晶圆存储盒开盖装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及晶圆制造领域，特别涉及一种晶圆存储盒开盖装置。
【背景技术】
[0002]晶圆(Wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。经过前处理、电镀、清洗后的晶圆需要尽快放入晶圆存储盒中进行密封存储，避免在存放过程中被空气中的灰尘、水汽等杂质二次污染，影响晶圆的品质。现有技术中，当经过前处理、电镀、清洗后的晶圆需要密封存储时，一般通过工人手动抓取晶圆存储盒的盒盖，打开容腔，待晶圆放入容腔后，再通过工人手动抓取盒盖盖住容腔，效率低，延长了晶圆在空气中的暴露的时间，使晶圆受到污染。工人手动操作，劳动强度大，用人成本高。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可自动打开晶圆存储盒的盒盖的晶圆存储盒开盖装置。
[0004]为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现:
[0005]晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，包括:
[0006]支撑台；所述支撑台用于支撑晶圆存储盒；
[0007]盒盖抓取装置；所述盒盖抓取装置设置在所述支撑台的一侧，用于抓取晶圆存储盒的盒盖；所述盒盖抓取装置可相对所述支撑台移动。
[0008]优选地是，还包括定位装置；所述定位装置包括两个以上定位柱；所述定位柱设置在所述支撑台上并凸出所述支撑台；晶圆存储盒上设有与所述定位柱相适应的插孔或插槽；所述定位柱插入插槽，将晶圆存储盒定位在所述支撑台上的指定位置。
[0009]优选地是，还包括位置检测装置；所述位置检测装置用于检测晶圆存储盒是否位于指定的位置。
[0010]优选地是，所述位置检测装置包括至少一个活动块；所述活动块设置在所述支撑台上凸出所述支撑台，且可相对所述支撑台做升降运动；每个所述活动块的下方均设有一个开关；所述活动块下降后开启所述开关或关闭所述开关。
[0011]优选地是，还包括锁紧装置；所述锁紧装置用于将晶圆存储盒锁紧在所述支撑台上。
[0012]优选地是，所述锁紧装置包括挡块；所述挡块可转动地设置在所述支撑台上；所述挡块与所述支撑台之间设有空隙；还包括第一驱动装置；所述第一驱动装置驱动所述挡块转动或通过第一传动装置驱动所述挡块转动；所述第一驱动装置为第一伺服电机或第一气缸；所述挡块插入晶圆存储盒上的插孔内转动一定角度后，将所述晶圆存储盒限制在所述之支撑台上。
[0013]优选地是，还包括支架；所述支架包括底座和竖板；所述支撑台可移动地设置在所述底座上；所述竖板设置在所述底座的一侧；所述盒盖抓取装置包括盖板；所述竖板设置有通孔；所述盖板可拆卸地设置在所述竖板上并封住所述通孔；所述底座和所述盖板分别位于所述竖板的两侧。
[0014]优选地是，还包括第二驱动装置；所述第二驱动装置驱动所述支撑台相对所述支架移动或通过第二传动装置驱动所述支撑台相对所述支架移动；所述第二驱动装置为第二伺服电机或第二气缸。
[0015]优选地是，所述第二传动装置为第一丝杠螺母；所述第一丝杠螺母包括螺纹配合的第一丝杆和第一螺母；所述第一丝杆和所述第一螺母中的一个受所述第二驱动装置驱动转动，另一个与所述支撑台连接。
[0016]优选地是，还包括转轴；所述盖板可转动地设置在所述转轴上；还包括第三驱动装置；所述第三驱动装置驱动所述盖板转动或通过第三传动装置驱动所述盖板转动；所述第三驱动装置为第三伺服电机或第三气缸。
[0017]优选地是，还包括第四驱动装置；所述第四驱动装置驱动所述盖板做升降运动或通过第四传动装置驱动所述盖板做升降运动；所述第四驱动装置为第四伺服电机或第四气缸。
[0018]优选地是，还包括伸缩臂，所述伸缩臂包括套筒和伸缩杆，所述伸缩杆插置于所述套筒内并可沿所述套筒移动以调整伸缩臂的长度；所述伸缩臂下端可转动地安装于所述转轴上；第三驱动装置驱动伸缩臂绕转轴转动或通过第三传动装置驱动伸缩臂绕转轴转动，第四驱动装置驱动伸缩杆和套筒之一移动或通过第四传动装置驱动伸缩杆和套筒之一移动。
[0019]优选地是，所述第四传动装置为第二丝杠螺母；所述第二丝杠螺母包括螺纹配合的第二丝杆和第二螺母；所述第二丝杆和所述第二螺母中的一个受所述第四驱动装置驱动转动，另一个与所述盖板连接。
