一种防刮伤晶圆转移装置的制作方法

文档序号:11303856阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种防刮伤晶圆转移装置,其特征在于,包括底座,所述底座下侧设置有至少两根互相平行的导向杆,导向杆的两端均设置有导向杆限位块,所述底座上方设置有采用金属材料制成的移动座,移动座的底部设置有两个套装在对应导向杆上的滑动套,所述底座上开设有可容滑动套来回移动的滑槽,所述移动座上放置有长方体移动提篮,移动座上对应移动提篮的底部边角设置有4个边角定位块,所述边角定位块贴靠在移动提篮底部的内边角上,所述底座上对应移动座设置有磁铁,底座上还竖直设置有若干支撑杆,支撑杆上端设置有与移动提篮相对应的固定提篮。

2.根据权利要求1所述的一种防刮伤晶圆转移装置,其特征在于,所述移动座上对应边角定位块设置有至少2个辅助定位块。

3.根据权利要求1或2所述的一种防刮伤晶圆转移装置,其特征在于,所述底座底部设置有4个支撑脚。

4.根据权利要求1或2所述的一种防刮伤晶圆转移装置,其特征在于,所述支撑杆对称分布在底座的两侧。

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