技术总结
本发明提供一种曝光设备，其在扫描原稿和基板的同时曝光基板，所述曝光设备包括：台，所述台包括第一表面，并且能够在保持所述原稿的同时移动，在所述第一表面中形成有待被供应净化气体的第一凹入部分和第二凹入部分；以及构件，所述构件包括面向所述第一表面的第二表面，其中，所述第一凹入部分设置于所述台的所述第一表面中，以便限定其中布置所述原稿的第一空间，并且至少一个第二凹入部分在所述台的所述第一表面中设置于所述第一凹入部分外部，以便限定具有比所述第一空间更小的容积的第二空间。本发明还涉及一种制造制品的方法。
技术研发人员：本间将人;河原泉
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2019.09.05
技术公布日：2020.03.17