一种基于钙钛矿晶圆的直接型X射线探测器及其制备方法

文档序号:31387751发布日期:2022-09-03 01:49阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器,其特征在于,包括钙钛矿晶圆以及蒸镀在所述钙钛矿晶圆两端的金电极;其中,所述钙钛矿晶圆采用ma3bi2i9多晶晶圆,厚度为0.6~1mm。2.根据权利要求1所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器,其特征在于,所述金电极为边长为2~3.5mm的正方形,厚度为80~100nm。3.根据权利要求1所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器,其特征在于,所述ma3bi2i9多晶晶圆具体为离子液体修饰后的ma3bi2i9多晶晶圆。4.根据权利要求3所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器,其特征在于,所述ma3bi2i9多晶晶圆通过液相法合成离子液体钝化修饰后的ma3bi2i9多晶,之后通过热压法热压成型。5.根据权利要求3或4所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器,其特征在于,所述离子液体为bmimbf4或bmimpf6。6.一种如权利要求1~5任一所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)称取摩尔比为(1~1.5)∶1的mai和bii3溶解到有机溶剂中,再将混合液与离子液体以1∶(0.05~0.1)的摩尔比混合,并在常温下搅拌5~10h使其充分溶解,得到ma3bi2i9前驱液;(2)将步骤(1)得到的ma3bi2i9前驱液分装入离心管中,并加入与ma3bi2i9前驱液体积比为(3~5):1的反溶剂,静置20~30min后,,进行离心沉淀洗涤,得到ma3bi2i9多晶粉体;(3)称取60~100mg的ma3bi2i9多晶粉体,放入5mm直径的热压模具中,在150~200℃的加热条件下将粉体进行压实,并保温保压30~120min;结束后脱模,得到厚度0.6~1mm的ma3bi2i9多晶晶圆;(4)将ma3bi2i9多晶晶圆放入蒸镀模具中,用气相沉积法在晶圆的上下两端分别蒸镀面积为4~12.25mm2的金电极,最终得到基于钙钛矿晶圆的x射线探测器。7.根据权利要求6所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,有机溶剂为二甲基甲酰胺、γ丁内酯和二甲基亚砜中的一种。8.根据权利要求6所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中,离子液体为bmimbf4或bmimpf6。9.根据权利要求6所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中,反溶剂为氯苯、甲苯和乙酸乙酯中的一种。10.根据权利要求6所述的基于钙钛矿晶圆的直接型x射线探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,热压压力为100~600mpa。

技术总结
本发明涉及光电探测器技术领域,提供了一种基于钙钛矿晶圆的直接型X射线探测器,包括钙钛矿晶圆以及蒸镀在所述钙钛矿晶圆两端的金电极;其中,所述钙钛矿晶圆采用MA3Bi2I9多晶晶圆,厚度为0.6~1mm。本发明还提供了一种基于钙钛矿晶圆的直接型X射线探测器的制备方法。本发明的优点在于:基于MA3Bi2I9钙钛矿晶圆器件,不仅制备简单、材料利用率高,还具有较高的电阻率、较高的载流子迁移率,使得制备的晶圆X射线探测器具有较高的灵敏度和极低的X射线检测下限。线检测下限。线检测下限。


技术研发人员:潘旭 汪子涵 叶加久 张辉
受保护的技术使用者:中国科学院合肥物质科学研究院
技术研发日:2022.04.29
技术公布日:2022/9/2
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