技术总结
本披露涉及新颖的富勒烯衍生物，由其制备的正性和负性光致抗蚀剂组合物以及使用它们的方法。这些衍生物、它们的光致抗蚀剂组合物以及方法对于使用例如紫外线辐射、极端紫外线辐射、超越极端紫外线辐射、X射线、电子束以及其他带电粒子射线的高速、精细图案处理是理想的。
技术研发人员：亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;理查德·爱德华·帕尔默;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;杨东旭
受保护的技术使用者：亚历克斯·菲利普·格雷厄姆·罗宾逊;理查德·爱德华·帕尔默;安德烈亚斯·弗罗姆霍尔德;杨东旭
文档号码：201480040591
技术研发日：2014.05.21
技术公布日：2016.11.30