1.一种指状悬臂式压电喷头,其特征在于,包括至少一个墨水槽,所述墨水槽上覆盖有柔性隔膜,形成墨水腔,所述墨水腔的一端设置有进墨口,另一端设置有喷嘴,所述柔性隔膜上设置有指状悬臂式压电陶瓷,所述指状悬臂式压电陶瓷包括连接基板和从所述连接基板侧面伸出的多个采用d31面内横向弯曲变形模式的压电陶瓷悬臂梁,所述压电陶瓷悬臂梁位于所述墨水腔的上方并与所述墨水腔一一对应,所述压电陶瓷悬臂梁连接有驱动电路。
2.根据权利要求1所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述墨水槽为两端开口的槽体,其中:
所述墨水槽的一端作为进墨口;
所述墨水槽的另一端的端面上设置有密封部件,所述墨水槽的另一端的底部开有出墨口,所述喷嘴设置在喷嘴板上,所述喷嘴板粘在所述出墨口上。
3.根据权利要求1所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述墨水槽为两端开口的槽体,其中:
所述墨水槽的一端作为进墨口;
所述喷嘴设置在喷嘴板上,所述喷嘴板粘在所述墨水槽的另一端的端面上。
4.根据权利要求1所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述墨水槽为一端封闭,一端开口的槽体,其中:
所述墨水槽开口的一端作为进墨口;
所述墨水槽封闭的一端的端面或底面上开有小孔,作为喷嘴。
5.根据权利要求1-4任一所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述墨水槽通过在墨水槽板上切槽加工制得,所述指状悬臂式压电陶瓷通过在压电陶瓷板上切槽加工制得。
6.根据权利要求5所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述 压电陶瓷悬臂梁为压电双晶片结构,包括内电极,所述内电极的两个表面均设置有压电陶瓷片,每个压电陶瓷片的外表面均设置有外电极。
7.根据权利要求6所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述压电陶瓷悬臂梁的两个压电陶瓷片的极化方向相同或相反。
8.根据权利要求7所述的指状悬臂式压电喷头,其特征在于,所述内电极的材质为银钯合金、铜或银,所述压电陶瓷片的材质为锆钛酸铅,所述外电极的材质铝、银、镍或金;所述墨水槽的材质为结构陶瓷或硅材料;所述喷嘴板的材质为结构陶瓷、镍铁合金、有机玻璃、工程塑料、特氟龙或半导体硅材料;所述柔性隔膜的材质为有机薄膜。
9.权利要求5所述的指状悬臂式压电喷头的加工方法,其特征在于,包括:
步骤1:在所述墨水槽板上进行精密切槽加工,形成所述墨水槽,其中所述墨水槽的一端开口,作为所述进墨口;
步骤2:将所述柔性隔膜覆盖并粘在所述墨水槽上,形成所述墨水腔;
步骤3:将所述压电陶瓷板覆盖并粘在所述柔性隔膜上;
步骤4:将所述压电陶瓷板远离所述进墨口的一端进行切割,形成所述指状悬臂式压电陶瓷;
步骤5:在所述墨水腔的另一端设置所述喷嘴。
10.一种喷涂设备,其特征在于,包括权利要求1-8中任一权利要求所述的指状悬臂式压电喷头。