一种金属掩膜版框架固定支架的制作方法

本发明属于金属掩膜版技术领域，尤其是涉及一种金属掩膜版框架固定支架。

背景技术：

光罩又称掩膜版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等。

掩模版框架的在精加工的过程中，如果直接与工作面接触，难以保证掩模版这一精密、脆弱的器件不出现划伤，目前就所述问题常见的技术方案是简单找一块板子垫下，简单固定或者无固定，而采用简单的支架容易发生移位，不利于后续加工。

为此，我们提出一种金属掩膜版框架固定支架来解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的目的是针对上述问题，提供一种可具有更高的加工效率和质量的金属掩膜版框架固定支架。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种金属掩膜版框架固定支架，包括底座，所述底座的边缘设有向外延伸的裙边，所述底座的中心处设有方形的卡槽，所述卡槽的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔，所述回型腔内设有卡紧机构，所述卡紧机构贯穿卡槽的两侧内壁并延伸至其中，所述卡槽的底部设有悬浮机构，所述底座内还设有鼓风机构，所述鼓风机构设置于卡槽的中心处，所述鼓风机构与卡紧机构及悬浮机构均连通设置。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述卡紧机构包括固定填充于回型腔内的气囊，所述气囊的外壁上固定连接有外套管，所述外套管内活动连接有内套管，所述内套管与外套管之间填充有压缩空气，所述内套管上固定连接有橡胶软段，所述内套管贯穿卡槽的内壁并延伸至其中。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述橡胶软段上还固定连接有触头，所述触头的尖端转动连接有滚珠。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述悬浮机构包括设置于卡槽底部的沉槽，所述沉槽的顶部密封固定连接有橡胶垫板，所述橡胶垫板位于内套管的下方，所述橡胶垫板的底部开设有多个喷气孔。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述喷气孔的剖面呈漏斗状，所述喷气孔的广口位于细口的下方。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述鼓风机构包括设置于底座内的腔室，所述腔室内设有泵气组件，所述底座内设有通气孔，所述通气孔与回型腔和气囊及沉槽、腔室均连通设置。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述泵气组件包括镶嵌于腔室顶面上的套壳，所述套壳上端面呈碗状，碗状端面的壁上设有螺纹，所述套壳碗状端面的底部设有开口并固定连接有第一滤网，所述套壳的上端面上螺纹连接有第二滤网，所述套壳的底部贯穿设有气泵。

在上述的金属掩膜版框架固定支架中，所述第一滤网的孔径为1-1.5mm，所述第二滤网的孔径为4-5mm。

与现有的技术相比，本金属掩膜版框架固定支架的优点在于：

1、本发明通过设置的卡槽和卡槽及喷气孔、气泵、气囊的配合，以达到利用气泵的泵气作用用于通过喷气孔将金属掩膜版框架进行一定程度上的抬升，使其不直接接触卡槽底部的效果，同时利用气囊的的体积变化从而带动触头对金属掩膜版框架进行侧面的夹持，除了抵消底部的抬升力外，不对其表面造成压力，从而在进行作业时有效的降低对其板面的伤害，且还不易出现偏移等现象。

2、本发明通过设置的气泵和第一滤网、第二滤网的配合，以达到在气泵作业时，抽吸而来的气体将作业时产生的杂质抽吸带入至第一滤网的表面紧紧地吸附柱，同时通过第二滤网更加细致的孔洞防止更加微小的杂质透入，因此可更好的保持操作台面的光洁，会进一步的提高操作时作业的质量。

附图说明

图1是本发明提供的一种金属掩膜版框架固定支架的剖视图；

图2是图1的外部结构示意图；

图3是图1中泵气组件的分解示意图；

图4是图1中气囊的结构示意图；

图5是图1中卡紧机构的结构示意图。

图中，1底座、2卡槽、3回型腔、4卡紧机构、5悬浮机构、6鼓风机构、7气囊、8外套管、9内套管、10橡胶软段、11触头、12滚珠、13沉槽、14橡胶垫板、15喷气孔、16腔室、17泵气组件、18套壳、19第一滤网、20第二滤网、21气泵。

