半导体装置的制作方法

文档序号:12180354阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体装置,其特征在于包括:

第1导电型的第1半导体区域;

第2导电型的第2半导体区域,设置在所述第1半导体区域之上;

第2导电型的第3半导体区域,所述第3半导体区域的至少一部分由所述第2半导体区域包围;

第2导电型的第4半导体区域,所述第4半导体区域的至少一部分由所述第2半导体区域包围,所述第4半导体区域与所述第3半导体区域相隔,所述第4半导体区域的第2导电型的载子浓度高于所述第2半导体区域的第2导电型的载子浓度,所述第4半导体区域的第1方向上的端部相对于所述第3半导体区域的所述第1方向上的端部设置在所述第1方向侧,且所述第1方向是从所述第2半导体区域朝向所述第1半导体区域的方向;及

绝缘部,设置在所述第4半导体区域之上、和位于所述第3半导体区域与所述第4半导体区域之间的所述第2半导体区域的一部分之上。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:

所述第3半导体区域的第2导电型的载子浓度高于所述第2半导体区域的第2导电型的载子浓度。

3.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:

所述第4半导体区域的第2导电型的载子浓度高于所述第3半导体区域的第2导电型的载子浓度。

4.根据权利要求3所述的半导体装置,其特征在于:

所述第3半导体区域沿与所述第1方向正交的第2方向延伸,

所述第4半导体区域的、与所述第1方向及所述第2方向正交的第3方向上的长度比所述第3半导体区域的所述第3方向上的长度短。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其特征在于:

所述绝缘部的一部分设置在所述第3半导体区域之上。

6.根据权利要求5所述的半导体装置,其特征在于:

所述第3半导体区域在所述第3方向上设有多个,

所述第4半导体区域在所述第3方向上设置在多个所述第3半导体区域之间,

所述绝缘部的所述一部分在所述第3方向上设置在与所述第4半导体区域相邻的所述第3半导体区域之上。

7.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:

还包括导电部,所述导电部设置在所述绝缘部之上、所述第2半导体区域之上、及所述第3半导体区域之上。

8.根据权利要求7所述的半导体装置,其特征在于:

所述第2半导体区域与所述导电部形成肖特基结,

所述第3半导体区域与所述导电部形成欧姆结。

9.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:

所述第2半导体区域包括:

第1部分;及

第2部分,具有比所述第1部分的第2导电型的载子浓度低的第2导电型的载子浓度;且

所述第3半导体区域的所述至少一部分由所述第1部分包围,

所述第4半导体区域的所述至少一部分由所述第2部分包围。

10.根据权利要求1所述的半导体装置,其特征在于:

还包括第2导电型的第5半导体区域,所述第2导电型的第5半导体区域由所述第1半导体区域包围,且与所述第4半导体区域相接。

11.根据权利要求10所述的半导体装置,其特征在于:

所述第4半导体区域的所述端部相对于所述第5半导体区域的所述第1方向侧的端部设置在所述第1方向侧。

12.一种半导体装置,其特征在于包括:

第1导电型的第6半导体区域;

第1导电型的第1半导体区域,设置在所述第6半导体区域之上,且所述第1半导体区域的第1导电型的载子浓度低于所述第6半导体区域的第1导电型的载子浓度;

第2导电型的第2半导体区域,设置在所述第1半导体区域之上;

第2导电型的第3半导体区域,所述第3半导体区域的至少一部分由所述第2半导体区域包围;

第2导电型的第4半导体区域,所述第4半导体区域的至少一部分由所述第2半导体区域包围,所述第4半导体区域与所述第3半导体区域相隔,所述第4半导体区域的第2导电型的载子浓度高于所述第2半导体区域的第2导电型的载子浓度,所述第4半导体区域与所述第6半导体区域之间的第1方向上的距离比所述第3半导体区域与所述第6半导体区域之间的所述第1方向上的距离短,且所述第1方向是从所述第2半导体区域朝向所述第1半导体区域的方向;及

绝缘部,设置在所述第4半导体区域之上、和位于所述第3半导体区域与所述第4半导体区域之间的所述第2半导体区域的一部分之上。

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