动装置，第三驱动装置为第三气缸43，第三气缸43的活塞杆沿水平方向设置，并与伸缩臂60连接。气缸43的活塞杆伸缩，驱动伸缩臂60绕转轴14转动。
[0040]盖板3可相对通孔13做升降运动。伸缩臂60包括套筒61和伸缩杆62。伸缩杆62插置于套筒61内并可沿套筒61移动以调整伸缩臂的长度。晶圆存储盒开盖装置还包括第四驱动装置，第四驱动装置为第四伺服电机44。第四伺服电机44通过第四传动装置驱动伸缩杆62做升降运动。第四传动装置为第二丝杠螺母，第二丝杠螺母包括螺纹配合的第二丝杆53和第二螺母54。第二丝杆53可转动地设置在竖板12上，受第四伺服电机44驱动转动，第二螺母54与伸缩杆62连接，带动盖板3沿第二丝杆53做升降运动。或者，第二螺母54与套筒61连接，，第四伺服电机44驱动第二丝杆53转动时，可使第二螺母54带动套筒61升降。
[0041]如图8所示，盖板3上设有两个吸盘31，吸盘31与抽真空装置(图中未示出)连通。抽真空装置将吸盘31抽真空，使吸盘内形成负压，通过负压吸附盒盖。
[0042]本实用新型的晶圆存储盒开盖装置的使用方法如下:
[0043]a、将晶圆存储盒放置在支撑台2上，通过三个定位柱21将晶圆存储盒定位在支撑台2的指定位置。当晶圆存储盒放置在支撑台2上的指定位置时，三个活动块22均受存储盒压迫下降移动后开启开关23，可判断存储盒放置在指定位置。第一伺服电机41启动，驱动挡块24转动，使挡块24与晶圆存储盒上的锁紧结构配合，将晶圆存储盒锁紧在支撑台2上。第二伺服电机42启动，通过第一丝杠螺母驱动支撑台2朝向竖板12移动，使晶圆存储盒的盒体抵靠在竖板12上，盒盖与通孔13对应。盒体封住通孔13。
[0044]b、启动抽真空装置，使吸盘31将盒盖吸住。
[0045]C、启动第三气缸43驱动盖板3绕转轴14转动后打开通孔，并将盒盖从盒体上取下。从而将盒盖与盒体分离，盒体的容腔打开。启动第四伺服电机44，驱动套筒61及盖板3、盒盖向下移动，通孔13彻底打开。此时既可以从存储盒内取出晶圆，也可以将处理好的晶圆放入容腔内存放。在向盒体内放入晶圆后，可启动第三气缸43和第四伺服电机44，驱动吸附有盒盖的盖板3移动，将盒盖安装在盒体上，用盒盖盖住容腔，将已处理好的晶圆密封于容腔内，避免灰尘、水汽等杂质进入容腔内污染晶圆。
[0046]通过驱动装置驱动盖板3吸附盒盖、并带动盒盖移动，从而打开或盖住容腔，速度快，尽可能地缩短了处理好的晶圆暴露在空气中的时间，避免晶圆受到二次污染，提高晶圆的品质。同时提高了自动化程度，省时省力，生产效率大大提高，劳动强度大大降低。设置定位结构，可帮助晶圆存储盒定位，防止偏离。设置位置检测装置，可再次确认晶圆存储盒的位置是否适当。在晶圆需要密封存储的情况下，开盖过程也需要保持容腔内的密封，因此，设置定位结构和位置检测装置尤其重要，这样可以防止位置未对准而导致开盖时漏气。支撑台可移动地设置，可以使存储盒抵靠在竖板上并保持密封。利用锁紧装置，可防止存储盒晃动而影响使用效果。盖板可绕转轴转动以打开通孔，动作幅度小，且可将第三驱动装置及第三驱动装置设置在盖板下方，充分利用空间，使得本实用新型能够更好地与其他处理装置相配合。
[0047]本实用新型中的上、下、升、降、水平、竖直均以图3为参考，为清楚地描述本实用新型而使用的相对概念，并不构成对权利要求范围的限制。
[0048]本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围OO
【主权项】
1.晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，包括: 支撑台；所述支撑台用于支撑晶圆存储盒； 盒盖抓取装置；所述盒盖抓取装置设置在所述支撑台的一侧，用于抓取晶圆存储盒的盒盖；所述盒盖抓取装置可相对所述支撑台移动。
2.根据权利要求1所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括定位装置；所述定位装置包括两个以上定位柱；所述定位柱设置在所述支撑台上并凸出所述支撑台；晶圆存储盒上设有与所述定位柱相适应的插孔或插槽。
3.根据权利要求1所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括位置检测装置；所述位置检测装置用于检测晶圆存储盒是否位于指定的位置。
4.根据权利要求3所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，所述位置检测装置包括至少一个活动块；所述活动块设置在所述支撑台上凸出所述支撑台，且可相对所述支撑台做升降运动；每个所述活动块的下方均设有一个开关；所述活动块下降后开启所述开关或关闭所述开关。
5.根据权利要求1所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括锁紧装置；所述锁紧装置用于将晶圆存储盒锁紧在所述支撑台上。
