一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻机维护技术领域，具体为一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置。


背景技术：

2.光刻机，又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，能量控制器是指控制最终照射到硅片上的能量，曝光不足或过足都会严重影响成像质量，且内部电子元件非常精密和脆弱，需要经常进行维护，现有的光刻机能力控制通讯故障在维护时，大多没有设置专门的维护装置，无法引起员工的注意，容易导致人员误入发生碰撞机器的情况，不利于维护人员进行故障维护，进而影响维护进度，为此提出一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置解决上述问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，具备便于安装的优点，解决了现有的光刻机能力控制通讯故障在维护时，大多没有设置专门的维护装置，无法引起员工的注意，容易导致人员误入发生碰撞机器的情况，不利于维护人员进行故障维护，进而影响维护进度的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体的两侧均设置有稳定柱，所述稳定柱内腔的底部通过轴承活动连接有活动柱，所述稳定柱正面的下端固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有固定柱，所述固定柱的顶部开设有活动槽，所述固定柱顶部的四周均固定连接有夹持条，所述活动槽的内腔活动连接有支撑柱，所述夹持条与支撑柱的表面接触，所述固定柱表面的上端螺纹连接有螺纹套，所述支撑柱的顶部延伸至螺纹套的外部。
5.优选的，所述螺纹套的表面设置有防护网，且防护网的另一侧与稳定柱固定连接。
6.优选的，所述活动柱的顶部贯穿至稳定柱的外部并通过轴承与稳定柱活动连接，所述活动柱的顶部固定连接有转盘。
7.优选的，所述转盘的顶部固定连接有旋转把手，所述稳定柱远离光刻机本体的一侧设置有反光贴。
8.优选的，两个所述固定板顶部的前端分别固定连接有调节柱和辅助块，所述辅助块的正面设置有第一磁铁。
9.优选的，所述调节柱的顶部通过轴承活动连接有挡板，所述挡板背面的右侧设置有第二磁铁。
10.优选的，所述第一磁铁和第二磁铁相互配合，所述挡板的正面开设有放置槽。
11.优选的，所述放置槽的内腔设置有显示屏，所述显示屏的长度为四十厘米至四十
五厘米。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
13.1、本实用新型通过设置稳定柱，起到了保护和固定稳定柱内部元件的作用，避免了装置元件受外物碰撞发生损坏的情况，通过设置活动柱，用于固定防护网，同时使用活动柱对防护网进行收紧存放，进而提高了装置的实用性，通过设置固定板，起到了固定固定柱的作用，避免了固定柱在使用的过程中发生倾倒的情况，通过设置固定柱，起到了支撑的作用，通过设置活动槽，达到了放置支撑柱的效果，通过设置支撑柱，用于对防护网进行支撑固定，使防护网能够张开防护，避免了维护时人员误入发生碰撞机器的情况，通过设置夹持条和螺纹套，用于对支撑柱进行夹持固定，同时方便对支撑柱的安装和拆卸，进而提高了装置的实用性，解决了现有的光刻机能力控制通讯故障在维护时，大多没有设置专门的维护装置，无法引起员工的注意，容易导致人员误入发生碰撞机器的情况，不利于维护人员进行故障维护，进而影响维护进度的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型主视结构示意图；
15.图2为本实用新型稳定柱的主视剖面结构示意图；
16.图3为本实用新型固定柱、支撑柱和螺纹套的爆炸结构示意图；
17.图4为本实用新型图1中a处的局部结构放大图。
