获得的脉冲信号,并输出至各轴电动机。根据该控制信号,XY Θ载台72与X方向的修正量Xl成正比地朝X方向移动,与Y方向的修正量Yl成正比地朝Y方向移动,并仅以Θ轴旋转的修正量Θ I进行Θ轴旋转。
[0085]同样地,如图12所示,在从预定载置于自最里边起往跟前第I个的插座部41b上的第2电子零件W2经摄像部71摄像后直至往载置于XY Θ载台72上为止的期间,控制部73决定第2电子零件的修正量X2、Y2、Θ 2。其中,数据选择部733选择与第二个位置识别信息相关联的姿势信息。
[0086]同样地,在从预定载置于自最里边起往跟前第2个及最跟前的插座部41上的第3电子零件及第4电子零件经摄像部71摄像后直至往载置于XY Θ载台72上为止的期间,控制部73决定第3电子零件及第4电子零件的修正量。其中,对于第3电子零件,利用与第三个位置识别信息相关联的姿势信息,对于第4电子零件,利用与第四个位置识别信息相关联的姿势信息。对于第五个及其后所排列的电子零件,再次设为第I电子零件、第2电子零件...,并对应地依次使用第一个位置识别信息、第二个位置识别信息...。
[0087]并且,如图13的(a)所示,搬送平台12将与预定载置的插座部41的配置姿势吻合的4个电子零件Wl?W4搬送至各预定载置的插座部41a?41d的正上方为止。进退驱动装置8在所有电子零件Wl?W4聚齐在插座部41a?41d的正上方时,如图13的(b)所示,使吸嘴13下降,将各电子零件Wl?W4载置于各插座部41a?41d上。在该载置阶段,即使各插座部41a?41d的配置姿势与恰当姿势存在各自的程度上的差异,但由于各电子零件Wl?W4的姿势已与其偏离吻合地受到矫正,因此实现精度良好的载置。
[0088]当4个电子零件Wl?W4的电气特性检查一齐开始时,由于各电子零件Wl?W4的电极精度良好地与端子接触,因此该电气特性检查的精度高。当电气特性检查结束时,各电子零件Wl?W4依次经过外观检查单元5及分类单元6,若不值得收容至收容单元3,则被收容至分类单元6中。剩余的电子零件进而到达收容单元3,并被收容至收容单元3中。
[0089]如上所述,该电子零件搬送装置I预先存储有表示插座部41的设置姿势的姿势信息。并且,对搬送路径11上的电子零件进行摄像,并基于摄像结果来修正电子零件的姿势,以便与姿势信息所表示的插座部41的设置姿势一致。
[0090]由此,即使插座部41的设置姿势因组装误差等而与恰当姿势不同,也不需要对该插座部41的偏离进行矫正的调整作业,便能够精度良好地将电子零件载置于插座部41。因而,在电气特性检查中,能够极为容易地使插座部41的端子与电子零件的电极接触,抑制接触不良等的产生,从而能够实现有可靠性的电气特性检查。
[0091]而且,还能够降低插座部41的边缘与电子零件发生碰撞的风险(risk)。因此,能够抑制电子零件因插座部41的边缘产生划痕,或者电子零件因与插座部41边缘的碰撞而从搬送路径11脱离之虞,提高电子零件的良率。
[0092]插座部41是为了对电子零件进行处理而载置所述电子零件的载台的一例。该电子零件搬送装置I中,可预先存储表示所有载台的设置姿势的姿势信息,并基于该姿势信息来与载台的设置姿势一致地修正电子零件。
[0093]作为载台的其他示例,可列举外观检查单元5的载台或者对电子零件进行激光打标的激光打标单元的载台等。只要在比设置有外观检查单元5的停止位置靠搬送方向上游侧设置摄像部71与XY Θ载台72,而且,在比设置有激光打标单元的停止位置靠搬送方向上游侧设置摄像部71与XY Θ载台72,并使用虚设体来实施设定模式即可。
[0094]作为姿势信息的存储方法,在电子零件搬送前的设定模式中,利用包含搬送平台12及吸嘴13的搬送部件,使姿势与插座部41 一致的虚设体移动至摄像部71,利用摄像部71来对虚设体进行摄像,并将经摄像部71摄像所得的虚设体的姿势存储为姿势信息。SP,姿势修正单元7通过与虚设体的姿势一致地变更电子零件的姿势,从而使电子零件与插座部41的配置姿势一致。
