技术特征：
1.一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，包括光刻机本体(1)，其特征在于：所述光刻机本体(1)的两侧均设置有稳定柱(2)，所述稳定柱(2)内腔的底部通过轴承活动连接有活动柱(3)，所述稳定柱(2)正面的下端固定连接有固定板(4)，所述固定板(4)的顶部固定连接有固定柱(5)，所述固定柱(5)的顶部开设有活动槽(6)，所述固定柱(5)顶部的四周均固定连接有夹持条(7)，所述活动槽(6)的内腔活动连接有支撑柱(8)，所述夹持条(7)与支撑柱(8)的表面接触，所述固定柱(5)表面的上端螺纹连接有螺纹套(9)，所述支撑柱(8)的顶部延伸至螺纹套(9)的外部。2.根据权利要求1所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：所述螺纹套(9)的表面设置有防护网(10)，且防护网(10)的另一侧与稳定柱(2)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：所述活动柱(3)的顶部贯穿至稳定柱(2)的外部并通过轴承与稳定柱(2)活动连接，所述活动柱(3)的顶部固定连接有转盘(11)。4.根据权利要求3所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：所述转盘(11)的顶部固定连接有旋转把手(12)，所述稳定柱(2)远离光刻机本体(1)的一侧设置有反光贴(13)。5.根据权利要求2所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：两个所述固定板(4)顶部的前端分别固定连接有调节柱(14)和辅助块(15)，所述辅助块(15)的正面设置有第一磁铁(16)。6.根据权利要求5所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：所述调节柱(14)的顶部通过轴承活动连接有挡板(17)，所述挡板(17)背面的右侧设置有第二磁铁(18)。7.根据权利要求6所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：所述第一磁铁(16)和第二磁铁(18)相互配合，所述挡板(17)的正面开设有放置槽(19)。8.根据权利要求7所述的一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，其特征在于：所述放置槽(19)的内腔设置有显示屏(20)，所述显示屏(20)的长度为四十厘米至四十五厘米。
技术总结
本实用新型公开了一种光刻机能量控制通讯故障的维护用的防护装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体的两侧均设置有稳定柱，所述稳定柱内腔的底部通过轴承活动连接有活动柱，所述稳定柱正面的下端固定连接有固定板，所述固定板的顶部固定连接有固定柱，所述固定柱的顶部开设有活动槽，所述固定柱顶部的四周均固定连接有夹持条，所述活动槽的内腔活动连接有支撑柱。本实用新型通过设置稳定柱，起到了保护和固定稳定柱内部元件的作用，避免了装置元件受外物碰撞发生损坏的情况，通过设置活动柱，用于固定防护网，同时使用活动柱对防护网进行收紧存放，进而提高了装置的实用性，通过设置固定板，起到了固定固定柱的作用。起到了固定固定柱的作用。起到了固定固定柱的作用。
技术研发人员：蒋芳芳 蒋晖晖
受保护的技术使用者：南京尹特利微电子科技有限公司
技术研发日：2021.10.27
技术公布日：2022/5/10