18.图中：1、光刻机本体；2、稳定柱；3、活动柱；4、固定板；5、固定柱；6、活动槽；7、夹持条；8、支撑柱；9、螺纹套；10、防护网；11、转盘；12、旋转把手；13、反光贴；14、调节柱；15、辅助块；16、第一磁铁；17、挡板；18、第二磁铁；19、放置槽；20、显示屏。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1-4，一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，包括光刻机本体1，光刻机本体1的两侧均设置有稳定柱2，稳定柱2内腔的底部通过轴承活动连接有活动柱3，稳定柱2正面的下端固定连接有固定板4，固定板4的顶部固定连接有固定柱5，固定柱5的顶部开设有活动槽6，固定柱5顶部的四周均固定连接有夹持条7，活动槽6的内腔活动连接有支撑柱8，夹持条7与支撑柱8的表面接触，固定柱5表面的上端螺纹连接有螺纹套9，支撑柱8的顶部延伸至螺纹套9的外部，通过设置稳定柱2，起到了保护和固定稳定柱2内部元件的作用，避免了装置元件受外物碰撞发生损坏的情况，通过设置活动柱3，用于固定防护网10，同时使用活动柱3对防护网10进行收紧存放，进而提高了装置的实用性，通过设置固定板4，起到了固定固定柱5的作用，避免了固定柱5在使用的过程中发生倾倒的情况，通过设置固定柱5，起到了支撑的作用，通过设置活动槽6，达到了放置支撑柱8的效果，通过设置支撑柱8，用于对防护网10进行支撑固定，使防护网10能够张开防护，避免了维护时人员误入发生碰撞机器的情况，通过设置夹持条7和螺纹套9，用于对支撑柱8进行夹持固定，同时
方便对支撑柱8的安装和拆卸，进而提高了装置的实用性，解决了现有的光刻机能力控制通讯故障在维护时，大多没有设置专门的维护装置，无法引起员工的注意，容易导致人员误入发生碰撞机器的情况，不利于维护人员进行故障维护，进而影响维护进度的问题。
21.具体的，螺纹套9的表面设置有防护网10，且防护网10的另一侧与稳定柱2固定连接，通过设置防护网10，起到了警示的作用，避免了人员误入维护现场影响维护进度的情况。
22.具体的，活动柱3的顶部贯穿至稳定柱2的外部并通过轴承与稳定柱2活动连接，活动柱3的顶部固定连接有转盘11。
23.具体的，转盘11的顶部固定连接有旋转把手12，稳定柱2远离光刻机本体1的一侧设置有反光贴13，通过设置转盘11和旋转把手12，用于转动活动柱3，以此在防护网10不使用时对其进行收紧放置，进而增加了装置的实用性，通过设置反光贴13，用于提示人员装置正在维护，进而提高了故障维护时的安全性。
24.具体的，两个固定板4顶部的前端分别固定连接有调节柱14和辅助块15，辅助块15的正面设置有第一磁铁16，通过设置调节柱14，达到了使挡板17转动的效果，方便维修人员进出维护现场，通过设置辅助块15，起到了固定第一磁铁16的位置，避免了第一磁铁16在使用的过程发生掉落的情况。
25.具体的，调节柱14的顶部通过轴承活动连接有挡板17，挡板17背面的右侧设置有第二磁铁18，通过第一磁铁16和第二磁铁18的配合，方便对挡板17进行打开与关闭，进而提高了该装置的实用性。
26.具体的，第一磁铁16和第二磁铁18相互配合，挡板17的正面开设有放置槽19，通过设置放置槽19，用于放置显示屏20，避免了显示屏20在使用的过程中受到外部的碰撞发生损坏的情况。
27.具体的，放置槽19的内腔设置有显示屏20，显示屏20的长度为四十厘米至四十五厘米，通过设置显示屏20，用于警示过路人员，进一步提高了光刻机能量控制通讯故障维护时的安全性。
28.使用时，首先将两个稳定柱2分别放置在光刻机本体1的两侧，然后将支撑柱8的底部从螺纹套9放入到活动槽6内，接着拧动螺纹套9使螺纹套9向下旋转，螺纹套9挤压夹持条7使夹持条7和支撑柱8贴合收紧，以此对支撑柱8的位置进行固定，然后向外拉动防护网10使防护网10远离稳定柱2，然后将防护网10套在支撑柱8的表面，以此对防护网10进行展开和固定，同时通过反光贴13和显示屏20的配合，对过路人员进行警示，当维修人员需要进出时，向外推动挡板17，挡板17在调节柱14的顶部转动，同时挡板17带动第二磁铁18移动并使第二磁铁18和第一磁铁16分离，维修人员返回现场后，向内推动挡板17，挡板17带动第二磁铁18向第一磁铁16移动，然后通过第一磁铁16和第二磁铁18的吸力对挡板17的位置进行固定，需要对防护网10进行拆卸时，首先将防护网10从支撑柱8的表面取下，然后转动旋转把手12，旋转把手12带动转盘11转动，转盘11带动活动柱3转动，活动柱3带动防护网10转动并收紧，解决了现有的光刻机能力控制通讯故障在维护时，大多没有设置专门的维护装置，无法引起员工的注意，容易导致人员误入发生碰撞机器的情况，不利于维护人员进行故障维护，进而影响维护进度的问题。
29.本技术文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，而且根据说明书和附图的
记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本技术文主要用来保护机械装置，所以本技术文不再详细解释控制方式和电路连接。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。