一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺的制作方法

1.本技术涉及光刻机的技术领域，尤其是涉及一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺。


背景技术：

2.光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。
3.目前，一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，包括主体，主体上开设有放置槽，放置槽内放置有螺纹管，螺纹管抵触放置槽底壁，螺纹管的端面与主体的端面位于同一平面内。
4.在实现本技术过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题：操作人员在开设放置槽的时候，放置槽的深度容易出现偏差，即放置槽的深度大于螺纹管的长度，因此在螺纹管抵触放置槽侧壁的时候，螺纹管的端面不会与主体端面位于同一平面内，从而影响产品质量。


技术实现要素：

5.为了提高产品质量，本技术提供一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺。
6.第一方面，本技术提供的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，采用如下的技术方案：一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，包括主体和螺纹管，所述主体上开设有放置槽，所述螺纹管位于所述放置槽内；还包括顶塞机构，所述顶塞机构包括顶塞块，所述顶塞块设置在所述放置槽内，所述螺纹管抵触所述顶塞块。
7.通过采用上述技术方案，根据放置槽的深度选择合适的顶塞块，然后使顶塞块放置在放置槽内并抵触放置槽的底壁；然后将螺纹管安装在放置槽内，并使螺纹管抵触位于放置槽内的顶塞块，使螺纹管远离顶塞块的端面与主体的端面位于同一平面内，从而提高产品质量。
8.可选的，所述顶塞块上设置有与所述螺纹管连接的连接组件，所述连接组件包括螺纹柱和连接螺栓，所述螺纹柱设置在所述顶塞块上且与所述螺纹管螺纹连接；所述连接螺栓穿过所述螺纹管与所述螺纹柱螺纹连接。
9.通过采用上述技术方案，先顶塞块上的螺纹柱与螺纹管螺纹连接，并使顶塞块抵触螺纹管；最后使连接螺栓穿过螺纹管与螺纹柱螺纹连接；设置的连接组件能够提高顶塞块与螺纹管连接时的连接强度，使顶塞块与螺纹管更够更好的位于放置槽内。
10.第二方面，本技术提供一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，采用如下的技术方案：一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，包括s1：先在主体上开设放置槽；s2：将导向装置连接在主体上；s3：用测量装置测量放置槽的深度；s4：根据放置槽的深度选择合适的顶塞块连接在螺纹管上，然后使连接有顶塞块的螺纹管通过导向装置放置在放置
槽内。
11.通过采用上述技术方案，操作人员先在主体上开设放置槽，然后操作人员将导向装置连接在主体上，接着操作人员利用测量装置测量放置槽的深度；操作人员根据放置槽的深度选择合适的顶塞块，然后将顶塞块连接在螺纹管上，最后操作人员将带有顶塞块的螺纹管安装在放置槽内。
12.可选的，所述测量装置包括第一固定杆、第二固定杆、测量杆和第一固定组件，所述第一固定杆设置在所述第二固定杆上，所述第一固定杆呈圆台状，所述第二固定杆呈圆柱状，所述第二固定杆的横截面积与所述放置槽横截面积相同；所述第一固定杆上开设有第一通孔，所述第二固定杆上开设有与所述第一通孔连通的第二通孔，所述测量杆的一端依次穿过所述第一通孔和第二通孔；所述第一固定组件设置在所述第二固定杆上且与所述测量杆连接。
13.通过采用上述技术方案，先将第一固定杆伸入到放置槽内，然后使第二固定杆靠近第一固定杆的一端也伸到放置槽内，然后再移动测量杆，当测量杆抵触放置槽底壁的时候，可以在测量杆和第二固定杆上做上标记；接着再用第一固定组件将测量杆固定在第二固定杆上，然后操作人员可以根据标记计算出放置槽内的深度。
14.可选的，所述第二固定杆上设置有自动调节组件，所述自动调节组件包括调节板和第一弹簧，所述第二固定杆上开设有与所述第二通孔连通的第一凹槽，所述调节板设置在所述测量杆上且位于所述第一凹槽内；所述第一弹簧套设在所述测量杆上，所述第一弹簧的一端连接在所述调节板上且另外一端连接在所述第一凹槽侧壁上。
