一种热点检测方法及装置与流程

文档序号:34811967发布日期:2023-07-19 13:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种热点检测方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的热点检测方法,其特征在于,所述检测模型包括至少一个分类器,所述存储多张包括电路版图的第一图像至图像库中后,所述方法还包括:

3.根据权利要求2所述的热点检测方法,其特征在于,所述将所述第一图像划分为至少一种图像集合,包括:

4.根据权利要求3所述的热点检测方法,其特征在于,所述根据所述热点的类型,划分所述第一图像之前,所述方法还包括:

5.根据权利要求3所述的热点检测方法,其特征在于,所述基于所述电路版图中所述热点四周的区域,划分所述第一图像,包括:

6.根据权利要求1所述的热点检测方法,其特征在于,所述特征向量至少包括以下任意两种参数:

7.根据权利要求1所述的热点检测方法,其特征在于,所述获取所述图像库中与所述待测图像匹配的匹配图像,包括:

8.根据权利要求1所述的热点检测方法,其特征在于,还包括:

9.根据权利要求1-8任一所述的热点检测方法,其特征在于,所述检测模型的训练过程包括:

10.一种热点检测装置,其特征在于,包括:


技术总结
本申请涉及热点识别领域,具体而言,涉及一种热点检测方法及装置,一定程度上可以解决通过光刻仿真方式进行热点检测时准确性差的问题。所述的热点检测方法包括:存储多张包括电路版图的第一图像至图像库中,所述电路版图包含热点;确定所述图像库中与待测图像匹配的匹配图像,所述第一图像包括所述匹配图像,所述待测图像包括需要进行热点检测的晶圆;获取所述匹配图像的特征向量;将所述特征向量输入至预设的检测模型中,基于所述检测模型的输出,确定所述晶圆中热点的类型及位置。

技术研发人员:贡顶,俞一天,王亮,刘春学,黄昊
受保护的技术使用者:苏州珂晶达电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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