技术特征：
技术总结
本发明实施例提供一种鳍状场效晶体管，包括衬底、至少一栅极结构、多个间隔物以及源极区与漏极区。所述衬底具有多个鳍片以及多个绝缘体位于多个鳍片之间。源极区与漏极区设置于至少一栅极结构的两个相对侧边。栅极结构设置并覆盖于多个鳍片与多个绝缘体上方。所述栅极结构包括设置于衬底上的堆叠条以及设置于堆叠条上的栅电极堆叠。所述多个间隔物设置于栅极结构的相对侧壁上，且栅电极堆叠与相对设置的间隔物的侧壁相接触。
技术研发人员：张哲诚;林志翰
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2016.11.17
技术公布日：2017.07.25