一种硅片切割机用切削液冷却装置的制造方法_2

文档序号:9481597阅读:来源:国知局
,所述换向阀8通过回流管17与进水管道1相通,所述回流管17内设有第二单向阀18,该第二单向阀18应安装在回水管与进水管道1相接的位置上,以避免进水管道1内的水进入回水管;该换向阀8可以采用电磁阀,以便于控制;
[0019]参见图1,温度符合要求的水进入储水桶5,并由储水桶5存储,以供切割机使用。储水桶5与出水管道2相通,温度符合要求的水由出水管道2引至切割现场,分别供给至若干切割机。
[0020]上述技术方案中的储水桶5内存储有大量的水,也就是说一个储水桶5可以同时满足一台以上的切割机取水,因此,该储水桶5应具有较大的体积,储水桶5的体积越大则环境温度对储水桶5内的水温影响就越大,为了减小环境因素对水储水桶5内水温的影响,参见图1,所述储水桶5上包裹有至少一层隔热层19 ;当然,为了减小环境因素对出水管道2内水温的影响,所述出水管道2上包裹有至少一层隔热层19。
[0021]在实际使用过程中,刚进入储水桶5内的水的水温可能与储水桶5内存储的水的水温具有不同的温度,为了减小出水管内水温的波动,应使刚进入储水桶5内的水与储水桶5内原有的水进行混合,参见图1,所述储水桶5上设有进水口 10,所述进水口 10与换向阀8相通,所述进水口 10内设有第一单向阀11,所述储水桶5内设有与进水口 10相通的混合水管12,所述混合水管12上开设有若干个排水孔13,所述混合水管12盘绕在储水桶5内。
[0022]上述技术方案通过隔热层19减小环境因素对储水桶5内水温的影响,在具体使用过程中,如储水桶5内的水长时间没有使用时,可能需要对储水桶5内的水进行强制冷却,此时可采用如下技术方案:参见图1,所述储水桶5内设有温度检测器14,所述储水桶5内还设有制冷装置15,所述制冷装置15上固定有控制制冷装置15工作的控制装置16,所述控制装置16与温度检测器14通讯,控制装置16与温度检测器14可以通过有线或无线的方式通讯,所述混合水管12盘绕在制冷装置15上。为了使制冷装置15具有更好的冷却效果,所述混合水管12应采用导热材料制成,以使混合水管12内的水温进一步降低,然后位于混合水管12内的水由排液孔排出,并与储水桶5内原有的水混合均匀,大大提高了制冷装置15的冷却效率。
[0023]上述技术方案中各单元的连接方式可以选用管道进行连接:进水管道1与分流阀6连接,分流阀6通过管道与冷水机3连接,冷水机3通过管道与冷水塔4连接,冷水塔4通过管道与换向阀8连接,换向阀8的一条水路通过回水管与进水管道1连接,换向阀8的另一条水路通过管道与储水桶5连接,最后,储水桶5与出水管道2连接,为了减小环境因素对水温的影响,上述连接各单元的管道上均可以包裹隔热层19,以减小环境因素对水温的影响。
[0024]以上仅为本发明的优选实施方式,旨在体现本发明的突出技术效果和优势,并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是,一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征,皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。
【主权项】
1.一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:包括进水管道(I)、出水管道(2)、冷水机(3)、冷水塔(4)和储水桶(5),所述冷水机(3)串接至进水管道(I)与冷水塔(4)之间,所述储水桶(5)串接至冷水塔(4)与出水管道(2)之间,所述进水管道(I)与冷水机(3)之间串接有分流阀¢),所述分流阀(6)与冷水塔(4)之间设置有至少两个冷水机(3),至少两个冷水机(3)并联于分流阀(6)与冷水塔(4)之间,所述冷水塔(4)与储水桶(5)之间设置有水温检测器(7),所述水温检测器(7)与储水桶(5)之间设有换向阀(8),所述换向阀⑶上固定有控制换向阀⑶动作的控制器(9),所述控制器(9)与水温检测器(7)通讯,所述换向阀(8)分别与储水桶(5)、进水管道(I)相通,水温符合要求时水流经换向阀(8)进入储水桶(5),水温不符合要求时水流经换向阀(8)进入进水管道(I)。2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:所述储水桶(5)上设有进水口(10),所述进水口(10)与换向阀⑶相通,所述进水口(10)内设有第一单向阀(11),所述储水桶(5)内设有与进水口(10)相通的混合水管(12),所述混合水管(12)上开设有若干个排水孔(13),所述混合水管(12)盘绕在储水桶(5)内。3.根据权利要求2所述的一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:所述储水桶(5)内设有温度检测器(14),所述储水桶(5)内还设有制冷装置(15),所述制冷装置(15)上固定有控制制冷装置(15)工作的控制装置(16),所述控制装置(16)与温度检测器(14)通讯,所述混合水管(12)盘绕在制冷装置(15)上。4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:所述换向阀⑶通过回流管(17)与进水管道⑴相通,所述回流管(17)内设有第二单向阀(18)。5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种硅片切割机用切削液冷却装置,其特征在于:所述储水桶(5)上包裹有至少一层隔热层(19),所述出水管道(2)上包裹有至少一层隔热层(19) ο
【专利摘要】本发明涉及一种硅片切割机用切削液冷却装置,解决了现有技术中硅片切割装置用切削液冷却系统冷却效率低的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液冷却装置,通过在进水管道上设置分流阀,并且分流阀与冷水塔之间并联有至少两个冷水机,工作过程中位于进水管道内的水先经分流阀分出若干支流,然后再由冷水机对每个支流的水进行单独冷却,大大提高了冷水机的冷却效率;另外,冷水塔与储水桶之间设有水温检测器,水温检测器与储水桶之间串接有换向阀,水温检测器对冷水塔内排出的水进行测温,温度符合要求时排至储水桶,温度不符合要求时排至进水管道重新冷却,大大提高了储水桶内水温的稳定性。
【IPC分类】B28D5/04, B28D7/00
【公开号】CN105235082
【申请号】CN201510639725
【发明人】陈小力, 戴忠杰
【申请人】浙江辉弘光电能源有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年9月30日
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1