技术特征：
1.一种涂胶显影设备的结构，包括涂胶腔室(1)和安装在所述涂胶腔室(1)内部的托盘(2)和冷却盘(3)，其特征在于，所述托盘(2)固定连接在转轴(5)的顶端，所述冷却盘(3)的中间开设有通孔，所述转轴(5)穿过所述通孔，所述冷却盘(3)设于所述托盘(2)的下方，所述冷却盘(3)的底端固定设置有支撑臂(4)，所述支撑臂(4)的另一端与伺服电机(8)传动连接；所述涂胶腔室(1)于所述托盘(2)的上方设有出风装置(11)，所述出风装置(11)的内部于进风口处设有风扇(16)，所述出风装置(11)的出风口设有格栅，所述出风装置(11)通过输风管(15)与空气冷却器(13)和鼓风机(12)依次相连。2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的结构，其特征在于，所述涂胶腔室(1)内部转动连接有丝杆(7)，所述丝杆(7)上活动连接有滑块(6)，所述滑块(6)与所述支撑臂(4)的一端固定连接；所述丝杆(7)的一端固定设有从动齿轮(10)，所述伺服电机(8)的输出轴上固定设有主动齿轮(9)，所述主动齿轮(9)与从动齿轮(10)外啮合。3.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的结构，其特征在于，所述空气冷却器(13)和鼓风机(12)设于所述涂胶腔室(1)内，所述涂胶腔室(1)的外侧对应于所述鼓风机(12)的位置处设有通风窗(17)。4.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的结构，其特征在于，所述输风管(15)和所述出风装置(11)的连接处可拆卸连接有进气阀(14)。5.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的结构，其特征在于，所述冷却盘(3)的内部设有循环水道，所述循环水道与水冷循环设备连通。6.根据权利要求1所述的一种涂胶显影设备的结构，其特征在于，所述托盘(2)和所述冷却盘(3)均采用可导热材料制成。
技术总结
本实用新型公开了一种涂胶显影设备的结构，其技术方案要点是：包括涂胶腔室和安装在所述涂胶腔室内部的托盘和冷却盘，所述托盘固定连接在转轴的顶端，所述冷却盘的中间开设有通孔，所述转轴穿过所述通孔，所述冷却盘设于所述托盘的下方，所述冷却盘的底端固定设置有支撑臂，所述支撑臂的另一端与伺服电机传动连接；所述涂胶腔室于所述托盘的上方设有出风装置，所述出风装置的内部于进风口处设有风扇，所述出风装置的出风口设有格栅，所述出风装置通过输风管与空气冷却器和鼓风机依次相连。本实用新型采用风冷和冷却盘双重冷却方式，冷却效果更好。效果更好。效果更好。
技术研发人员：李光林 车钟男
受保护的技术使用者：无锡天酬半导体设备有限公司
技术研发日：2022.01.10
技术公布日：2022/8/26