一种半导体集成圆片生产加工用修边装置的制作方法

文档序号:16629525发布日期:2019-01-16 06:26阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种半导体集成圆片生产加工用修边装置,包括工作平台,所述工作平台的底部设有支架,且所述工作平台的上端设有立柱,所述立柱设置有两组,且两组所述立柱分别位于工作平台的上端两侧,其中一组所述立柱上安装有接近开关,且两组所述工作平台的上端之间固定连接有横杆,所述横杆的上表面安装有伺服电缸,所述伺服电缸内的丝杠贯穿横杆固定连接有第一安装座,所述第一安装座的下表面安装有第一电机,所述第一电机上键连接有转轴,所述转轴上安装有刀片,且所述转轴的底部安装有固定装置,所述固定装置位于刀片的内部,本发明可达到循环上料的目的,节约时间,便于对半导体集成圆片进行固定的工作。

技术研发人员:王卓瑜;苏越青;何煜旭
受保护的技术使用者:王卓瑜
技术研发日:2018.08.30
技术公布日:2019.01.15
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1