6.根据权利要求5所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，所述锁紧装置包括挡块；所述挡块可转动地设置在所述支撑台上；所述挡块与所述支撑台之间设有空隙；还包括第一驱动装置；所述第一驱动装置驱动所述挡块转动或通过第一传动装置驱动所述挡块转动；所述第一驱动装置为第一伺服电机或第一气缸；所述挡块插入晶圆存储盒上的插孔内转动一定角度后，将晶圆存储盒限制在支撑台上。
7.根据权利要求1所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括支架；所述支架包括底座和竖板；所述支撑台可移动地设置在所述底座上；所述竖板设置在所述底座的一侧；所述竖板设置有通孔；所述盒盖抓取装置包括盖板；所述盖板可拆卸地设置在所述竖板上并封住所述通孔；所述底座和所述盖板分别位于所述竖板的两侧。
8.根据权利要求7所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括第二驱动装置；所述第二驱动装置驱动所述支撑台相对所述支架移动或通过第二传动装置驱动所述支撑台相对所述支架移动；所述第二驱动装置为第二伺服电机或第二气缸。
9.根据权利要求8所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，所述第二传动装置为第一丝杠螺母；所述第一丝杠螺母包括螺纹配合的第一丝杆和第一螺母；所述第一丝杆和所述第一螺母中的一个受所述第二驱动装置驱动转动，另一个与所述支撑台连接。
10.根据权利要求7所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括第四驱动装置；所述第四驱动装置驱动所述盖板做升降运动或通过第四传动装置驱动所述盖板做升降运动；所述第四驱动装置为第四伺服电机或第四气缸。
11.根据权利要求7所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括转轴；所述盖板可绕所述转轴转动地设置；还包括第三驱动装置，所述第三驱动装置驱动所述盖板转动或通过第三传动装置驱动所述盖板绕所述转轴转动；所述第三驱动装置为第三伺服电机或第三气缸。
12.根据权利要求11所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括第四驱动装置；所述第四驱动装置驱动所述盖板做升降运动或通过第四传动装置驱动所述盖板做升降运动；所述第四驱动装置为第四伺服电机或第四气缸。
13.根据权利要求12所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，还包括伸缩臂，所述伸缩臂包括套筒和伸缩杆，所述伸缩杆插置于所述套筒内并可沿所述套筒移动以调整伸缩臂的长度；所述伸缩臂下端可转动地安装于所述转轴上；第三驱动装置驱动伸缩臂绕转轴转动或通过第三传动装置驱动伸缩臂绕转轴转动，第四驱动装置驱动伸缩杆和套筒之一移动或通过第四传动装置驱动伸缩杆和套筒之一移动。
14.根据权利要求12所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，所述第四传动装置为第二丝杠螺母；所述第二丝杠螺母包括螺纹配合的第二丝杆和第二螺母；所述第二丝杆和所述第二螺母中的一个受所述第四驱动装置驱动转动，另一个与所述盖板连接。
15.根据权利要求7所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，所述盖板上设有吸盘；所述吸盘用于吸附盒盖。
16.根据权利要求7所述的晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，所述支撑台携带晶圆存储盒朝所述竖板移动后，使晶圆存储盒抵靠在竖板上；所述盖板抓取所述盒盖。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆存储盒开盖装置，其特征在于，包括：支撑台；所述支撑台用于支撑晶圆存储盒；盒盖抓取装置；所述盒盖抓取装置设置在所述支撑台的一侧，用于抓取盒盖；所述盒盖抓取装置可相对所述支撑台移动。本实用新型提供的晶圆存储盒开盖装置，提供支撑台支撑晶圆存储盒，通过驱动装置驱动盒盖抓取装置吸附盒盖并带动盒盖移动，从而打开或盖住容腔，速度快，尽可能地缩短了处理好的晶圆暴露在空气中的时间，避免晶圆受到二次污染，提高晶圆的品质。
【IPC分类】H01L21-67, H01L21-673
【公开号】CN204407299
【申请号】CN201420870484
【发明人】王振荣, 刘红兵
【申请人】上海新阳半导体材料股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2014年12月31日