一种涂胶显影设备的结构的制作方法

1.本实用新型涉及涂胶显影设备技术领域，尤其是一种涂胶显影设备的结构。


背景技术：

2.现有半导体加工的光刻工艺中，涂胶设备、光刻设备和显影设备分别完成光刻胶涂布工艺流程、光刻工艺流程以及显影工艺流程。显影设备需要对曝光后烘干的硅片进行降温，而目前的显影设备的冷却是通过多个冷板对硅片冷却，冷板上设置有冷却通道，该冷却通道连通冷却液供应系统。
3.参照现有公开号为cn210668283u的中国专利，其公开了一种晶圆冷却装置及涂胶显影设备，所述晶圆冷却装置包括：冷却盘，用于承载晶圆；均流板，设置于所述冷却盘的下方，且均流板上设置有第一路槽；工作流体，设置于所述第一路槽内。
4.上述涂胶显影设备提供的晶圆冷却装置降低了冷却管破裂的几率，减少设备能耗，节约生产成本，而且避免了在均流板升降过程中冷却管位置的偏移，减少述冷却管破损几率的同时，降低了晶圆重工的几率，提高了产品良率。但是上述涂胶显影设备依旧存在着一些缺点，如：上述涂胶显影设备仅采用冷却盘做冷却装置，结构单一，冷却效率不高。


