一种晶圆转运机构的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体为一种晶圆转运机构。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展，形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。
3.但是，目前在晶圆的生产加工时，其对晶圆进行转运时的设备其转移范围较小，抓取效率较低。


技术实现要素：

4.本实用新型所解决的技术问题在于提供一种晶圆转运机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁，所述转运支撑横梁一端固定在左支撑杆上、另一端固定在右支撑杆上，所述左支撑杆下端设有左前后移动装置，所述右支撑杆下端设有右前后移动装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置滑动安装在移动滑槽内，所述转运支撑横梁中部设有抓取调节装置，所述抓取调节装置下端设有抓取装置固定座，所述抓取装置固定座上设有若干晶圆抓取装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置包括移动支撑板，所述移动支撑板两端下侧设有行走轮，行走轮滚动设置在移动滑槽内，所述行走轮安装在行走轮固定轴上，所述行走轮固定轴两端通过固定轴安装轴承座安装在移动支撑板上，所述行走轮固定轴一端通过联轴器连接于行走驱动电机的输出端上，所述行走驱动电机的壳体通过电机固定座安装在移动支撑板上。
6.所述晶圆抓取装置包括抓取吸盘，所述抓取吸盘下端设有橡胶吸盘，所述抓取吸盘上端一侧设有负压吸管，所述抓取吸盘上端中部设有吸盘固定座，所述吸盘固定座通过吸盘安装支架安装在抓取装置固定座上。
7.所述吸盘安装支架包括调节支撑螺杆，所述调节支撑螺杆下端通过螺纹安装在吸盘固定座上的螺纹孔内，所述调节支撑螺杆中部设有安装支撑套，所述安装支撑套上侧的调节支撑螺杆外侧设有上复位弹簧，所述安装支撑套下侧的调节支撑螺杆外侧设有下复位弹簧，安装支撑套安装在抓取装置固定座上。
8.所述抓取调节装置包括调节装置固定板，所述调节装置固定板上设有左右调节气缸，所述左右调节气缸的缸体通过气缸固定座安装在调节装置固定板上，所述左右调节气缸的输出端上设有左右调节驱动头，所述左右调节驱动头固定在上下调节支撑板上，所述
上下调节支撑板与调节装置固定板支架设有左右调节导向装置，所述上下调节支撑板包括上下调节气缸，所述上下调节气缸的缸体通过气缸固定座安装在上下调节支撑板上，所述上下调节气缸的输出端上设有抓取装置安装板，所述抓取装置安装板与上下调节支撑板之间设有上下调节导向装置。
9.所述左右调节导向装置包括调节导向滑块、调节导向滑轨，所述调节导向滑块滑动安装在调节导向滑轨上，所述调节导向滑轨通过固定螺栓安装在调节装置固定板上，所述调节导向滑块通过固定螺栓安装在上下调节支撑板上。
10.所述上下调节导向装置包括调节导向杆，所述调节导向杆外侧设有调节导向套，所述调节导向套通过固定螺栓安装在上下调节支撑板上，所述调节导向杆下端固定在抓取装置安装板上，所述调节导向杆上端设有行程限位块。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型不仅可以实现晶圆的快速抓取转运，而且，可以实现较大范围的空间转运，方便不同工序设备的组合使用。
附图说明
12.图1为本实用新型的结构示意图。
13.图2为本实用新型的前后移动装置结构示意图。
14.图3为本实用新型的抓取调节装置结构示意图。
15.图4为本实用新型的晶圆抓取装置结构示意图。
具体实施方式
16.为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型，在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
17.实施例1
18.如图1～4所示，一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁1，所述转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑动安装在移动滑槽7内，所述转运支撑横梁1中部设有抓取调节装置4，所述抓取调节装置4下端设有抓取装置固定座5，所述抓取装置固定座5上设有若干晶圆抓取装置6，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8包括移动支撑板91，所述移动支撑板91两端下侧设有行走轮92，行走轮92滚动设置在移动滑槽7内，所述行走轮92安装在行走轮固定轴93上，所述行走轮固定轴93两端通过固定轴安装轴承座94安装在移动支撑板91上，所述行走轮固定轴93一端通过联轴器连接于行走驱动电机95的输出端上，所述行走驱动电机95的壳体通过电机固定座安装在移动支撑板91 上。
19.实施例2
20.如图1～4所示，一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁1，所述转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装
置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑动安装在移动滑槽7内，所述转运支撑横梁1中部设有抓取调节装置4，所述抓取调节装置4下端设有抓取装置固定座5，所述抓取装置固定座5上设有若干晶圆抓取装置6，所述晶圆抓取装置 6包括抓取吸盘61，所述抓取吸盘61下端设有橡胶吸盘64，所述抓取吸盘61 上端一侧设有负压吸管63，所述抓取吸盘61上端中部设有吸盘固定座62，所述吸盘固定座62通过吸盘安装支架安装在抓取装置固定座5上。所述吸盘安装支架包括调节支撑螺杆65，所述调节支撑螺杆65下端通过螺纹安装在吸盘固定座62上的螺纹孔内，所述调节支撑螺杆65中部设有安装支撑套68，所述安装支撑套68上侧的调节支撑螺杆65外侧设有上复位弹簧66，所述安装支撑套68 下侧的调节支撑螺杆65外侧设有下复位弹簧67，安装支撑套68安装在抓取装置固定座5上。
21.实施例3
22.如图1～4所示，一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁1，所述转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑动安装在移动滑槽7内，所述转运支撑横梁1中部设有抓取调节装置4，所述抓取调节装置4下端设有抓取装置固定座5，所述抓取装置固定座5上设有若干晶圆抓取装置6，所述抓取调节装置 4包括调节装置固定板41，所述调节装置固定板41上设有左右调节气缸42，所述左右调节气缸42的缸体通过气缸固定座43安装在调节装置固定板41上，所述左右调节气缸42的输出端上设有左右调节驱动头44，所述左右调节驱动头 44固定在上下调节支撑板45上，所述上下调节支撑板45与调节装置固定板41 支架设有左右调节导向装置，所述上下调节支撑板45包括上下调节气缸46，所述上下调节气缸46的缸体通过气缸固定座安装在上下调节支撑板45上，所述上下调节气缸46的输出端上设有抓取装置安装板47，所述抓取装置安装板47 与上下调节支撑板45之间设有上下调节导向装置，所述左右调节导向装置包括调节导向滑块49、调节导向滑轨48，所述调节导向滑块49滑动安装在调节导向滑轨48上，所述调节导向滑轨48通过固定螺栓安装在调节装置固定板41上，所述调节导向滑块49通过固定螺栓安装在上下调节支撑板45上，所述上下调节导向装置包括调节导向杆410，所述调节导向杆410外侧设有调节导向套412，所述调节导向套412通过固定螺栓安装在上下调节支撑板45上，所述调节导向杆410下端固定在抓取装置安装板47上，所述调节导向杆410上端设有行程限位块411。
23.本实用新型在转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑动安装在移动滑槽7内，所述转运支撑横梁1中部设有抓取调节装置4，所述抓取调节装置4下端设有抓取装置固定座5，所述抓取装置固定座5上设有若干晶圆抓取装置6，不仅可以实现晶圆的快速抓取转运，而且，可以实现较大范围的空间转运，方便不同工序设备的组合使用。
24.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型
的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。