一种支撑腿可拆卸的石英舟的制作方法

本实用新型涉及石英舟技术领域，尤其涉及一种支撑腿可拆卸的石英舟。

背景技术：

石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片的载具，具有耐高温和较好的化学稳定性的特点。目前，在生产过程中，用石英舟承载清洗制绒后的硅片进行扩散。在放置石英舟时，石英舟的支撑脚受瞬间力较大，容易导致支撑脚破裂，导致整个石英舟报废，损失很大。此外，由于扩散工序洁净度要求极高以及管式扩散炉炉管温度较高，一般会使用舟叉和设置于石英舟上的套管配合搬运石英舟，舟叉和套管之间受力大、使用频次高，容易导致套管的管口断裂，更严重时导致石英舟之上承载的硅片掉落。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种支撑腿可拆卸的石英舟，在支撑腿损坏后替换支撑腿即可，节约了成本。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种支撑腿可拆卸的石英舟，包括：承载部和支撑部，承载部用于承载硅片，支撑部位于所述承载部的底部，以支撑所述承载部，所述支撑部包括设置于所述承载部两侧的多条支撑腿，所述支撑腿与所述承载部可拆卸连接。

进一步的，所述承载部的底部和所述支撑腿的顶部中的一个设置有燕尾槽，另一个设置有燕尾榫，所述燕尾槽和所述燕尾榫插接配合。

进一步的，所述燕尾槽和所述燕尾榫上均设置有定位孔，所述燕尾槽和所述燕尾榫通过穿过所述定位孔的螺栓定位。

进一步的，所述承载部的底部和所述支撑腿的顶部均设置有固定孔，所述承载部和所述支撑腿通过穿过所述固定孔的螺栓固定。

进一步的，所述支撑腿的底面的面积大于顶面的面积。

进一步的，所述支撑腿的底部的侧面从上到下呈外凸的弧面。

进一步的，所述承载部的顶部设置有套管，所述套管用于与舟叉配合搬运所述石英舟，所述套管的内径从一端到另一端保持一致，外径从一端到另一端逐渐变大。

进一步的，所述套管的内腔沿轴向设置有多个环形凹槽。

进一步的，所述承载部包括位于两端的承载架，两端的所述承载架之间连接有多根支撑杆，多根所述支撑杆包括位于底部的底部支撑杆和位于两侧的侧部支撑杆。

进一步的，位于外侧的所述底部支撑杆之间的距离大于硅片的底边长度，位于中部的所述底部支撑杆以及侧部支撑杆上均设置有用于对硅片限位的卡槽。

有益效果：本实用新型提供了一种支撑腿可拆卸的石英舟，包括承载部和支撑部，承载部用于承载硅片，支撑部位于所述承载部的底部，以支撑所述承载部，所述支撑部包括设置于所述承载部两侧的多条支撑腿，所述支撑腿与所述承载部可拆卸连接。当石英舟的支撑腿损坏后替换支撑腿即可，不需要报废整个石英舟，节约了成本。

附图说明

图1是本实用新型实施例1提供的石英舟的结构示意图。

图2是本实用新型实施例1提供的石英舟的燕尾槽和燕尾榫处的结构示意图。

图3是本实用新型实施例1提供的套管的结构示意图。

图4是本实用新型实施例2提供的石英舟的侧视图。

其中：

1-承载部，11-承载架，12-底部支撑杆，13-侧部支撑杆，2-支撑腿，3-燕尾槽，4-燕尾榫，5-定位孔，6-固定孔，7-套管，71-环形凹槽。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例1

如图1-图3所示，本实施例提供了一种支撑腿可拆卸的石英舟，包括承载部1和支撑部，承载部1用于承载硅片；支撑部位于承载部1的底部，以支撑承载部1，支撑部包括设置于承载部1两侧的多条支撑腿2，一般为4条支撑腿2且分布在承载部1四个边角上，支撑腿2与承载部1可拆卸连接。当石英舟的支撑腿2损坏后替换支撑腿2即可，不需要报废整个石英舟，节约了成本。承载部1一般包括位于两端的承载架11，两端的承载架11之间连接有多根支撑杆，多根支撑杆包括位于底部的底部支撑杆12和位于两侧的侧部支撑杆13。通过承载架11和支撑杆的组合形成的承载部1也便于拆卸，且与多块承载板组合形成的承载部相比，重量更轻，使用方便。位于外侧的底部支撑杆12之间的距离需要大于硅片的底边长度，以对硅片沿长度方向的两端移动，位于中部的底部支撑杆12以及侧部支撑杆13上均设置有用于对硅片限位的卡槽，将硅片限制在卡槽中。卡槽的数量在800-1000左右，可以承载较多的硅片，提高生产效率。

具体而言，本实施例中，承载部1的底部设置有燕尾槽3，支撑腿2的顶部设置有燕尾榫4，燕尾槽3和燕尾榫4插接配合，将支撑腿2的顶部插入到承载部1的底部中，方便拆卸，且燕尾槽3和燕尾榫4配合可以有效固定支撑腿2和承载部1。为了进一步避免燕尾榫4从燕尾槽3中滑出，燕尾槽3和燕尾榫4上还均设置有定位孔5，燕尾槽3和燕尾榫4通过穿过定位孔5的螺栓定位。如图2所示，定位孔5设置在燕尾槽3和燕尾榫4的侧部，当燕尾榫4插入到燕尾槽3中后，螺栓从定位孔5中穿入定位。燕尾槽3和燕尾榫4上至少一个定位孔5是螺纹孔，和螺栓配合固定。

当然，燕尾槽3和燕尾榫4的位置也可以互换，即燕尾槽3设置于支撑腿2的顶部，燕尾榫4设置于承载部1的底部，也可以实现支撑腿2和承载部1之间的可拆卸连接。

为了减少支撑腿2的损坏，可以增大支撑腿2的底面积，使得支撑腿2的底面的面积大于顶面的面积，减少支撑腿2的压强。一般而言，支撑腿2的底部的侧面从上到下呈外凸的弧面或平面，以增大支撑腿2的底面积。支撑腿2的底部的侧面从上到下可以优选为呈外凸的弧面，在受到碰撞时，弧面能更好地分散受力，更好的保护支撑腿2，避免支撑腿2损坏。

本实施例的石英舟的承载部1的顶部设置有套管7，套管7用于与舟叉配合搬运石英舟。针对现有技术中套管7容易损坏的问题，本实施例中，套管7的内径从一端到另一端保持一致，为10-12mm，外径从一端到另一端逐渐变大，一端的外径为14-16mm，另一端外径为20-22mm，即，套管7的厚度变厚。在使用时，舟叉从外径比较大(即更厚)的一端插入，由于舟叉与套管7的插入部位的受力最大，接触最频繁，最容易损坏，因此，使用更厚的套管7可以提高耐用程度，减少损坏的概率。为了避免舟叉从套管7内滑出，套管7的内腔沿轴向设置有多个环形凹槽71。

实施例2

如图4所示，在实施例1的基础上，与实施例1不同的是，本实施例的支撑腿2和承载部1的可拆卸连接不通过燕尾槽和燕尾榫的插接实现，而是在承载部1的底部和支撑腿2的顶部均设置固定孔6，承载部1和支撑腿2通过穿过固定孔6的螺栓固定。当支撑腿2需要更换时，直接将支撑腿2和承载部1上的固定孔6对齐后，通过螺栓固定即可。当然，为了和螺栓配合，固定孔6需要设置成螺纹孔。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。