年来在搭载于移动PC等的HDD装置中，在施加了假定程度以上的较大冲击时，有时HDD装置不工作。作为HDD装置不工作的具体原因，可以举出在坠落等冲击时HDD装置内的磁盘破损。
[0010]本发明正是鉴于上述实际情况而提出的，其目的在于，提供能够实现磁盘的强度的进一步提高的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
[0011]用于解决问题的手段
[0012]本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法包括以下工序:形成整体呈圆盘状的玻璃基板，该玻璃基板具有一个主表面、另一个主表面、规定孔的内周端面、及外周端面；对所述内周端面进行基于氧化铈的内端研磨;进行所述玻璃基板的清洗;在进行所述玻璃基板的清洗后，对所述玻璃基板的表面进行化学强化，进行所述玻璃基板的清洗的工序包括以下工序:在所述玻璃基板的所述内周端面处进行清洗，使得Φ0.Ιμπι以上的氧化铈的残渣量为3个/mm2以下。
[0013]在另一方式中，在进行所述玻璃基板的清洗的工序中，在将所述玻璃基板浸渍于清洗液中的状态下，将振动棒插入所述孔中，对所述振动棒施加超声波而使所述振动棒振动，进行所述玻璃基板的清洗。
[0014]在另一方式中，对所述振动棒安装刷子，在使所述刷子与所述内周端面抵接的状态下进行所述玻璃基板的清洗。
[0015]在另一方式中，包括如下的工序:在进行所述化学强化后，进行至少一次以上的精密研磨。
[0016]在另一方式中，所述玻璃基板的厚度为0.65mm以下。
[0017]发明效果
[0018]根据本发明的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，能够提供可以实现磁盘的强度的进一步提高的信息记录介质用玻璃基板的制造方法。
【附图说明】
[0019]图1是示出信息记录(HDD)装置的立体图。
[0020]图2是示出利用信息记录介质用玻璃基板的制造方法制造的玻璃基板的俯视图。
[0021]图3是沿着图2中的II1-1II线的箭头方向观察的截面图。
[0022]图4是作为信息记录介质示出具备玻璃基板的信息记录介质的俯视图。
[0023]图5是沿着图4中的V-V线的箭头方向观察的截面图。
[0024]图6是示出玻璃基板的制造方法的流程图。
[0025]图7是示出在玻璃基板的制造方法中产生的问题的示意图。
[0026]图8是在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置的示意图。
[0027]图9是在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置的放大图。
[0028]图10是在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的另一清洗装置的部分放大图。
[0029]图11是示出在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置所使用的刷子的图，(A)是刷子的整体图，(B)是截面图。
[0030]图12是另一实施方式的在玻璃基板的化学强化前清洗中使用的清洗装置的放大图。
[0031]图13是示出实施例1?3、比较例1?3的坠落冲击试验的结果的图。
【具体实施方式】
[0032]关于基于本发明的实施方式和各实施例，下面参照附图进行说明。在实施方式和各实施例的说明中，在提到个数、量等的情况下，除有特别记载的情况外，本发明的范围未必限定于该个数、量等。在实施方式和各实施例的说明中，对相同的部件、相当的部件标记相同的标号，有时不反复进行重复的说明。
[0033][实施方式]
[0034](信息记录装置30)
[0035]参照图1对信息记录装置30进行说明。图1是示出信息记录装置30的立体图。信息记录装置30具备利用实施方式中的信息记录介质用玻璃基板(下文中也简称为玻璃基板)的制造方法所制造的玻璃基板1作为信息记录介质10。
[0036]具体而言，信息记录装置30具备信息记录介质10、壳体20、磁头滑块21、悬架22、臂23、垂直轴24、音圈25、音圈电机26、夹紧部件27和固定螺钉28。在壳体20的上表面上设置有主轴电机(未图不)。
[0037]磁盘等信息记录介质10被夹紧部件27和固定螺钉28以能够旋转的方式固定于上述主轴电机。信息记录介质10通过该主轴电机以例如数千rpm的转速被旋转驱动。详细情况参照图4和图5在下文中进行说明，信息记录介质10通过在玻璃基板1形成压缩应力层12(参照图5)和磁记录层14 (参照图4和图5)来进行制造。
[0038]臂23以能够围绕垂直轴24摆动的方式进行安装。在臂23的末端安装有形成为板簧(单支撑梁)状的悬架22。在悬架22的末端以夹持信息记录介质10的方式安装有磁头滑块
21ο
[0039]在臂23的与磁头滑块21相反的一侧安装有音圈25。音圈25被设于壳体20上的磁铁(未图不)夹持。由首圈25和该磁铁构成首圈电机26。
[0040]向音圈25供给规定的电流。臂2 3借助由流过音圈2 5的电流和上述磁铁的磁场而产生的电磁力的作用，围绕垂直轴24摆动。通过臂23的摆动，悬架22和磁头滑块21也沿箭头AR1方向摆动。磁头滑块21在信息记录介质10的表面上和背面上沿信息记录介质10的半径方向往复移动。设置于磁头滑块21的磁头(未图示)进行寻道(seek)操作。
[0041]在进行该寻道操作的另一方面，磁头滑块21通过随着信息记录介质10的旋转而产生的空气流接受到浮力。通过该浮力与悬架22的弹性力(挤压力)的平衡，磁头滑块21相对于信息记录介质10的表面以一定的悬浮量行进。通过该行进，设于磁头滑块21的磁头可以相对于信息记录介质10内的规定轨道进行信息(数据)的记录和再现。作为构成信息记录介质10的部件的一部分而搭载有玻璃基板1的信息记录装置30如上构成。
[0042](玻璃基板1)
[0043]图2是示出利用基于本实施方式的信息记录介质用玻璃基板的制造方法所制造的玻璃基板1的俯视图。图3是沿着图2中的II1-1II线的箭头方向观察的截面图。
[0044]如图2和图3所示，作为其一部分用于信息记录介质10(参照图4和图5)的玻璃基板1(信息记录介质用玻璃基板)具有主表面2、主表面3、规定孔5的内周端面4、和外周端面6，整体形成为圆盘状。
[0045]孔5按照从一个主表面2向另一个主表面3贯通的方式进行设置。内周端面4包括直线部4a和倒角部4b。倒角部4b包括形成于一个主表面2与直线部4a之间的内周端倒角部、和形成于另一个主表面3与直线部4a之间的内周端倒角部。
[0046]外周端面6包括直线部6a和倒角部6b。倒角部6b包括形成于一个主表面2与直线部6a之间的外周端倒角部、和形成于另一个主表面3与直线部6a之间的外周端倒角部。
[0047]玻璃基板1G的尺寸例如为0.8英寸、1.0英寸、1.8英寸、2.5英寸或3.5英寸。玻璃基板1G例如具有0.3mm、0.65mm、0.8mm、1mm、2mm、2.2mm的厚