一种金属掩膜版框架固定支架的制作方法

文档序号:24892368发布日期:2021-04-30 13:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金属掩膜版框架固定支架,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的边缘设有向外延伸的裙边,所述底座(1)的中心处设有方形的卡槽(2),所述卡槽(2)的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔(3),所述回型腔(3)内设有卡紧机构(4),所述卡紧机构(4)贯穿卡槽(2)的两侧内壁并延伸至其中,所述卡槽(2)的底部设有悬浮机构(5),所述底座(1)内还设有鼓风机构(6),所述鼓风机构(6)设置于卡槽(2)的中心处,所述鼓风机构(6)与卡紧机构(4)及悬浮机构(5)均连通设置。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述卡紧机构(4)包括固定填充于回型腔(3)内的气囊(7),所述气囊(7)的外壁上固定连接有外套管(8),所述外套管(8)内活动连接有内套管(9),所述内套管(9)与外套管(8)之间填充有压缩空气,所述内套管(9)上固定连接有橡胶软段(10),所述内套管(9)贯穿卡槽(2)的内壁并延伸至其中。

3.根据权利要求2所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述橡胶软段(10)上还固定连接有触头(11),所述触头(11)的尖端转动连接有滚珠(12)。

4.根据权利要求2所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述悬浮机构(5)包括设置于卡槽(2)底部的沉槽(13),所述沉槽(13)的顶部密封固定连接有橡胶垫板(14),所述橡胶垫板(14)位于内套管(9)的下方,所述橡胶垫板(14)的底部开设有多个喷气孔(15)。

5.根据权利要求4所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述喷气孔(15)的剖面呈漏斗状,所述喷气孔(15)的广口位于细口的下方。

6.根据权利要求4所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述鼓风机构(6)包括设置于底座(1)内的腔室(16),所述腔室(16)内设有泵气组件(17),所述底座(1)内设有通气孔,所述通气孔与回型腔(3)和气囊(7)及沉槽(13)、腔室(16)均连通设置。

7.根据权利要求6所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述泵气组件(17)包括镶嵌于腔室(16)顶面上的套壳(18),所述套壳(18)上端面呈碗状,碗状端面的壁上设有螺纹,所述套壳(18)碗状端面的底部设有开口并固定连接有第一滤网(19),所述套壳(18)的上端面上螺纹连接有第二滤网(20),所述套壳(18)的底部贯穿设有气泵(21)。

8.根据权利要求7所述的金属掩膜版框架固定支架,其特征在于,所述第一滤网(18)的孔径为1-1.5mm,所述第二滤网(19)的孔径为4-5mm。


技术总结
本发明属于金属掩膜版技术领域,尤其是涉及一种金属掩膜版框架固定支架,包括底座,底座的边缘设有向外延伸的裙边,底座的中心处设有方形的卡槽,卡槽的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔,回型腔内设有卡紧机构,卡紧机构贯穿卡槽的两侧内壁并延伸至其中,卡槽的底部设有悬浮机构,底座内还设有鼓风机构,鼓风机构设置于卡槽的中心处,鼓风机构与卡紧机构及悬浮机构均连通设置。优点在于:本发明可较为方便快捷的对金属掩膜版框架进行固定作用,增加其在后续的加工时的稳定性,同时防止外物的干扰,对加工的杂物可进行一定程度上的控制,具有更高的加工效率和质量。

技术研发人员:钱超;杨波
受保护的技术使用者:江苏高光半导体材料有限公司
技术研发日:2020.12.23
技术公布日:2021.04.30
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