[0020]优选地是，所述盖板上设有吸盘；所述吸盘用于吸附盒盖。
[0021]优选地是，所述支撑台携带晶圆存储盒朝所述竖板移动后，使晶圆存储盒抵靠在竖板上；所述盖板抓取所述盒盖。
[0022]本实用新型提供的晶圆存储盒开盖装置，提供支撑台支撑晶圆存储盒，通过驱动装置驱动盒盖抓取装置抓取盒盖、并带动盒盖移动，从而打开或盖住容腔，速度快，尽可能地缩短了处理好的晶圆暴露在空气中的时间，避免晶圆受到二次污染，提高晶圆的品质。同时提高了自动化程度，省时省力，生产效率大大提高，劳动强度大大降低。
【附图说明】
[0023]图1为本实用新型中的晶圆存储盒开盖装置的结构示意图；
[0024]图2为本实用新型中的晶圆存储盒开盖装置的结构示意图；
[0025]图3为图2所示结构的另一角度示意图；
[0026]图4为本实用新型中的支撑台的结构示意图；
[0027]图5为本实用新型中的支撑台和底座的内部结构示意图；
[0028]图6为本实用新型中的底座的内部结构示意图；
[0029]图7为本实用新型中的竖板的内部结构示意图；
[0030]图8为本实用新型中的盒盖抓取装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0031]下面结合附图对本实用新型进行详细的描述:
[0032]晶圆存储盒包括盒体和盒盖。盒体设有容腔，容腔用于存储晶圆。盒盖设置在盒体上盖住容腔。盒盖和盒体可拆分。盒盖与盒体分离后，容腔打开。晶圆存储盒的结构为公知技术。
[0033]如图1和2所示，晶圆存储盒开盖装置，包括支架1，支架包括底座11和竖板12。底座11上设有支撑台2，支撑台2用于支撑晶圆存储盒。竖板12设置在底座11的一侧，开设有通孔13，通孔13与盒盖相适应，盒盖可穿过通孔13。晶圆存储盒开盖装置还包括盒盖抓取装置，盒盖抓取装置包括盖板3。盖板3和支撑台2分别位于竖板12的两侧。盖板3可拆卸地安装在竖板12上，并封住通孔13。盖板3用于将盒盖从晶圆存储盒上取下，并吸附盒盖。
[0034]如图4和5所示，支撑台2上设有定位装置，定位装置包括三个定位柱21。定位柱21凸出支撑台2。晶圆存储盒上设置有与定位柱21相配合的插孔或插槽，定位柱插入盒体上的插孔内，将晶圆存储盒定位在支撑台2上的指定位置，且可阻止晶圆存储盒与支撑台2沿水平方向相对移动。
[0035]支撑台2上还设有位置检测装置，位置检测装置用于检测晶圆存储盒是否处于指定的位置。根据位置检测装置包括三个活动块22。活动块22凸出支撑台2，且可相对支撑台2做升降运动。每个活动块22的下方均设有一个触发开关23。当活动块22向下移动一定的距离后开启或关闭开关23。当三个开关23均开启或关闭后，可判断晶圆存储盒位于指定的位置。
[0036]支撑台2上还设有锁紧装置，锁紧装置用于将晶圆存储盒锁紧在支撑台2上。锁紧装置包括挡块24。挡块24凸出支撑台2，且与支撑台2之间设有间隙。挡块24可转动地设置。还包括第一驱动装置，第一驱动装置为第一伺服电机41。第一伺服电机41驱动挡块24转动。挡块24插入盒体上的插孔内并转动一定角度后，将晶圆存储盒限制在支撑台2上，防止存储盒掉落，从而将晶圆存储盒锁紧在支撑台2上。再次转动挡块24，可使挡块24从插孔内移出，对晶圆存储盒接触锁紧。
[0037]如图5和6所示，支撑台2可在底座11上移动，靠近或远离竖板12。晶圆存储盒开盖装置还包括第二驱动装置。第二驱动装置为第二伺服电机42。第二伺服电机42通过第二传动装置驱动支撑台2移动。第二传动装置为第一丝杠螺母，第一丝杠螺母包括螺纹配合的第一丝杆51和第一螺母52。第一丝杆51可转动地设置在底座11上，受第二伺服电机42驱动转动。第一螺母52与支撑台2连接，带动支撑台2沿第一丝杆51移动。
[0038]晶圆存储盒开盖装置还包括第一导向装置，第一导向装置包括两个导向杆61。两个导向杆61分别设置在第一丝杆51的两侧。第一螺母52的两端分别设置在两个导向杆61上，且可沿第一导向杆61移动。第一导向杆61可限制第一螺母52转动，使第一螺母51在第一丝杆51转动时沿第一丝杆51转动，从而带动支撑台2移动，提供移动的稳定性。
[0039]如图3和7所示，竖板12上设置有伸缩臂60和转轴14。伸缩臂60通过转轴14可转动地安装。盖板3设置在伸缩臂60上端。。晶圆存储盒开盖装置还包括第三驱