技术特征：
1.一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，包括主体（11）和螺纹管（12），所述主体（11）上开设有放置槽，所述螺纹管（12）位于所述放置槽内；其特征在于，还包括顶塞机构（2），所述顶塞机构（2）包括顶塞块（21），所述顶塞块（21）设置在所述放置槽内，所述螺纹管（12）抵触所述顶塞块（21）。2.根据权利要求1所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体，其特征在于，所述顶塞块（21）上设置有与所述螺纹管（12）连接的连接组件（22），所述连接组件（22）包括螺纹柱（221）和连接螺栓（222），所述螺纹柱（221）设置在所述顶塞块（21）上且与所述螺纹管（12）螺纹连接；所述连接螺栓（222）穿过所述螺纹管（12）与所述螺纹柱（221）螺纹连接。3.一种如权利要求1所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，s1：先在主体（11）上开设放置槽；s2：将导向装置（5）连接在主体（11）上；s3：用测量装置（3）测量放置槽的深度；s4：根据放置槽的深度选择合适的顶塞块（21）连接在螺纹管（12）上，然后使连接有顶塞块（21）的螺纹管（12）通过导向装置（5）放置在放置槽内。4.根据权利要求3所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述测量装置（3）包括第一固定杆（31）、第二固定杆（32）、测量杆（33）和第一固定组件（34），所述第一固定杆（31）设置在所述第二固定杆（32）上，所述第一固定杆（31）呈圆台状，所述第二固定杆（32）呈圆柱状，所述第二固定杆（32）的横截面积与所述放置槽横截面积相同；所述第一固定杆（31）上开设有第一通孔，所述第二固定杆（32）上开设有与所述第一通孔连通的第二通孔，所述测量杆（33）的一端依次穿过所述第一通孔和第二通孔；所述第一固定组件（34）设置在所述第二固定杆（32）上且与所述测量杆（33）连接。5.根据权利要求4所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述第二固定杆（32）上设置有自动调节组件（4），所述自动调节组件（4）包括调节板（41）和第一弹簧（42），所述第二固定杆（32）上开设有与所述第二通孔连通的第一凹槽（321），所述调节板（41）设置在所述测量杆（33）上且位于所述第一凹槽（321）内；所述第一弹簧（42）套设在所述测量杆（33）上，所述第一弹簧（42）的一端连接在所述调节板（41）上且另外一端连接在所述第一凹槽（321）侧壁上。6.根据权利要求4所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述第一固定组件（34）包括第一固定块（341）和第二固定块（342），所述第一固定块（341）设置在所述第二固定杆（32）上，所述第一固定块（341）上开设有供所述测量杆（33）穿过的第三通孔，所述第一固定块（341）上开设有与所述第三通孔连通的形变孔（3411）；所述第一固定块（341）上设置有外螺纹；所述第二固定块（342）上开设有与所述外螺纹螺纹连接的螺纹孔（3421），所述第二固定块（342）上开设有与所述螺纹孔（3421）连通的第四通孔，所述测量杆（33）穿过所述第四通孔。7.根据权利要求4所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，
所述第二固定杆（32）上开设有第五通孔（322），所述第二固定杆（32）上设置有在所述第五通孔（322）内滑移的第三固定杆（35）；所述第二固定杆（32）上开设有与所述第五通孔（322）连通的平槽（323）；所述第三固定杆（35）上设置有第二固定组件（36），所述第二固定组件（36）包括定位块（361）和第二弹簧（362），所述第三固定杆（35）上开设有第二凹槽（351），所述定位块（361）滑移设置在所述第二凹槽（351）内，且所述定位块（361）能够抵触所述平槽（323）的底壁；所述第二弹簧（362）的一端连接在所述第二凹槽（351）底壁上且另外一端连接在所述定位块（361）上。8.根据权利要求7所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述导向装置（5）包括连接块（51）、吸盘（52）、导向块（53）和连接机构（54），所述连接块（51）上开设有第六通孔，所述第六通孔的横截面积大于所述放置槽的横截面积；所述吸盘（52）设置在所述连接块（51）上且吸附在所述主体（11）上；所述导向块（53）设置在所述连接块（51）上，所述导向块（53）上开设有导向孔（531），所述导向块（53）上开设有与所述导向孔（531）连通且供所述第三固定杆（35）穿过的第七通孔（532），所述导向孔（531）和所述第七通孔（532）均与所述第六通孔连通；所述第二固定杆（32）能够抵触所述导向孔（531）的侧壁；所述连接机构（54）设置在所述导向块（53）上且与所述连接块（51）连接。9.根据权利要求8所述的一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体的生产工艺，其特征在于，所述连接机构（54）包括连接板（541）和固定螺栓（542），所述连接板（541）设置在所述导向块（53）上，所述固定螺栓（542）穿过所述连接板（541）与所述连接块（51）螺纹连接。
技术总结
本申请涉及光刻机的技术领域，尤其是涉及一种龙门共面陶瓷气浮光刻机本体及其生产工艺，其包括主体和螺纹管，所述主体上开设有放置槽，所述螺纹管位于所述放置槽内；还包括顶塞机构，所述顶塞机构包括顶塞块，所述顶塞块设置在所述放置槽内，所述螺纹管抵触所述顶塞块。本申请具有提高产品质量的效果。本申请具有提高产品质量的效果。本申请具有提高产品质量的效果。
技术研发人员：李方武 肖安林 肖安涛 李文浩
受保护的技术使用者：济南鑫德石通精密机械有限公司
技术研发日：2021.12.29
技术公布日：2022/4/20