15.通过采用上述技术方案，当测量杆抵触放置槽的时候，再继续移动第二固定杆，测量杆会继续在第二通孔内滑移，这时第二固定杆上的调节板会在第一凹槽内滑移，第一弹簧内发生形变；当测量杆没有抵触放置槽内侧壁的时候，第二弹簧处于正常状态，测量杆不会在第二通孔内滑移；因此设置的自动调节装置能够反应测量杆是否触碰放置槽底壁。
16.可选的，所述第一固定组件包括第一固定块和第二固定块，所述第一固定块设置在所述第二固定杆上，所述第一固定块上开设有供所述测量杆穿过的第三通孔，所述第一固定块上开设有与所述第三通孔连通的形变孔；所述第一固定块上设置有外螺纹；所述第二固定块上开设有与所述外螺纹螺纹连接的螺纹孔，所述第二固定块上开设有与所述螺纹孔连通的第四通孔，所述测量杆穿过所述第四通孔。
17.通过采用上述技术方案，当测量杆位置固定后，转动第二固定块，第二固定块，因为第二固定块上的螺纹孔与第一固定块上的外螺纹螺纹连接，所以在转动第二固定块的时候，第二固定块会对第一固定块挤压，第一固定块上的形变孔会发生变化，第一固定块会抵紧测量杆；设置的第一固定组件能够提高检测杆在第二固定杆上的稳定性，从而提高检测的精准性。
18.可选的，所述第二固定杆上开设有第五通孔，所述第二固定杆上设置有在所述第五通孔内滑移的第三固定杆；所述第二固定杆上开设有与所述第五通孔连通的平槽；所述第三固定杆上设置有第二固定组件，所述第二固定组件包括定位块和第二弹簧，所述第三固定杆上开设有第二凹槽，所述定位块滑移设置在所述第二凹槽内，且所述定位块能够抵触所述平槽的底壁；所述第二弹簧的一端连接在所述第二凹槽底壁上且另外一端连接在所述定位块上。
19.通过采用上述技术方案，先对定位块进行按压，使定位块位于第二凹槽内，第二弹簧会发生形变；然后使第三固定杆带动定位块穿过第二固定杆上的第五通孔，当定位块穿过第五通孔的时候，第二弹簧恢复弹性形变，定位块会在第二凹槽内弹出并抵触平槽的侧壁，第三固定杆就会连接在第二固定杆上；当第三固定杆抵触主体的时候，测量杆会在第一通孔和第二通孔内滑移，测量杆远离第二固定杆的一端到第三固定杆的距离就是放置槽的深度。
20.可选的，所述导向装置包括连接块、吸盘、导向块和连接机构，所述连接块上开设有第六通孔，所述第六通孔的横截面积大于所述放置槽的横截面积；所述吸盘设置在所述连接块上且吸附在所述主体上；所述导向块设置在所述连接块上，所述导向块上开设有导向孔，所述导向块上开设有与所述导向孔连通且供所述第三固定杆穿过的第七通孔，所述导向孔和所述第七通孔均与所述第六通孔连通；所述第二固定杆能够抵触所述导向孔的侧壁；所述连接机构设置在所述导向块上且与所述连接块连接。
21.通过采用上述技术方案，先使连接块上的吸盘吸附主体，并且第六通孔与放置槽连通，然后将导向块放置在第二固定杆上，当第三固定杆抵触主体的时候，朝靠近主体的方向移动导向块，使导向块抵触主体，然后用连接机构将导向块连接主体上，这时导向块上的导向孔与放置槽同轴；接着朝远离主体的方向移动第二固定杆，使第三固定杆在第七通孔内朝远离主体的方向运动，使第一固定杆、第二固定杆和第三固定杆与主体分离；最后将带有顶塞块的螺纹管通过导向孔安装在放置槽内。
22.可选的，所述连接机构包括连接板和固定螺栓，所述连接板设置在所述导向块上，所述固定螺栓穿过所述连接板与所述连接块螺纹连接。
23.通过采用上述技术方案，当导向块抵触连接块的时候，连接板也会抵触连接板，然后将固定螺栓穿过连接板与连接块螺纹连接。
24.综上所述，本技术包括以下有益技术效果：1.设置的顶塞机构能够提高产品质量；2.设置的第一固定组件能够提高检测杆在第二固定杆上的稳定性，从而提高检测的精准性。
附图说明
25.图1为本技术实施例中龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的结构示意图；图2为本技术实施例中顶塞机构的结构示意图；图3为本技术实施例中测量装置的结构示意图；图4为本技术实施例中导向装置的结构示意图；图5为本技术实施例中连接机构的结构示意图；图6为本技术实施例中自动调节组件的结构示意图；图7为图6中a的放大图；图8为本技术实施例中第一固定组件的结构示意图。
26.附图标记：11、主体；12、螺纹管；13、连接架；2、顶塞机构；21、顶塞块；22、连接组件；221、螺纹柱；222、连接螺栓；3、测量装置；31、第一固定杆；32、第二固定杆；321、第一凹槽；322、第五通孔；323、平槽；33、测量杆；34、第一固定组件；341、第一固定块；3411、形变