[0095]这样,只须利用虚设体来模仿插座部41的配置姿势,并对该虚设体进行摄影,因此无须使用量规(gauge)等测定器具来测定插座部41的配置姿势,从而能够极为简单地实现高可靠性的电气特性检查。而且,对于电气特性检查以外的检查,也可同样简单地提高可靠性。
[0096]但是,作为向存储部732中存储姿势信息的存储方法,并不限于此,也可使用量规等测定器具来测定插座部41的配置姿势,并使用触摸屏9等输入接口来输入该测定结果。而且,在设定模式中,也可取代对电子零件进行仿真而成的虚设体的使用,而使用在零件搬送模式中搬送的电子零件。在该设定模式中使用的电子零件也可在后续的零件搬送模式中搬送。
[0097]而且,在该电子零件搬送装置I中,沿着搬送路径11而连续地具备多个插座部41,在朝连续设置的所有插座部41 一对一地搬送电子零件后,将对应的电子零件载置于各插座部41以进行电气特性检查。即,在该电子零件搬送装置I中,每隔与插座部41的数量相当的间歇旋转次数来实施I次电气特性检查。并且,存储部732存储每个插座部41的姿势信息,姿势修正单元7基于载置电子零件的预定的插座部41的姿势信息,使载置的电子零件的姿势与该插座部41 一致。
[0098]由此,在连续配置有进行相同处理的载台,从而一次性地执行处理的情况下,也可省去将各载台的配置姿势调整为恰当姿势的工夫,从而能够飞跃性地缩短电子零件搬送装置I的调整作业。
[0099]进行相同处理的载台可以无空余的停止位置的方式,与停止位置的间隔一致地配置,若未介隔进行其他处理的载台,则也可存在空余的停止位置。即,在进行相同处理的载台所排列的范围内,也可在与载台为同数量的停止位置处连续地配置载台,或者包含未配置载台的电子零件的停止位置。例如,可将3个同种的载台配置于连续的3处停止位置,也可将3个载台配置于连续的4处停止位置中的任意处。
[0100]另外,若进行相同处理的载台为单独存在,则由于姿势信息为一个,因此无须与位置识别信息相关联,从而可去除数据选择部733。
[0101]而且,本实施方式中,根据摄像部71的摄像所输出的图像数据来分析虚设体或电子零件的姿势,算出姿势信息所表示的插座部41的设置姿势与电子零件的姿势的差值以作为修正量。但并不限于此,用于使电子零件的姿势与插座部41的设置姿势一致的运算处理可使用各种公知的方法。
[0102]例如,当根据图像来检测表示电子零件的姿势的位置向量或方向向量时,也可与姿势信息一致地预先转换该图像的坐标系。即,与虚设体的位置向量相应地使图像上的原点挪动,并与方向向量相应地使正交坐标系旋转。此时,若算出电子零件的姿势,则该算出结果直接成为修正量,从而可简化运算处理。
[0103](变形例I)
[0104]在进退驱动装置8中,朝向吸嘴13的头部延伸的杆可采用使音圈电动机(voicecoil motor)的线圈筒(coil bobbin)延长而成者。在音圈电动机的推力未产生状态下,杆由从吸嘴13受到的反作用力推压而退入音圈电动机内部。另一方面,当音圈电动机产生比抵抗反作用力的对抗推力大的推力时,杆按入吸嘴13。音圈电动机产生将使电子零件按压至插座部41的按压力与抵抗来自吸嘴13的反作用力的反向推力相加的合计推力。
[0105]由此,当将虚设体插入至插座部41后,若吸嘴13欲进一部下降,则杆会沉入音圈电动机。控制部73检测该杆的沉入,对从进退驱动装置8的旋转电动机开始驱动直至检测时机为止的合计旋转角度进行计测。计测值在吸嘴13与插座部41的相对移动的控制中再现。
[0106]这样,只要设置对保持于吸嘴13的虚设体向插座部41的接触进行检测的传感器,便可各别地事先测定吸嘴13对每个插座部41的接近量。根据基板42的组装精度等,每个插座部41的高度有时也会产生偏离。然而,只要反馈(feedback)虚设体的事先测定结果并在零件搬送模式中使用,便可保持电气特性测试中的恰当的电极与端子的接触压力,而且也不会对电子零件造成过剩的负荷。
[0107](变形例2)
[0108]作为电气测试单元4的各插座部41的配置方法,也可不各别地组装具有该插座部41的基板42,而是如图14所示,将固定有各基板42的共用的板直接地安装至台架14,或经由