技术总结
本发明公开了一种指状悬臂式压电喷头及其加工方法以及包括该喷头的喷涂设备，属于压电陶瓷领域，所述指状悬臂式压电喷头包括至少一个墨水槽，所述墨水槽上覆盖有柔性隔膜，形成墨水腔，所述墨水腔的一端设置有进墨口，另一端设置有喷嘴，所述柔性隔膜上设置有指状悬臂式压电陶瓷，所述指状悬臂式压电陶瓷包括连接基板和从所述连接基板侧面伸出的多个采用d31面内横向弯曲变形模式的压电陶瓷悬臂梁，所述压电陶瓷悬臂梁位于所述墨水腔的上方并与所述墨水腔一一对应，所述压电陶瓷悬臂梁连接有驱动电路。本发明结构简单，加工方便；输出力高，适用范围广；不易磨损，寿命长。
技术研发人员：褚祥诚;仲作金;高书宁
受保护的技术使用者：清华大学;北京派和科技股份有限公司;佛山市陶瓷研究所股份有限公司
文档号码：201510887729
技术研发日：2015.12.07
技术公布日：2017.06.13