1.一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,包含机架,所述机架上包含竖直的板状结构,该板状结构上可转安装有定位卡盘,所述定位卡盘中部一边包含把手,定位卡盘一边穿过板状结构为燕尾固定座,燕尾固定座中部包含一个夹持槽,还包含能套装在燕尾固定座的夹持槽中的燕尾座,所述燕尾座为上方的凸起,凸起和下方固定底盘之间能夹持在燕尾固定座中,固定底盘能放置硅片。
2.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述固定底盘上包含多个夹子,夹子能夹持硅片。
3.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述定位卡盘上包含多个孔,所述板状结构上也包含孔,还包含能穿过定位卡盘上的孔和板状结构上的孔的螺栓,该螺栓能将定位卡盘相对固定。
4.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述机架上包含盛水槽,盛水槽位于燕尾固定座的下方。
5.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述机架下方包含轮子。
6.如权利要求3所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述多个孔围绕卡盘圆周分布。
7.如权利要求1所述的一种硅片翻转冲洗装置,其特征在于,所述板状结构能够升降,其能够带动定位卡盘以及把手和燕尾固定座升降。