具体实施方式

以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本发明的范围。

实施例

如图1-5所示，一种金属掩膜版框架固定支架，包括底座1，底座1的边缘设有向外延伸的裙边，裙边用于与外部设备更好的固定，底座1的中心处设有方形的卡槽2，卡槽2的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔3使得底座1的中心产生一个孤岛露台。

回型腔3内设有卡紧机构4，卡紧机构4贯穿卡槽2的两侧内壁并延伸至其中，卡紧机构4包括固定填充于回型腔3内的气囊7，气囊7固定在回型腔3的内壁上，气囊7的外壁上固定连接有外套管8，外套管8内活动连接有内套管9，外套管8与内套管9相互卡接，内套管9与外套管8之间填充有压缩空气，内套管9在受到挤压后外套管8与压缩空气和提供一定的冗余，内套管9上固定连接有橡胶软段10，橡胶软段10可配合压缩空气共同为内套管9提供冗余，橡胶软段10上还固定连接有触头11，触头11为铝合金材质，触头11的尖端转动连接有滚珠12，在金属掩膜版框架发生位移时滚珠12可减少对其侧边的伤害，内套管9贯穿卡槽2的内壁并延伸至其中。

卡槽2的底部设有悬浮机构5，底座1内还设有鼓风机构6，鼓风机构6设置于卡槽2的中心处，鼓风机构6与卡紧机构4及悬浮机构5均连通设置，悬浮机构5包括设置于卡槽2底部的沉槽13，沉槽13的顶部密封固定连接有橡胶垫板14，橡胶垫板14内嵌有金属丝筋使其表面保持软底但不易弯曲形变，橡胶垫板14位于内套管9的下方，橡胶垫板14的底部开设有多个喷气孔15，喷气孔15的剖面呈漏斗状用于喷出更高压的气体，喷气孔15的广口位于细口的下方。

鼓风机构6包括设置于底座1内的腔室16，腔室16内设有泵气组件17，泵气组件17包括镶嵌于腔室16顶面上的套壳18，套壳18上端面呈碗状，碗状端面的壁上设有螺纹，套壳18碗状端面的底部设有开口并固定连接有第一滤网19，第一滤网19用于阻挡大直径颗粒，套壳18的上端面上螺纹连接有第二滤网20用于阻挡小直径的颗粒，第一滤网18的孔径为1-1.5mm，第二滤网19的孔径为4-5mm，套壳18的底部贯穿设有气泵21，底座1内设有通气孔，通气孔与回型腔3和气囊7及沉槽13、腔室16均连通设置，气泵21作业时，抽吸而来的气体将作业时产生的杂质抽吸带入至第一滤网19的表面紧紧地吸附柱，同时通过第二滤网20更加细致的孔洞防止更加微小的杂质透入。

本发明在使用时，操作人员先将金属掩膜版框架放置在卡槽2中，金属掩膜版框架在橡胶垫板14上，随后启动气泵21，气泵21通过第一滤网19、第二滤网20抽气进入至腔室16内，再随后进入至多个回型腔3中，气囊7逐渐鼓起将触头11逐渐对属掩膜版框架的侧壁进行夹持固定，随着夹持固定力的提升，喷气孔15喷出的气体逐渐将金属掩膜版框架悬浮，而在受力作用相互达到均衡时金属掩膜版框架达到稳定，此时即可对其进行加工，加工时的受力会使其轻微下沉，二者在运动的过程中其他部位则不会受到直接的挤压，气泵21作业时，抽吸而来的气体将作业时产生的杂质抽吸带入至第一滤网19的表面紧紧地吸附柱，同时通过第二滤网20更加细致的孔洞防止更加微小的杂质透入，当作业完毕后，气泵21缓慢的反向缓缓的抽吸，使得触头11收入至底座1内，方便将加工完毕的金属掩膜版框架取出。

尽管本文较多地使用了底座1、卡槽2、回型腔3、卡紧机构4、悬浮机构5、鼓风机构6、气囊7、外套管8、内套管9、橡胶软段10、触头11、滚珠12、沉槽13、橡胶垫板14、喷气孔15、腔室16、泵气组件17、套壳18、第一滤网19、第二滤网20、气泵21等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。