技术实现要素：

5.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种涂胶显影设备的结构，以解决背景技术中提到涂胶显影设备仅采用冷却盘做冷却装置，结构单一，冷却效率不高的问题。
6.本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
7.一种涂胶显影设备的结构，包括涂胶腔室和安装在所述涂胶腔室内部的托盘和冷却盘，所述托盘固定连接在转轴的顶端，所述冷却盘的中间开设有通孔，所述转轴穿过所述通孔，所述冷却盘设于所述托盘的下方，所述冷却盘的底端固定设置有支撑臂，所述支撑臂的另一端与伺服电机传动连接；所述涂胶腔室于所述托盘的上方设有出风装置，所述出风装置的内部于进风口处设有风扇，所述出风装置的出风口设有格栅，所述出风装置通过输风管与空气冷却器和鼓风机依次相连。
8.进一步的，所述涂胶腔室内部转动连接有丝杆，所述丝杆上活动连接有滑块，所述滑块与所述支撑臂的一端固定连接；所述丝杆的一端固定设有从动齿轮，所述伺服电机的输出轴上固定设有主动齿轮，所述主动齿轮与从动齿轮外啮合。
9.通过采用上述技术方案，伺服电机启动，通过主动齿轮和从动齿轮的传动作用，丝杆能够进行转动，滑块在丝杆的作用下在丝杆上滑动。
10.进一步的，所述空气冷却器和鼓风机设于所述涂胶腔室内，所述涂胶腔室的外侧对应于所述鼓风机的位置处设有通风窗。
11.通过采用上述技术方案，通风窗将涂胶腔室外和涂胶腔室打通，便于鼓风机运转将空气从涂胶腔室外流通到涂胶腔室内部。
12.进一步的，所述输风管和所述出风装置的连接处可拆卸连接有进气阀。
13.通过采用上述技术方案，进气阀能够调节进入出风装置内部的空气量，便于控制出风量和出风速度。
14.进一步的，所述冷却盘的内部设有循环水道，所述循环水道与水冷循环设备连通。
15.通过采用上述技术方案，循环水道便于冷却水在冷却盘和水冷设备之间进行交换，有利于提高冷却效率。
16.进一步的，所述托盘和所述冷却盘均采用可导热材料制成。
17.通过采用上述技术方案，可导热材料具有良好的导热性能，有利于热量的传递，提高了冷却降温的效率。
18.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
19.1、该实用新型的托盘下方设有冷却盘，且托盘的上方设有出风装置，出风装置通过输风管与空气冷却器和鼓风机依次相连，冷却盘和出风装置的冷风同时作用在托盘上，为托盘上的硅片产品进行冷却，双重冷却机构使得冷却效果更好。
附图说明
20.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
21.图1为本实用新型实施例的结构示意图。
22.图中：1、涂胶腔室；2、托盘；3、冷却盘；4、支撑臂；5、转轴；6、滑块；7、丝杆；8、伺服电机；9、主动齿轮；10、从动齿轮；11、出风装置；12、鼓风机；13、空气冷却器；14、进气阀；15、输风管；16、风扇；17、通风窗。
具体实施方式
23.为了使本实用新型的目的、技术方案进行清楚、完整地描述，及优点更加清楚明白，以下结合附图对本实用新型实施例进行进一步详细说明。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.实施例1
27.参考图1，一种涂胶显影设备的结构，包括涂胶腔室1和安装在涂胶腔室1内部的托盘2和冷却盘3，托盘2用于盛放加工完成后待冷却的硅片产品，托盘2固定连接在转轴5的顶
端，冷却盘3的中间开设有通孔，转轴5穿过通孔，冷却盘3设于托盘2的下方，冷却盘3靠近托盘2便于对托盘2上的产品进行冷却，冷却盘3的底端固定设置有支撑臂4，支撑臂4的另一端与伺服电机8传动连接，冷却盘3的位置可以随着支撑臂4的位置进行改变，从而改变冷却盘3到托盘2的距离，实现不同程度的冷却；涂胶腔室1于托盘2的上方设有出风装置11，出风装置11的内部于进风口处设有风扇16，出风装置11的出风口设有格栅，出风装置11通过输风管15与空气冷却器13和鼓风机12依次相连，出风装置11可以将经过空气冷却器13冷却并经鼓风机12送入的冷空气吹到托盘2的表面，进而对产品进行冷却，风冷和冷却盘3双重冷却方式提高了冷却效率。
28.具体的，参考图1，涂胶腔室1内部转动连接有丝杆7，丝杆7上活动连接有滑块6，滑块6与支撑臂4的一端固定连接；丝杆7的一端固定设有从动齿轮10，伺服电机8的输出轴上固定设有主动齿轮9，主动齿轮9与从动齿轮10外啮合，伺服电机8启动，通过主动齿轮9和从动齿轮10的传动作用，丝杆7能够进行转动，滑块6在丝杆7的作用下在丝杆7上滑动，滑块6带动支撑臂4上下移动从而改变冷却盘3到托盘2的位置，调节冷却效果。
29.具体的，参考图1，空气冷却器13和鼓风机12设于涂胶腔室1内，涂胶腔室1的外侧对应于鼓风机12的位置处设有通风窗17，通风窗17将涂胶腔室1外和涂胶腔室1打通，便于鼓风机12运转将空气从涂胶腔室1外流通到涂胶腔室1内部。
30.具体的，参考图1，输风管15和出风装置11的连接处可拆卸连接有进气阀14，进气阀14能够调节进入出风装置11内部的空气量，便于控制出风量和出风速度。
31.具体的，参考图1，冷却盘3的内部设有循环水道，循环水道与水冷循环设备连通，循环水道便于冷却水在冷却盘3和水冷设备之间进行交换，有利于提高冷却效率。
32.具体的，参考图1，托盘2和冷却盘3均采用可导热材料制成，可导热材料具有良好的导热性能，有利于热量的传递，提高了冷却降温的效率。冷却盘3和托盘2采用铜材料制成，铜的导热效率优良。
33.工作过程，在需要对托盘2上的产品进行冷却时，根据需要冷却的程度，启动伺服电机8驱动主动齿轮9旋转，带动从动齿轮10转动，丝杆7随着从动齿轮10转动，滑块6在丝杆7的作用下沿着丝杆7滑动，滑块6带动支撑臂4向上或者向下移动，从而调节冷却盘3到托盘2的距离，控制冷却的程度；同时，鼓风机12将涂胶腔室1外的空气传输到空气冷却器13，经过冷却的空气从进气阀14进入出风装置11，出风装置11内的风扇16将冷空气扩散在传输到托盘2的表面，风冷和冷却盘3双重冷却方式对产品进行冷却。
34.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。