孔；342、第二固定块；3421、螺纹孔；35、第三固定杆；351、第二凹槽；36、第二固定组件；361、定位块；362、第二弹簧；4、自动调节组件；41、调节板；42、第一弹簧；5、导向装置；51、连接块；52、吸盘；53、导向块；531、导向孔；532、第七通孔；54、连接机构；541、连接板；542、固定螺栓。
具体实施方式
27.以下结合附图1-8对本技术作进一步详细说明。
28.本技术实施例公开一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体。
29.参考图1，一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体包括主体11，主体11上滑移连接有连接架13，光刻机设置在连接架13上；主体11上开设有放置槽，放置槽内放置有螺纹管12。
30.参考图1和图2，螺纹管12上设置有位于放置槽内的顶塞机构2，顶塞机构2包括呈圆柱状的顶塞块21，顶塞块21上设置有连接组件22，连接组件22包括固定连接在顶塞块21一端的螺纹柱221，螺纹柱221与螺纹管12螺纹连接；螺纹管12上设置有穿过螺纹管12与螺纹柱221螺纹连接的连接螺栓222。
31.本技术实施例一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的实施原理为：根据放置槽的深度，选择合适的顶塞块21，然后使顶塞块21上的螺纹柱221与螺纹管12螺纹连接，并使顶塞块21抵触螺纹管12，接着使连接螺栓222穿过螺纹管12与螺纹柱221螺纹连接；然后先使顶塞块21伸入到放置槽内，最后使螺纹管12伸到放置槽内；当顶塞块21抵触放置槽底壁的时候，螺纹管12远离顶塞块21一端的端面与主体11端面位于同一平面内。
32.本技术实施例还公开一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺。
33.参考图3和图4，一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺包括：s1：先在主体11上开设放置槽；s2：将导向装置5连接在主体11上；s3：用测量装置3测量放置槽的深度；s4：根据放置槽的深度选择合适的顶塞块21连接在螺纹管12上，然后使连接有顶塞块21的螺纹管12通过导向装置5放置在放置槽内。
34.参考图3和图4，导向装置5包括连接块51，连接块51上固定连接有吸附在主体11上的吸盘52；连接块51上开设有第六通孔，第六通孔的横截面积大于放置槽的横截面积。
35.当连接块51上的吸盘52吸附在主体11上的时候，连接块51上的第六通孔与主体11上的放置槽连通。
36.参考图4和图5，连接块51上设置有导向块53，导向块53上开设有供顶塞块21和螺纹管12穿过的导向孔531，导向孔531的横截面呈梯形，且导向孔531最小的横截面积与放置槽的横截面积相等；导向块53上开设有与导向孔531连通的第七通孔532，导向孔531和第七通孔532均与第六通孔连通。
37.导向块53设置有连接块51连接的连接机构54，连接机构54包括固定连接在连接块51上的连接板541，连接板541上设置有穿过连接板541与连接块51螺纹连接的固定螺栓542。
38.当导向孔531的轴线与放置槽的轴线重合的时候，使导向块53和连接板541抵触连接块51，然后使固定螺栓542穿过连接板541与连接块51螺纹连接。
39.参考图4和图6，测量装置3包括呈圆柱状的第二固定杆32，第二固定杆32的横截面积与放置槽的横截面积相等；第二固定杆32沿其长度方向上开设有第二通孔，第二固定杆32上开设有与第二通孔连通的第一凹槽321；第二固定杆32上开设有不与第二通孔连通的第五通孔322，第五通孔322的轴线与第二通孔的轴线垂直；第二固定杆32相对的两个侧壁上均开设有与第五通孔322连通的平槽323。
40.参考图6和图7，第二固定杆32上设置有穿过第五通孔322且与第五通孔322滑移设置的第三固定杆35，第三固定杆35能够穿过第六通孔和第七通孔532；第三固定杆35上开设有第二凹槽351，第三固定杆35上设置有第二固定组件36，第二固定组件36包括滑移连接在第二凹槽351内的定位块361，定位块361能够抵触平槽323的底壁；第二凹槽351的底壁上连接有第二弹簧362，第二弹簧362远离第二凹槽351底壁的一端连接在定位块361上。
