一种硅片翻转冲洗装置的制作方法

本实用新型涉及机械领域，尤其涉及一种硅片翻转冲洗装置。

背景技术：

硅棒切片后，硅片需要冲洗脱胶，挂立冲洗时硅片在下部，硅片粘胶面在上部，两侧的喷淋水很难进入胶层和硅片连接处，造成此位置砂浆残存，砂浆配比正常、辅材质量达标，最终通过清洗工序会洗掉脏污，如果季节变化、辅材质量变化，会造成粘胶面位置脏污无法清洗，其主要原因是冲洗水无法进入粘胶面位置，残留砂浆无法清洗。

技术实现要素：

实用新型的目的：为了提供一种效果更好的硅片翻转冲洗装置，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。

为了达到如上目的，本实用新型采取如下技术方案：

一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于，包含机架，所述机架上包含竖直的板状结构，该板状结构上可转安装有定位卡盘，所述定位卡盘中部一边包含把手，定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座，燕尾固定座中部包含一个夹持槽，还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座，所述燕尾座为上方的凸起，凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中，固定底盘能放置硅片。

本实用新型进一步技术方案在于，所述固定底盘上包含多个夹子，夹子能夹持硅片。

本实用新型进一步技术方案在于，所述定位卡盘上包含多个孔，所述板状结构上也包含孔，还包含能穿过定位卡盘上的孔和板状结构上的孔的螺栓，该螺栓能将定位卡盘相对固定。

本实用新型进一步技术方案在于，所述机架上包含盛水槽，盛水槽位于燕尾固定座的下方。

本实用新型进一步技术方案在于，所述机架下方包含轮子。

本实用新型进一步技术方案在于，所述多个孔围绕卡盘圆周分布。

本实用新型进一步技术方案在于，所述板状结构能够升降，其能够带动定位卡盘以及把手和燕尾固定座升降。

采用如上技术方案的本实用新型，相对于现有技术有如下有益效果：通过燕尾机构和转轴共同驱动硅棒旋转，使切割后的硅棒旋转90度，粘胶面将处于一侧，通过喷淋水自上而下进行冲洗，硅片间的砂浆尤其是粘胶面位置之前很难清洗的砂浆，将被彻底冲洗干净，降低硅片之间的砂浆残存，解决硅片清洗的脏污问题。

附图说明

为了进一步说明本实用新型，下面结合附图进一步进行说明：

图1为实用新型第一位态结构示意图；

图2为实用新型第二位态结构示意图；

其中：1.机架；2.燕尾固定座；3.燕尾座；4.固定底盘；5.把手；6.定位卡盘；7.固定孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例进行说明，实施例不构成对本实用新型的限制：

一种硅片翻转冲洗装置，其特征在于，包含机架，所述机架上包含竖直的板状结构，该板状结构上可转安装有定位卡盘，所述定位卡盘中部一边包含把手，定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座，燕尾固定座中部包含一个夹持槽，还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座，所述燕尾座为上方的凸起，凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中，固定底盘能放置硅片。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下：通过燕尾机构和转轴共同驱动硅棒旋转，使切割后的硅棒旋转90度，粘胶面将处于一侧，通过喷淋水自上而下进行冲洗，硅片间的砂浆尤其是粘胶面位置之前很难清洗的砂浆，将被彻底冲洗干净，降低硅片之间的砂浆残存，解决硅片清洗的脏污问题。承载台旋转速度等信息还需送入显示屏，这样共同构成硅片边缘硅落磨削装置，燕尾单元位于整个机构的前端，并与转轴单元连接，转轴单元与升降单元连接，通过转轴单元旋转，驱动燕尾单元旋转，带动硅棒转动。

工作步骤如下：

⑴料被固定在燕尾坐上；

⑵通过转轴的旋转，带动棒料顺时针旋转90度位置，通过转轴卡盘上的销孔锁定旋转位置；本处的销孔即固定孔；

⑶通过升降机构使硅棒处于合适的冲洗高度；

⑷打开冲洗喷头，手持移动冲洗硅片间的砂浆；

⑸去掉卡盘上的定位销，通过转轴的旋转，带动硅棒顺时针再旋转90度，使硅片朝上，等待进行脱胶。

所述固定底盘上包含多个夹子，夹子能夹持硅片。本处的技术方案所起到的实质的技术效果及其实现过程为如下：本处提供了一种具体的固定结构，类似的实现方式均在本专利的保护范围内。

所述定位卡盘上包含多个孔，所述板状结构上也包含孔，还包含能穿过定位卡盘上的孔和板状结构上的孔的螺栓，该螺栓能将定位卡盘相对固定。其即定位销。通过定位销进行位置锁定。

所述机架上包含盛水槽，盛水槽位于燕尾固定座的下方。冲洗的空间为盛水槽。

所述机架下方包含轮子。轮子方便其移动。所述多个孔围绕卡盘圆周分布。调整更方便。

所述板状结构能够升降，其能够带动定位卡盘以及把手和燕尾固定座升降。升降的方式和结构很多，可以是一个钢丝能拉动板状结构升降。升降机构降低硅棒至合适的位置，通过旋转转轴，带动硅棒旋转至所需位置，实用定位销进行位置锁定，通过冲洗切割的硅片缝隙，使残留砂浆全部冲洗干净，完成对切割后硅棒参与砂浆的冲洗。

开创性地，以上各个效果独立存在，还能用一套结构完成上述结果的结合。

以上结构实现的技术效果实现清晰，如果不考虑附加的技术方案，本专利名称还可以是一种清洗旋转结构。图中未示出部分细节。

需要说明的是，本专利提供的多个方案包含本身的基本方案，相互独立，并不相互制约，但是其也可以在不冲突的情况下相互组合，达到多个效果共同实现。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本领域的技术人员应该了解本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的范围内。