硅片吸取装置的制作方法

本实用新型涉及硅片加工设备领域，尤其是一种硅片吸取装置。

背景技术：

由于太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，为了减少太阳光的反射损失，通常所采取的办法是在太阳能电池的硅片表面覆盖一层减反射膜，这层薄膜可以减少太阳光的反射率，增加光电转换效率，在晶体硅表面淀积减反射膜技术中，氮化硅膜具有高绝缘性、化学稳定性好、致密性好、硬度高等特点，同时具有良好的掩蔽金属和水离子沉积的能力，从而被广泛采用。

在晶体硅太阳能电池制造过程中，制备氮化硅膜通常采用等离子体增强化学气相沉积法，简称为PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，PECVD是利用强电场使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学和等离子体反应，在硅片表面形成固态薄膜。

目前，在晶体硅太阳能电池制造过程中，用于制备氮化硅膜的装置主要包括设置有炉门的真空沉积室，真空沉积室内设有石墨舟，硅片放置于石墨舟上，真空沉积室上设有进气口与排气口，所述进气口上连接有用于通入制程气体的进气管，所述排气口上连接有排放管，排放管末端连接有真空泵，真空泵的进口与排放管的出口相连，真空泵的出口连接有尾排管，其中，在将硅片放置于石墨舟上或将硅片从石墨舟内取出时通过人工实现硅片的取放，这是一种单调、重复的体力劳动，效率非常低，且硅片与人的手接触会对硅片造成污染。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种工作效率较高且能够减少硅片受污染几率的硅片吸取装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该硅片吸取装置，包括底座，所述底座的一侧表面固定有多个卡板，多个卡板依次平行设置，每个卡板上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔，每个固定孔内设置有一个固定板，所述固定板的厚度小于卡板的厚度，每个通孔中心设置有吸盘，吸盘上连接有多个弹簧，多个弹簧与多个固定孔一一对应，弹簧的一端固定在吸盘上，另一端固定在固定板上，所述卡板的一侧表面设置有多个导线槽，导线槽的数量与通孔的数量相同，每个导线槽与一个通孔连通，导线槽内设置有压缩空气管，压缩空气管的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘相连，所述吸盘、多个弹簧、每个固定孔内的固定板、每个导线槽内的压缩空气管均位于卡板的两个表面组成的间隙空间内。

进一步的是，每个卡板上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形。

进一步的是，所述底座上设置有把手。

进一步的是，所述压缩空气管上设置有电磁阀，所述把手上设置有用于控制电磁阀开闭的开关，所述开关与电磁阀相连接。

本实用新型的有益效果是：该硅片吸取装置在工作时，操作人员握住底座，然后将卡板插入放置硅片的花篮内，使每个卡板均插入花篮内相邻的两个硅片之间，此时空气压缩机工作，每个吸盘将与之对应的硅片吸住，接着将卡板从花篮内取出并插入石墨舟内相邻的石墨板之间，此时空气压缩机停止工作，每个吸盘将与之对应的硅片松开，硅片落入石墨舟内，重复上述过程便可以将硅片依次放入石墨舟内，在需要将硅片从石墨舟取出时，首先将卡板插入石墨舟内相邻的石墨板之间，此时空气压缩机工作，每个吸盘将与之对应的硅片吸住，然后将卡板从石墨舟内取出并插入花篮内，此时空气压缩机停止工作，每个吸盘将与之对应的硅片松开，硅片落入花篮内，重复上述过程便可以将硅片依次取出石墨舟并放入花篮内，整个过程操作方便，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率，同时，整个过程中，减少了硅片与人的接触，降低了硅片被污染的几率。

附图说明

图1本实用新型所述硅片吸取装置的结构示意图；

图2是本实用新型所述卡板的结构示意图；

图中标记说明：底座 1、卡板 2、固定孔 3、固定板 4、吸盘 5、弹簧 6、导线槽 7、压缩空气管 8、把手 9、电磁阀 10、开关 11。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1至2所示，该硅片吸取装置，包括底座1，所述底座1的一侧表面固定有多个卡板2，多个卡板2依次平行设置，每个卡板2上设置有多个通孔，每个通孔的边缘设置有多个固定孔3，每个固定孔3内设置有一个固定板4，所述固定板4的厚度小于卡板2的厚度，每个通孔中心设置有吸盘5，吸盘5上连接有多个弹簧6，多个弹簧6与多个固定孔3一一对应，弹簧6的一端固定在吸盘5上，另一端固定在固定板4上，所述卡板2的一侧表面设置有多个导线槽7，导线槽7的数量与通孔的数量相同，每个导线槽7与一个通孔连通，导线槽7内设置有压缩空气管8，压缩空气管8的一端与空气压缩机相连，另一端与吸盘5相连，所述吸盘5、多个弹簧6、每个固定孔3内的固定板4、每个导线槽7内的压缩空气管8均位于卡板2的两个表面组成的间隙空间内。该硅片吸取装置在工作时，操作人员握住底座1，然后将卡板2插入放置硅片的花篮内，使每个卡板2均插入花篮内相邻的两个硅片之间，此时空气压缩机工作，每个吸盘5将与之对应的硅片吸住，接着将卡板2从花篮内取出并插入石墨舟内相邻的石墨板之间，此时空气压缩机停止工作，每个吸盘5将与之对应的硅片松开，硅片落入石墨舟内，重复上述过程便可以将硅片依次放入石墨舟内，在需要将硅片从石墨舟取出时，首先将卡板2插入石墨舟内相邻的石墨板之间，此时空气压缩机工作，每个吸盘将与之对应的硅片吸住，然后将卡板2从石墨舟内取出并插入花篮内，此时空气压缩机停止工作，每个吸盘5将与之对应的硅片松开，硅片落入花篮内，重复上述过程便可以将硅片依次取出石墨舟并放入花篮内，整个过程操作方便，而且每次取出和放入的硅片数量较多，大大提高了工作效率，同时，整个过程中，减少了硅片与人的接触，降低了硅片被污染的几率。

为了使硅片吸取装置在移动过程中避免发生硅片掉落，每个卡板2上通孔的数量为三个，且三个通孔的中心组成一个等腰三角形，这样每个硅片用三个吸盘5将其吸住，且吸盘5组成一个等腰三角形，其吸力均匀可以牢牢将硅片吸住，避免发生硅片掉落。

为了方便抓取底座1，所述底座1上设置有把手9。

另外，为了方便操作，所述压缩空气管8上设置有电磁阀10，所述把手9上设置有用于控制电磁阀10开闭的开关11，所述开关11与电磁阀10相连接。这样便可以使空气压缩机一直开启，只需通过开关11打开关闭电磁阀10即可，操作更加方便。