一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置的制作方法

本实用新型涉及工业加工技术领域，具体为一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置。

背景技术：

多晶硅，是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅，具有利用价值，从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅和薄膜材料。

现有的设备可以高效的对多晶硅进行处理，但是在处理多晶硅片的时候硅片边缘会出现裂纹，经过切割后的硅片边缘表面有毛刺，比较粗糙，增加了颗粒污染，现有的设备在处理硅片的倒角的时候容易破坏硅片的结构，或多或少的会出现破损，故而提出一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置来解决上述所提出的问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置，具备低损伤和快速倒角的优点，解决了在处理多晶硅片的时候硅片边缘会出现裂纹，经过切割后的硅片边缘表面有毛刺，比较粗糙，增加了颗粒污染，现有的设备在处理硅片的倒角的时候容易破坏硅片的结构，或多或少的会出现破损的问题。

(二)技术方案

为实现上述低损伤和快速倒角的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置，包括底座，所述底座的内部固定连接有隔板，所述隔板的底部固定连接有集水槽，所述集水槽的底部固定连接有出水管，所述底座的背面固定连接有固定架，所述固定架的内部固定连接有滑道，所述固定架的顶部固定连接有支撑座，所述支撑座的顶部固定连接有滑道组件，所述滑道组件的顶部固定连接有步进电机组件，所述步进电机组件的背面固定连接有滑杆，所述滑道组件的内部固定连接有吊杆，所述吊杆的底部固定连接有喷嘴，所述喷嘴的顶部固定连接有控水阀，所述控水阀的左侧设置有控制器，所述控制器的底部放置有液压装置，所述液压装置的底部设置有增压器，所述控制器的左侧设置有蓄能器，所述蓄能器的左侧设置有水泵，所述水泵的左侧设置有过滤器，所述过滤器的顶部固定连接有供水器。

优选的，所述底座的内部为中空，底座和固定架为一个整体，底座右侧的底端开设有通孔。

优选的，所述隔板的顶部开设有等距离的圆形通孔，隔板的外部和底座的内壁固定连接，集水槽为漏斗形。

优选的，所述滑道包括滑轨、滑块和限位块，两个滑道的外部和固定架的内壁固定连接，滑块和滑轨套接，滑块的内侧和支撑座底部的外侧固定连接。

优选的，所述支撑座包括上座、下座和处理器，下座的正面和背面均贯穿固定架的顶部并延伸至滑道的内侧，滑道组件包括外壳和滑轨，滑轨的外侧和外壳的内壁固定连接。

优选的，所述电机组件包括步进电机和固定块，吊杆的外部和固定块的内壁固定连接，喷嘴包括喷头和运输管，吊杆的左侧和运输管的右侧固定连接。

优选的，所述喷嘴、控水阀、控制器、液压装置、增压器、蓄能器、水泵、过滤器和供水器跟运输管形成水路。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置，具备以下有益效果：

1、该多晶硅片低损伤层微倒角的装置，通过过滤器过滤供水器内部水的杂质，水泵将供水器内部的水抽向蓄能器，增压器给液压装置提供气压，打开控水阀将控制器内的水从喷嘴喷出，达到水力切割的目的，水力切割快速对硅片的损耗低，从而方便使用者使用。

2、该多晶硅片低损伤层微倒角的装置，通过步进电机组件、滑道组件、吊杆和滑杆来控制喷嘴的纵向移动，支撑座、滑道和固定架来控制喷嘴的横向移动，隔板上的通孔将喷嘴喷出的水送往底座内部的集水槽，再通过集水槽底部的出水管排出，达到方便切割硅片的作用，从而方便使用者使用。

附图说明

图1为本实用新型结构正视图；

图2为本实用新型结构水路运行图。

图中：1底座、2隔板、3集水槽、4出水管、5固定架、6滑道、7支撑座、8滑道组件、9步进电机组件、10滑杆、11吊杆、12喷嘴、13控水阀、14控制器、15液压装置、16增压器、17蓄能器、18水泵、19过滤器、20供水器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种多晶硅片低损伤层微倒角的装置，包括底座1，底座1的内部为中空，底座1和固定架5为一个整体，底座1右侧的底端开设有通孔，底座1的内部固定连接有隔板2，隔板2的顶部开设有等距离的圆形通孔，隔板2的外部和底座1的内壁固定连接，隔板2的底部固定连接有集水槽3，集水槽3为漏斗形，集水槽3的底部固定连接有出水管4，底座1的背面固定连接有固定架5，固定架5的内部固定连接有滑道6，滑道6包括滑轨、滑块和限位块，两个滑道6的外部和固定架5的内壁固定连接，滑块和滑轨套接，滑块的内侧和支撑座7底部的外侧固定连接，固定架5的顶部固定连接有支撑座7，支撑座7包括上座、下座和处理器，下座的正面和背面均贯穿固定架5的顶部并延伸至滑道6的内侧，滑道组件8包括外壳和滑轨，滑轨的外侧和外壳的内壁固定连接，支撑座7的顶部固定连接有滑道组件8，滑道组件8的顶部固定连接有步进电机组件9，电机组件9包括步进电机和固定块，步进电机组件9的背面固定连接有滑杆10，滑道组件8的内部固定连接有吊杆11，吊杆11的外部和固定块的内壁固定连接，吊杆11的底部固定连接有喷嘴12，喷嘴12包括喷头和运输管，吊杆11的左侧和运输管的右侧固定连接，喷嘴12的顶部固定连接有控水阀13，控水阀13的左侧设置有控制器14，控制器14的底部放置有液压装置15，液压装置15的底部设置有增压器16，控制器14的左侧设置有蓄能器17，蓄能器17的左侧设置有水泵18，水泵18的左侧设置有过滤器19，过滤器19的顶部固定连接有供水器20，喷嘴12、控水阀13、控制器14、液压装置15、增压器16、蓄能器17、水泵18、过滤器19和供水器20跟运输管形成水路。

在使用时，该多晶硅片低损伤层微倒角的装置，通过过滤器19过滤供水器20内部水的杂质，水泵18将供水器20内部的水抽向蓄能器17，增压器16给液压装置15提供气压，打开控水阀13将控制器14内的水从喷嘴12喷出，达到水力切割的目的，水力切割快速对硅片的损耗低，通过步进电机组件9、滑道组件8、吊杆11和滑杆10来控制喷嘴12的纵向移动，支撑座7、滑道6和固定架5来控制喷嘴12的横向移动，隔板2上的通孔将喷嘴12喷出的水送往底座1内部的集水槽3，再通过集水槽3底部的出水管4排出，达到方便切割硅片的作用，从而方便使用者使用。

综上所述，该多晶硅片低损伤层微倒角的装置，通过过滤器19过滤供水器20内部水的杂质，水泵18将供水器20内部的水抽向蓄能器17，增压器16给液压装置15提供气压，打开控水阀13将控制器14内的水从喷嘴12喷出，达到水力切割的目的，水力切割快速对硅片的损耗低，通过步进电机组件9、滑道组件8、吊杆11和滑杆10来控制喷嘴12的纵向移动，支撑座7、滑道6和固定架5来控制喷嘴12的横向移动，隔板2上的通孔将喷嘴12喷出的水送往底座1内部的集水槽3，再通过集水槽3底部的出水管4排出，达到方便切割硅片的作用，从而方便使用者使用，解决了在处理多晶硅片的时候硅片边缘会出现裂纹，经过切割后的硅片边缘表面有毛刺，比较粗糙，增加了颗粒污染，现有的设备在处理硅片的倒角的时候容易破坏硅片的结构，或多或少的会出现破损的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。