硅片吸取装置的制作方法

文档序号:12643137阅读:来源:国知局

技术特征:

1.硅片吸取装置,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的一侧表面固定有多个卡板(2),多个卡板(2)依次平行设置,每个卡板(2)上设置有多个通孔,每个通孔的边缘设置有多个固定孔(3),每个固定孔(3)内设置有一个固定板(4),所述固定板(4)的厚度小于卡板(2)的厚度,每个通孔中心设置有吸盘(5),吸盘(5)上连接有多个弹簧(6),多个弹簧(6)与多个固定孔(3)一一对应,弹簧(6)的一端固定在吸盘(5)上,另一端固定在固定板(4)上,所述卡板(2)的一侧表面设置有多个导线槽(7),导线槽(7)的数量与通孔的数量相同,每个导线槽(7)与一个通孔连通,导线槽(7)内设置有压缩空气管(8),压缩空气管(8)的一端与空气压缩机相连,另一端与吸盘(5)相连,所述吸盘(5)、多个弹簧(6)、每个固定孔(3)内的固定板(4)、每个导线槽(7)内的压缩空气管(8)均位于卡板(2)的两个表面组成的间隙空间内。

2.如权利要求1所述的硅片吸取装置,其特征在于:每个卡板(2)上通孔的数量为三个,且三个通孔的中心组成一个等腰三角形。

3.如权利要求2所述的硅片吸取装置,其特征在于:所述底座(1)上设置有把手(9)。

4.如权利要求3所述的硅片吸取装置,其特征在于:所述压缩空气管(8)上设置有电磁阀(10),所述把手(9)上设置有用于控制电磁阀(10)开闭的开关(11),所述开关(11)与电磁阀(10)相连接。

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