1.一种用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于，包括一花篮托靶、自所述花篮托靶延伸的至少一个支撑臂、以及固定于所述支撑臂上的清洗花篮，所述清洗花篮的侧边开设有一缺口，该缺口自所述清洗花篮的顶边缘延伸至底部，所述清洗花篮底座含有均匀圆孔。
2.根据权利要求1所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述花篮托靶和支撑臂之间可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述花篮托靶上凹设有凹槽，所述支撑臂的末端配合插置于所述凹槽内。
4.根据权利要求3所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述凹槽截面呈矩形。
5.根据权利要求1所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述花篮托靶和所有所述支撑臂位于同一平面内。
6.根据权利要求1所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述清洗花篮的底座上均匀开设有多个通孔。
7.根据权利要求1所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述清洗花篮形成于所述支撑臂的末端。
8.根据权利要求1所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述支撑臂与清洗花篮一体成型。
9.根据权利要求1所述的用于芯片清洗的花篮装置，其特征在于：所述花篮托靶、支撑臂和清洗花篮材质选自聚四氟乙烯材料。