技术总结
公开了一种用于光刻机上的真空检测装置，其包括：真空导管，与光刻机的吸附装置连接；以及数字真空压力传感器，包括真空输入口与信号输出端，所述真空输入口与所述真空导管连接，所述信号输出端直接与所述光刻机的信号接收模块相连接。该真空检测装置采用数字真空压力传感器代替现有的模拟真空压力传感器，并将数字真空压力传感器的信号输出端直接与光刻机的信号接收模块相连接，省去了传统真空检测装置上设置的比较模块，结构更精简，并且对光刻机的吸附装置的真空检测的灵敏度更高，检测结果更准确。
技术研发人员：周文林;邓涛
受保护的技术使用者：杭州士兰集成电路有限公司
文档号码：201621492895
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.08.18