技术特征：
1.一种含铵盐化合物的化学放大光刻胶，其特征在于，包括以下质量份的各组分：所述铵盐化合物由三级铵阳离子和磺酸阴离子组成。2.根据权利要求1所述的含铵盐化合物的化学放大光刻胶，其特征在于，所述铵盐化合物选自以下结构通式：其中r1、r2和r3各自独立地选自c1～c
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烷基或碳原子可被氧原子或硫原子取代的烷基，或r1和r2形成c5～c
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脂肪环；r4为c1～c
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烷基或氟化烷基，或c6～c
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的芳基。3.根据权利要求2所述的含铵盐化合物的的化学放大光刻胶，其特征在于，所述铵盐化合物选自以下结构中的至少一种：
4.根据权利要求1所述的含铵盐化合物的的化学放大型光刻胶，其特征在于，所述碱性化合物和铵盐化合物的质量比为100:(5～80)。5.根据权利要求1所述的含铵盐化合物的的化学放大型光刻胶，其特征在于，还包括以下技术特征中的至少一项：a1)所述聚合物树脂为柏木醇(甲基)丙烯酸酯、羟基金刚烷醇(甲基)丙烯酸酯和内酯(甲基)丙烯酸脂的共聚物；a2)所述光致产酸剂选自全氟磺酸锍鎓盐或全氟磺酸碘鎓盐中的至少一种；a3)所述碱性化合物选自三甲胺、三乙胺、三正丙胺、三正丁胺、三正戊胺、三正已胺、三正庚胺、三正辛胺、三正壬胺、三正癸胺、三(3,6-二氧杂庚基)胺中的至少一种；a4)所述流平剂选自3m氟碳表面活性剂fc-4430或特洛伊troysol s366中的至少一种；a5)所述溶剂选自苯甲醚、甲苯、二甲苯、三甲苯、氯代苯、二氯苯、丙二醇单醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、双丙酮醇、γ-丁内脂或乳酸乙酯中的至少一种。6.根据权利要求1或5所述的含铵盐化合物的化学放大型光刻胶，其特征在于，所述聚合物树脂还包括以下技术特征中的至少一项：b1)所述聚合物树脂的重均分子量为4000～20000；b2)所述聚合物树脂的分子量分布系数为1.2～3.0；b3)所述聚合物树脂包括如下摩尔百分比的各组分：柏木醇(甲基)丙烯酸酯
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20～70％羟基金刚烷醇(甲基)丙烯酸酯
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10～40％内酯(甲基)丙烯酸酯
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20～40％。7.一种如权利要求1～6任一所述的含铵盐化合物的化学放大型光刻胶的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：将所述聚合物树脂、所述光致产酸剂、所述碱性化合物、所述铵盐化合物、所述流平剂以及所述溶剂进行混合后，得到所述的含铵盐化合物的化学放大型光刻胶。8.一种如权利要求1～6任一所述的含铵盐化合物的化学放大型光刻胶的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：将所述含铵盐化合物的化学放大光刻胶涂布在硅片上，依次经过前烘、后烘、曝光和显影，得到光刻图案。9.根据权利要求8所述的含铵盐化合物的化学放大型光刻胶的使用方法，其特征在于，还包括如下技术特征中的至少一项：
d1)前烘的温度为80～130℃；d2)前烘的时间为30～120s；d3)后烘的温度为80～120℃；d4)后烘的时间为30～120s；d5)曝光的能量为15～50mj/cm2；d6)显影所用的显影液为2.38％的四甲基氢氧化铵水溶液；d7)显影的时间为15～120s。
技术总结
本发明提供一种含铵盐化合物的化学放大光刻胶及其制备方法与使用方法，该化学放大光刻胶包括以下质量份的各组分，聚合物树脂25～150份，光致产酸剂1～15份，碱性化合物0.01～5份，铵盐化合物0.01～5份，流平剂0.01～5份，溶剂1250份；所述铵盐化合物由三级铵阳离子和磺酸阴离子组成。所述制备方法为，将上述各组分进行混合，得到所述的含铵盐化合物的化学放大型光刻胶。所述使用方法为，将所述含铵盐化合物的化学放大光刻胶涂布在硅片上，依次经过前烘、后烘、曝光和显影，得到光刻图案。本发明的光刻胶中添加了铵盐化合物，在光致产酸剂与碱性化合物中和的基础上，加入的具有缓冲性的铵盐化合物，能够提高曝光能量宽裕度，增加聚焦深度，改善线宽粗糙度。改善线宽粗糙度。
技术研发人员：傅志伟 梅崇余 潘新刚
受保护的技术使用者：徐州博康信息化学品有限公司
技术研发日：2022.12.20
技术公布日：2023/3/20