r>[0035]另外，由于光散射颗粒在有机发光二极管前面形成一层，因此可以提高有机发光装置的光提取效率。
[0036]此外，光散射颗粒可通过大气压化学气相沉积(APCVD)均匀地分散在基底基板上。
[0037]另外，由于光散射颗粒通过由APCVD沉积的透明导电膜结合至基底基板，因此可以实现结构稳定性。
[0038]此外，由于透明导电膜充当用于光散射颗粒的基质层和有机发光装置的电极，因此可以省去在与透明电极接触的有机发光装置的表面上沉积的相关技术的平坦化层，从而简化制造工艺。由于省去了平坦化层，因此光散射颗粒更接近于有机发光装置的有机发光层，由此可进一步增强光散射颗粒提高光提取效率的能力。
[0039]本发明的方法和设备具有的其它特征和优点将通过附图变得明了或在附图中阐明更多细节，所述附图合并于此，并且在下面的发明详述中，连同附图一起用来解释本发明的某些原理。
【附图说明】
[0040]图1为显示据本发明的示例性实施方式的用于有机发光装置的基板的横截面图，所述基板布置在有机发光装置的一个表面上，来自有机发光装置的光穿过所述基板发出；
[0041]图2为显示据本发明的示例性实施方式的制造用于有机发光装置的基板的方法的工艺的示意图；
[0042]图3为显示据本发明的示例性实施方式的光散射层的电子显微镜图像;以及
[0043]图4为显示据本发明的示例性实施方式的透明导电层的电子显微镜图像。
【具体实施方式】
[0044]现将详细参考根据本发明的用于有机发光装置的基板、制造该基板的方法和包含该基板的有机发光装置，附图中说明了本发明的实施方式并在下面描述，从而本发明所涉及领域的技术人员可以容易地实践本发明。
[0045]在该通篇文件中，应当参考附图，其中在所有不同的附图中使用相同的附图标记和符号以标示相同或相似的组件。在本发明的以下描述中，当合并于此的已知功能和组件的详述使得本发明的主题不清楚时可将其省略。
[0046]如图1中所示，根据示例性实施方式的用于有机发光装置的基板100布置在有机发光装置的一个表面上，来自有机发光装置的光穿过所述基板发出，从而提高有机发光装置的光提取效率。用于有机发光装置的基板100包含基底基板110、光散射层120和透明导电膜130。
[0047]虽然未明确示出，但是有机发光二极管10具有多层结构，其中阳极、有机发光层和阴极夹在根据本示例性实施方式的基底基板110与面向基底基板110的另一基板之间。在该情况下，根据本示例性实施方式的透明导电膜130充当阳极，S卩，有机发光二极管10的透明电极。根据本示例性实施方式，阳极可由其中添加掺杂剂的ZnO形成。此外，阴极可由具有较小功函以促进电子注入的Al、Al:Li或Mg:Ag的金属薄膜形成。有机发光层可包含在阳极上依次堆叠的空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层。当根据本示例性实施方式的有机发光二极管10为用于照明的白色有机发光二极管时，发光层可具有例如包含发蓝色光的高分子发光层和发橘红色光的低分子发光层的多层结构。发光层还可具有各种其它结构以发出白光。此外，有机发光二极管10可具有串联结构。具体地，有机发光二极管10可包含多个有机发光层和与有机发光层交错的互连层。
[0048]对于该结构，当在阳极与阴极之间引入正向电压时，来自阴极的电子通过电子注入层和电子传输层迀移到发光层，并且来自阴极的空穴通过空穴注入层和空穴传输层迀移到发光层。已经迀移到发光层中的电子和空穴彼此复合，从而产生激子。当这些激子由激发态跃迀至基态时，发出光。发出的光的亮度与阳极和阴极之间流动的电流的量成正比。
[0049]基底基板110支撑光散射层120和布置在其一个表面上的透明导电膜130。基底基板110还充当封装基板，其布置在有机发光装置的一个表面上，来自有机发光装置的光穿过所述基板发光，从而允许光从有机发光装置离开，同时保护有机发光二极管10免受外面环境影响。
