技术特征：
1.一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁(1)，所述转运支撑横梁(1)一端固定在左支撑杆(3)上、另一端固定在右支撑杆(2)上，所述左支撑杆(3)下端设有左前后移动装置(9)，所述右支撑杆(2)下端设有右前后移动装置(8)，所述左前后移动装置(9)、右前后移动装置(8)滑动安装在移动滑槽(7)内，其特征在于：所述转运支撑横梁(1)中部设有抓取调节装置(4)，所述抓取调节装置(4)下端设有抓取装置固定座(5)，所述抓取装置固定座(5)上设有若干晶圆抓取装置(6)，所述左前后移动装置(9)、右前后移动装置(8)包括移动支撑板(91)，所述移动支撑板(91)两端下侧设有行走轮(92)，行走轮(92)滚动设置在移动滑槽(7)内，所述行走轮(92)安装在行走轮固定轴(93)上，所述行走轮固定轴(93)两端通过固定轴安装轴承座(94)安装在移动支撑板(91)上，所述行走轮固定轴(93)一端通过联轴器连接于行走驱动电机(95)的输出端上，所述行走驱动电机(95)的壳体通过电机固定座安装在移动支撑板(91)上；所述晶圆抓取装置(6)包括抓取吸盘(61)，所述抓取吸盘(61)下端设有橡胶吸盘(64)，所述抓取吸盘(61)上端一侧设有负压吸管(63)，所述抓取吸盘(61)上端中部设有吸盘固定座(62)，所述吸盘固定座(62)通过吸盘安装支架安装在抓取装置固定座(5)上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆转运机构，其特征在于：所述吸盘安装支架包括调节支撑螺杆(65)，所述调节支撑螺杆(65)下端通过螺纹安装在吸盘固定座(62)上的螺纹孔内，所述调节支撑螺杆(65)中部设有安装支撑套(68)，所述安装支撑套(68)上侧的调节支撑螺杆(65)外侧设有上复位弹簧(66)，所述安装支撑套(68)下侧的调节支撑螺杆(65)外侧设有下复位弹簧(67)，安装支撑套(68)安装在抓取装置固定座(5)上。3.根据权利要求1所述的一种晶圆转运机构，其特征在于：所述抓取调节装置(4)包括调节装置固定板(41)，所述调节装置固定板(41)上设有左右调节气缸(42)，所述左右调节气缸(42)的缸体通过气缸固定座(43)安装在调节装置固定板(41)上，所述左右调节气缸(42)的输出端上设有左右调节驱动头(44)，所述左右调节驱动头(44)固定在上下调节支撑板(45)上，所述上下调节支撑板(45)与调节装置固定板(41)支架设有左右调节导向装置，所述上下调节支撑板(45)包括上下调节气缸(46)，所述上下调节气缸(46)的缸体通过气缸固定座安装在上下调节支撑板(45)上，所述上下调节气缸(46)的输出端上设有抓取装置安装板(47)，所述抓取装置安装板(47)与上下调节支撑板(45)之间设有上下调节导向装置。4.根据权利要求3所述的一种晶圆转运机构，其特征在于：所述左右调节导向装置包括调节导向滑块(49)、调节导向滑轨(48)，所述调节导向滑块(49)滑动安装在调节导向滑轨(48)上，所述调节导向滑轨(48)通过固定螺栓安装在调节装置固定板(41)上，所述调节导向滑块(49)通过固定螺栓安装在上下调节支撑板(45)上。5.根据权利要求4所述的一种晶圆转运机构，其特征在于：所述上下调节导向装置包括调节导向杆(410)，所述调节导向杆(410)外侧设有调节导向套(412)，所述调节导向套(412)通过固定螺栓安装在上下调节支撑板(45)上，所述调节导向杆(410)下端固定在抓取装置安装板(47)上，所述调节导向杆(410)上端设有行程限位块(411)。
技术总结
本实用新型提供一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁，所述转运支撑横梁一端固定在左支撑杆上、另一端固定在右支撑杆上，所述左支撑杆下端设有左前后移动装置，所述右支撑杆下端设有右前后移动装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置滑动安装在移动滑槽内，所述转运支撑横梁中部设有抓取调节装置，所述抓取调节装置下端设有抓取装置固定座，所述抓取装置固定座上设有若干晶圆抓取装置，本实用新型不仅可以实现晶圆的快速抓取转运，而且，可以实现较大范围的空间转运，方便不同工序设备的组合使用。合使用。合使用。
技术研发人员：樊四虎 李强
受保护的技术使用者：天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司
技术研发日：2020.12.31
技术公布日：2021/12/16