动器218是单独地连接至框架204,因此 容许W-个角度施加力。在本例中，运个角度从掩模开口 214起算，大约为45度和大约为 315度。此处所图示的微致动器218与精细金属掩模202和框架204共平面。然而，微致 动器可W定位在任何位置和方向，包括位于=维图的不同平面，W容许对精细金属掩模202 的调整。
[0039] 在不希望受到理论所束缚的前提下，认为在一个角度施加应力，可容许精细金属 掩模202的同步重新定位和拉伸。在膨胀过程中，诸如发生在沉积工艺中，精细金属掩模 202可能在位置和尺寸上相对于基板102发生移位。因此，容许位置和尺寸的同步调节，可 使通过精细金属掩模202进行的后续沉积得到更好的控制。
[0040] 图3是根据另一个实施方式所图示的掩模组件。掩模组件300包括精细金属掩模 302连接至框架304。如参考图2所作的描述，精细金属掩模302具有包含多条沟道308的 图案306,所述多条沟道308具有一个或多个对准标记310形成在其中。围绕图案306和 沟道308的可W是具有多个掩模开口 314的连接板312。精细金属掩模302的连接板312 可W包含多个凹口（notches) 316,所述凹口 316形成在每一个掩模开口 314和图案306之 间。精细金属掩模302可W进一步包括一条或多条狭缝（slits)324,所述狭缝形成在连接 板312中。
[0041] 多个微致动器318与框架304连接。框架304可W使用多个微致动器318与精细 金属掩模302连接。此处所图示的框架304和精细金属掩模302,在每一个掩模开口 314使 用一个微致动器318来彼此连接。微致动器318是单独地连接至框架304,因此容许W直线 的方式（liner化shion)施加力。框架304可具有框架半岛部320形成于其上。框架半岛 部320可W形成在框架304的侧边大约中屯、的位置。框架半岛部320可W位于连接板312 的开口中。框架半岛320可W容许框架304与中央微致动器322连接。中央微致动器322 可W连接至精细金属掩模302的两个点，W使中央微致动器322可W由两个方向施加力至 精细金属掩模302。
[0042]图4是根据另一个实施方式所图示的掩模组件400。掩模组件400包括精细金属 掩模402和框架404。如前所述，精细金属掩模402具有图案406、一条或多条沟道408W 及多个形成在其中的对准标记410。在本实施方式中，连接板412形成在图案406周围，且 具有一或多个半岛部420形成于其中。每一个半岛部420具有至少一个凹口 416形成于其 中。半岛部420和凹口 416的每一个被认为可在一个或多个操作中提供较佳的力分布和横 向移动。半岛部420进一步具有至少一个掩模开口 414形成于其中。
[0043] 框架404连接至多个微致动器418。所述微致动器418可通过半永久方法（诸如 通过焊接）来连接。每一个微致动器418连接至形成于精细金属掩模402上的半岛部420 中的掩模开口 414,W使所述微致动器在需要或要求时拉伸并移动精细金属掩模402。
[0044] 图5是根据另一个实施方式所图示的掩模器件500。掩模组件500包括精细金属 掩模502和框架504。如前所述，精细金属掩模502具有图案506、一条或多条沟道508W 及多个形成在其中的对准标记510。如参考图4所作的描述，连接板512形成在图案506周 围，且具有一个或多个半岛部520形成于其上。每一个半岛部520具有至少一个凹口 516 形成于其中。在本实施方式中，一个或多个掩模开口 514形成在连接板512中的半岛部520 周围。
[0045] 框架504可W具有多个侧壁505和多个内角部（internalcorner) 522,共同形成 围绕精细金属掩模502的外围。此处所图示的框架504具有四个侧壁505和四个形成在侧 壁505相交处（intersection)的内角部522。框架504进一步具有多个微致动器518,所 述微致动器518同时连接在框架504的侧壁505和内角部522上。所述多个微致动器518 连接到至少一个掩模开口 514。此处所图示的每一个微致动器518可W连接在其中一个掩 模开口 514与框架504的其中一个侧壁505之间。在内角部522上，有两个微致动器518 可W连接每一个掩模开口 514。虽然此处图示连接至掩模开口 514的两个微致动器518之 间形成一个90度夹角，但也有可能形成其他角度。
