一种曝光机的光源的制作方法

文档序号:20176949发布日期:2020-03-27 13:26阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种曝光机的光源,其特征在于:设有光路调整组件(2)、光路修正组件(3);

光源光路能穿过所述光路调整组件(2)和光路修正组件(3);

所述光路调整组件(2)的光路方向与所述光路修正组件(3)的中心轴同向;

所述光路修正组件(3)的透光部(30)侧壁设有若干环形槽(31);

所述环形槽(31)中心的连线平行于所述光路修正组件(3)的中心轴。

2.根据权利要求1所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述光路调整组件(2)位于光源(1)与所述光路修正组件(3)之间;

所述光源(1)的光线能穿过所述光路调整组件(2)和光路修正组件(3)。

3.根据权利要求2所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述光路调整组件(2)的出光光路方向平行于所述透光部(30)的中心轴;

所述光路调整组件(2)包括的主光轴相互平行的一级透镜(21)和二级透镜(22)。

4.根据权利要求3所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述一级透镜(21)位于所述光源(1)与所述二级透镜(22)之间。

5.根据权利要求2所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述透光部(30)为开设在光路修正组件(3)的通孔;

所述光路修正组件(3)的多个所述透光部(30)呈矩阵形排列。

6.根据权利要求1所述的一种曝光机的光源,其特征在于:若干个所述环形槽(31)相互连通形成螺旋槽(300)。

7.根据权利要求6所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述螺旋槽(300)的中心轴平行于所述光路调整组件(2)的中心轴;所述光路调整组件(2)的主光轴和所述透光部(30)的中心轴平行。

8.根据权利要求4所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述二级透镜(22)为双面凸透镜;所述二级透镜(22)的第一凸透部(221)和第二凸透部(222)设置在二级透镜主体(220)两端;所述一级透镜(21)的一端面外凸形成第三凸透部(211)。

9.根据权利要求8所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述第二凸透部(222)位于所述第一凸透部(221)和所述第三凸透部(211)之间;所述光源(1)位于所述一级透镜(21)远离所述第三凸透部(211)的一端。

10.根据权利要求9所述的一种曝光机的光源,其特征在于:所述二级透镜(22)厚度为3-3.5cm,第一凸透部(221)厚度为0.8-1.2cm,第二凸透部(222)厚度为0.3-0.7cm;所述第三凸透部(211)厚度为2-2.3cm。

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