[0050]基底基板110可为具有卓越的透光率和机械性能的任何透明基板。例如，基底基板110可由聚合物材料形成，例如热或紫外光(UV)可固化的有机膜，或化学强化玻璃，例如钠钙玻璃(S12-CaO-Na2O)或铝硅玻璃(S12-Al2O3-Na2O)13当包含根据本示例性实施方式的有机发光二极管10和光提取基板100的有机发光装置用于照明时，基底基板110可由钠钙玻璃形成。基底基板110可为由金属氧化物或金属氮化物形成的基板。基底基板110可由一片厚度为1.5mm或更小的薄玻璃形成。所述薄玻璃可通过恪融法或浮制法制成。
[0051 ]光散射层120布置在基底基板110上。光散射层120形成为许多均匀分布的光散射颗粒121的层。光散射层120用于通过使下述路径多样化提高有机发光装置的光提取效率:所述路径为使光穿过其从有机发光装置发出的路径。根据本示例性实施方式，与相关技术中相比，散射层120与有机发光二极管10的有机发光层更接近，因为充当有机发光二极管10的阳极的透明导电膜130直接布置在光散射层120上。因此，可进一步增强光散射层120通过散射光提高光提取效率的能力。
[0052]根据本不例性实施方式的光散射层120为其中排布许多光散射颗粒121的层。光散射层120与基底基板110之间的结合力仅由范德华力维持。在光散射颗粒121之间形成孔。一些或全部的孔可被透明导电膜130的金属氧化物ZnO填充。ZnO与基底基板110之间的结合允许光散射层120更可靠地维持其在基底基板110上的形状。在通过化学气相沉积(CVD)在光散射层120上形成透明导电膜130的期间，发生这样的现象:其中光散射层120的孔被透明导电膜130的金属氧化物填充。这将稍后结合制造用于有机发光装置的基板的方法更详细地描述。没有被ZnO填充的剩余孔像光散射颗粒121那样用于散射光。
[0053]根据本示例性实施方式，所述许多光散射颗粒121可由选自但不限于Zn0、Si02和T12中的至少一种形成。光散射颗粒121的直径范围可为50至500nm。优选地，光散射颗粒121具有在该范围内的各种直径，从而实现更好的光散射效应。
[0054]透明导电膜130布置在光散射层120上。透明导电膜130的金属氧化物占据了一些在光散射层120的光散射颗粒121之间的孔，并且在该过程中，与基底基板110接触。在结构方面，光散射层120布置在透明导电膜130内部，更具体地，在形成与基底基板110的边界的透明导电膜130的底层部分的内部。此外，透明导电膜130的上层仅由金属氧化物制成。因此，透明导电膜130具有双重结构作用:作为将光散射颗粒121固定在其中的基质层和作为有机发光二极管10的阳极。由于根据本示例性实施方式的用于有机发光装置的基板100具有充当有机发光二极管10的阳极的透明导电膜130，因此可简化用于有机发光二极管10的制造工艺。
[0055]根据本示例性实施方式的透明导电膜130可由添加掺杂剂的ZnO形成。掺杂剂可为例如Ga或Al。
[0056]下面将参考图2描述制造用于有机发光装置的基板的方法。
[0057]制造用于有机发光装置的基板的方法包括第一干沉积步骤和第二干沉积步骤。
[0058]首先，如图2中所示，通过干沉积法在基底基板110上沉积光散射颗粒121来进行第一干沉积步骤。干沉积法可为化学气相沉积(CVD) ο具体地，根据本示例性实施方式，第一干沉积步骤可通过大气压化学气相沉积(APCVD)来进行。因此，在第一干沉积步骤中，首先，将基底基板110装入沉积室(未显不)中。可加热基底基板110以提尚光散射颗粒121的沉积效率。之后，将被认为形成光散射颗粒121的选自二乙基锌(DEZ)的ZnO前体、正硅酸四乙酯(TEOS)的S1