一种硅片切割机用切削液冷却装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及硅片切割机配件，尤其涉及一种硅片切割机用切削液冷却装置。
【背景技术】
[0002]硅片的生产之前采用的是钢线载砂浆切割，而如今直接用一种特制的金钢线带水切割，此技术不仅大大缩短了生产加工时间，并且使产品的整体质量上了一个台阶，生产成本同时大幅度下降。而金刚线切割技术对于水质的要求较高，例如，需要水具有一定低的温度，以使切割工作可以正常进行。
[0003]现有技术中用于硅片切割机的切削液冷却系统结构不合理，造成切削液的温度波动范围大、冷却系统的冷却效率低。
【发明内容】
[0004]本发明提供的一种硅片切割机用切削液冷却装置，旨在克服现有技术中硅片切割机用切削液冷却装置的冷却效率低、切削液温度波动大的不足。
[0005]为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案:一种硅片切割机用切削液冷却装置，包括进水管道、出水管道、冷水机、冷水塔和储水桶，所述冷水机串接至进水管道与冷水塔之间，所述储水桶串接至冷水塔与出水管道之间，所述进水管道与冷水机之间串接有分流阀，所述分流阀与冷水塔之间设置有至少两个冷水机，至少两个冷水机并联于分流阀与冷水塔之间，所述冷水塔与储水桶之间设置有水温检测器，所述水温检测器与储水桶之间设有换向阀，所述换向阀上固定有控制换向阀动作的控制器，所述控制器与水温检测器通讯，所述换向阀分别与储水桶、进水管道相通，水温符合要求时水流经换向阀进入储水桶，水温不符合要求时水流经换向阀进入进水管道。
[0006]上述构成中，进水管道上串接有分流阀，并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机，具体工作过程中，由至少两个冷水机对分流阀分流后的水进行冷却，大大提高了冷却装置的冷却效率；
[0007]另外，冷水塔与储水桶之间设有水温检测器，水温检测器与储水桶之间串接有换向阀，由水温检测器检测冷水塔内排出的水，水温符合要求时，直接将水排至储水桶，水温不符合要求时，将水排至进水管道并依次经过各冷却设备进行再次冷却，最后重新检测，确保进入储水桶内的水温度符合要求，减小了水温的波动幅度。
[0008]—种可选的方案，所述储水桶上设有进水口，所述进水口与换向阀相通，所述进水口内设有第一单向阀，所述储水桶内设有与进水口相通的混合水管，所述混合水管上开设有若干个排水孔，所述混合水管盘绕在储水桶内。在混合水管上开设若干个排水孔，位于混合水管内的水由若干个排水孔排出，使得由排水孔内排出的水与储水桶内原有的水混合均匀，从而使得经出水管道排出的水的温度具有较小的波动幅度。
[0009]一种可选的方案，所述储水桶内设有温度检测器，所述储水桶内还设有制冷装置，所述制冷装置上固定有控制制冷装置工作的控制装置，所述控制装置与温度检测器通讯，所述混合水管盘绕在制冷装置上。储水桶用于储存水温合格的水，但是由于环境温度的影响，长期存储于储水桶内的水水温可能会产生变化，制冷装置可以对储水桶内的水进行强制降温，从而确保经出水管道排出的水的温度具有较小的波动范围。
[0010]所述换向阀通过回流管与进水管道相通，所述回流管内设有第二单向阀。在回流管内设置第二单向阀可以避免进水管道内的水进入回流管，减小了水在管道中的损失。
[0011]所述储水桶上包裹有至少一层隔热层，所述出水管道上包裹有至少一层隔热层。通过在储水桶和出水管道上包裹至少一层隔热层，减小了环境温度对位于储水桶、出水管道内水的影响。
[0012]与现有技术相比，本发明提供的一种硅片切割机用切削液冷却装置，具有如下优点:通过在进水管道上设置分流阀，并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机，工作过程中位于进水管道内的水先经分流阀分出若干支流，然后再由冷水机对每个支流的水进行单独冷却，大大提高了冷水机的冷却效率；
[0013]另外，冷水塔与储水桶之间设有水温检测器，水温检测器与储水桶之间串接有换向阀，水温检测器对冷水塔内排出的水进行测温，温度符合要求时排至储水桶，温度不符合要求时排至进水管道重新冷却，大大提高了储水桶内水温的稳定性；
[0014]储水桶内设置温度检测器和制冷装置，进一步确保储水桶内水温的稳定性能；而通过在储水桶、出水管道上均包裹隔热层，减小了环境温度对水温的影响，进一步提高了水温的稳定性。
【附图说明】
[0015]附图1是本发明一种硅片切割机用切削液冷却装置的示意图。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图，对本发明的一种硅片切割机用切削液冷却装置作进一步说明。如图1所示，一种硅片切割机用切削液冷却装置，包括进水管道1，该进水管道1将若干台参与切割的切割机废液汇聚在一起，以便统一冷却；出水管道2，该出水管道2将储水桶5内的水供给至若干台参与切割的切割机；冷水机3，用于对水进行第一次冷却；冷水塔4，用于对水进行第二次冷却；储水桶5，用于储存冷却后的水；
[0017]参见图1，所述冷水机3串接至进水管道1与冷水塔4之间，所述储水桶5串接至冷水塔4与出水管道2之间，所述进水管道1与冷水机3之间串接有分流阀6，所述分流阀6与冷水塔4之间设置有至少两个冷水机3，至少两个冷水机3并联于分流阀6与冷水塔4之间，进入进水管道1内的水首先被分流阀6分出若干支流，然后由至少两个冷水机3分别对若干支流上的水进行冷却，为了提高冷水机3的冷却效率，每条支流应由单独的冷水机3进行冷却；水流经冷水机3第一次冷却后再集中至冷水塔4中进行第二次冷却，然后由冷水塔4内排出；
[0018]参见图1，在实际使用过程中，由冷水塔4排出的水的温度不一定都是符合要求的，如某台冷水机3损坏，造成冷水机3无法冷却等因素，所以应检测冷水塔4内排出的水的水温，以提高储水桶5内水温的稳定性，如:所述冷水塔4与储水桶5之间设置有水温检测器7，所述水温检测器7与储水桶5之间设有换向阀8，所述换向阀8上固定有控制换向阀8动作的控制器9，所述控制器9与水温检测器7通讯，控制器9与水温检测器7可以通过有线或无线的方式通讯，所述换向阀8分别与储水桶5、进水管道1相通，水温符合要求时水流经换向阀8进入储水桶5，水温不符合要求时水流经换向阀8进入进水管道1