技术总结
本实用新型公开了一种支撑腿可拆卸的石英舟。石英舟包括承载部和支撑部,承载部用于承载硅片,支撑部位于所述承载部的底部,以支撑所述承载部,所述支撑部包括设置于所述承载部两侧的多条支撑腿,所述支撑腿与所述承载部可拆卸连接。当石英舟的支撑腿损坏后替换支撑腿即可,不需要报废整个石英舟,节约了成本。
技术研发人员:曹铭;衡阳;王鹏飞;王钰雅;郑旭然;王栩生;邢国强
受保护的技术使用者:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
文档号码:201720270577
技术研发日:2017.03.20
技术公布日:2017.10.27