41.先对定位块361进行按压，使定位块361位于第二凹槽351内，第二弹簧362会发生形变；然后使第三固定杆35带动定位块361穿过第二固定杆32上的第五通孔322，当定位块361穿过第五通孔322的时候，第二弹簧362恢复弹性形变，定位块361会在第二凹槽351内弹出抵触平槽323的侧壁；第三固定杆35上的两个定位块361会抵触第三固定杆35相对两侧的平槽323，实现将第三固定杆35连接在第二固定杆32上。
42.参考图4和图6，第二固定杆32的一端固定连接有呈圆台状的第一固定杆31，第一固定杆31远离第二固定杆32的横截面积小于第一固定杆31靠近第二固定杆32一端的横截面积；第一固定杆31沿其轴线方向上开设有第一通孔，第一通孔与第二通孔连通。
43.第二固定杆32的第二通孔内滑移连接有测量杆33，测量杆33也能够在第一通孔内滑移；测量杆33的一端伸出第一固定杆31，且测量杆33的另外一端伸出第二固定杆32。
44.测量杆33上设置有自动调节组件4，自动调节组件4包括固定连接在测量杆33上的调节板41，调节板41滑移设置在第一凹槽321内；测量杆33上套设有第一弹簧42，第一弹簧42的一端连接在调节板41上且另外一端连接在第一凹槽321的侧壁上。
45.使第一固定杆31伸入到放置槽内，第二固定杆32靠近第一固定杆31的一端也伸入到放置槽内，并且测量杆33抵触放置槽的底壁；当第三固定杆35抵触主体11的时候，测量杆33会在第一通孔和第二通孔内滑移，测量杆33上的调节板41会带动第二弹簧362运动，使第二弹簧362发生弹性形变；在第二弹簧362形变力的作用下，当第三固定杆35抵触主体11的时候，测量杆33会保持抵触放置槽底壁的现象；测量杆33远离第二固定杆32的一端到第三固定杆35的长度为放置槽的深度。
46.参考图6和图8，第二固定杆32远离第一固定杆31的一端设置有第一固定组件34，第一固定组件34包括固定连接在第二固定杆32上的第一固定块341，第一固定块341上开设有供测量杆33穿过的第三通孔，第一固定块341的外侧壁上设置有外螺纹，第一固定块341上开设有与第三通孔连通的形变孔3411；第一固定块341上设置有第二固定块342，第二固定块342上开设有与外螺纹螺纹连接的螺纹孔3421，第二固定块342上开设有与螺纹孔3421连通且供测量杆33穿过的第四通孔。
47.当第三固定杆35抵触主体11的时候，朝靠近第一固定块341转动第二固定块342，因为第二固定块342上的螺纹孔3421与第一固定块341上的外螺纹螺纹连接，所以在转动第二固定块342的时候，第二固定块342会对第一固定块341挤压，第一固定块341上的形变孔3411会发生变化，第一固定块341就会抵紧测量杆33。
48.本技术实施例一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺的实施原理为：先在主体11上开设放置槽。
49.接着使连接块51上的吸盘52吸附在主体11上，第六通孔与放置槽连通。
50.然后将第一固定杆31穿过导向孔531，第二固定杆32靠近第一固定杆31的一端也穿过导向孔531；第三固定杆35穿过导向块53上的第七通孔532，使第三固定杆35和第一固定块341之间的第二固定杆32抵触导向孔531的侧壁；然后转动第二固定杆32，使第三固定杆35与第七通孔532错位。
51.然后将第一固定杆31伸入到放置槽内，第二固定杆32靠近第一固定杆31的一端也伸入到放置槽内；当第三固定杆35抵触主体11的时候，测量杆33会朝远离放置槽底壁的方向运动，然后操作人员转动第二固定块342，使第二固定块342的螺纹孔3421与第一固定块341上的外螺纹螺纹连接，第一固定块341抵紧运动后的测量杆33。
52.当第一固定块341抵紧测量杆33后，转动第二固定杆32或导向块53，使第三固定杆35能够对应第七通孔532；然后朝靠近主体11的方向运动导向块53，使导向块53和连接板541抵触连接块51；接着使固定螺栓542穿过连接板541与连接块51螺纹连接。
53.然后使第一固定杆31从放置槽内抽出，测量杆33远离第二固定杆32的一端到第三固定杆35之间的距离为放置槽的深度；接着根据放置槽的深度选择合适的顶塞块21，将选择好的顶塞块21连接在螺纹管12上。
54.使顶塞块21先穿过导向块53上的导向孔531进入到放置槽内，然后使螺纹管12也穿过导向块53上的导向孔531进入到放置槽内。
55.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。