[0046] 微致动器518通过形成在沟道508任一边的掩模开口 514连接至精细金属掩模 502。本实施方式的横向方位化ateraldirectionality)可在内角部522上进行控制。微 致动器518可W形成在内角部522上，W使精细金属掩模502可W在任何方向上被操作。此 处所图示的内角部522形成于框架504上，有两个微致动器518连接至此内角部522上，W 及两个微致动器518连接至框架504上。运四个微致动器518 (二个一组共二组）在其中 一个掩模开口 514上，垂直地连接至精细金属掩模502。通过调控施加在位于内角部522上 的一个或更多个微致动器518的力，可W在任何方向拉伸并移动精细金属掩模502。
[0047] 图6是根据另一个实施方式所图示的掩模组件600。掩模组件600包括精细金属 掩模602和框架604。如前所述，精细金属掩模602具有图案606、一条或多条沟道608、多 个掩模开口 614W及多个形成于其中的对准标记610。在本实施方式之中，掩模开口 614形 成在沟道608上。一个或多个长孔结构（slot化rmations)620形成在精细金属掩模602 中，位于图案606和一个或多个连接板612之间。长孔结构620可容许位于一个或多个连 接板612和图案606之间的刚性连接（rigidconnections)，同时容许在图案606和长孔 结构620之间，且垂直长孔结构620的运动自由度（化eedomofmotion)。另外，长孔结构 620容许微致动器618的两正交组（twoorthogonalsets)在两个方向来绑]紧/拉伸精细 金属掩模602。尽管事实上个别的微致动器618和精细金属掩模602之间的机械连接不能 有效地伸长，且数量有限，例如少于约10,但使用长孔结构620,微致动器618的两正交组可 W細紧/拉伸精细金属掩模602。在上述实施方式中，虽然微致动器618跨越了所拉引的精 细金属掩模602的边缘的主要部分，但微致动器结合长孔结构620可W有效的細紧或拉伸 精细金属掩模602。
[0048] 多个框架开口 616形成在框架604中。微致动器618可W通过多个框架开口 616 连接至框架604,并且通过多个掩模开口 614连接至精细金属掩模602。因此，框架604可 W使用多个微致动器618与精细金属掩模602 (至少一部分）连接。此处图示的框架604 和精细金属掩模602使用位于每一个掩模开口 614上及位于每一个框架开口 616上的单个 微致动器618来连接。虽然每一个连接只图示单个微致动器618,但所使用的微致动器618 的数量和位置并没有限制。
[0049]图7图示根据另一个实施方式所图示的掩模组件700。掩模组件700包括精细金 属掩模702和框架704。如前所述，精细金属掩模702具有图案706、一条或多条沟道708、 多个对准标记710、连接板712W及多个形成在其中的掩模开口 714。多个掩模开口 714形 成在精细金属掩模702的连接板712中。框架704可W包括多个框架开口 716。如前所述， 框架开口 716可W与一个或多个微致动器718连接，进而将框架704连接至精细金属掩模 702。
[0050] 在本实施方式中，掩模开口 714形成在沟道708周围，因此为每一条沟708产生两 个掩模开口 714。另外，在本实施方式中，沟道708由图案706延伸至连接板712。运被认 为可容许长孔结构720基于微致动器718的定位而独立控制，所述微致动器718可容许精 细金属掩模702得到更好的横向控制和更精准的张力。长孔结构720可提供与参照图6所 描述的孔结构620实质相似的好处。
[0051]图8是根据另一个实施方式所图示的动态条带掩模装置800。动态条带掩模装置 800包括连接至精细金属掩模802的框架804。精细金属掩模802可W具有连接板805,所 述连接板805形成在精细金属掩模802的边缘，诸如形成在图案818的一个或多个边界上。 连接板805可W具有一个或多个掩模开口 810形成于其上。连接板805可W形成在精细金 属掩模802的单一侧边或单一部分。此处所图示的连接板805形成在精细金属掩模802的 第一边界820和第二边界822上。在第=边界824和第四边界826上，掩模开口 810形成 在精细金属掩模802的一条或多条沟道812中。形成在连接板805和图案818之间的可W 是长孔结构816。如此处所图示，长孔结构816可W从精细金属掩模802的一个或多个部分 中被省略不用，诸如当不采用连接板805时。
[0052] 一个或多个微致动器806连接精细金属掩模802和框架804。微致动器806可W 一端连接至掩模连