一种可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶及其压印方法与制品

文档序号:37429327发布日期:2024-03-25 19:20阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,所述紫外光固化压印胶的配方包括:

2.根据权利要求1所述的可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,所述含乙烯基的甲基环硅氧烷中乙烯基含量为30~45%;

3.根据权利要求1所述的可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,所述含si-h的甲基环硅氧烷包括三甲基三氢环三硅氧烷、1,3,5,7-四甲基环四硅氧烷、2,4,6,8,10-五甲基环五硅氧烷、2,4,6,8,10,12-六甲基环六硅氧烷中的一种或几种;

4.根据权利要求1所述的可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,所述含氟表面活性剂包括全氟烷基羧酸盐、全氟烷基季铵盐、全氟烷基酰胺类型、全氟烷基eo加成物、全氟烷基甜菜碱型中的一种或几种。

5.根据权利要求1所述的可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,所述紫外光催化剂为铂催化剂,包括但不限于乙酰丙酮铂(ii)、二氯二环戊二烯铂、(1,3-二乙烯基-1,1,3,3-四甲基二硅氧烷)铂、(1,5-环辛二烯)二氯化铂中的一种或几种。

6.根据权利要求1所述的可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,所述活性稀释剂包括己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚中的一种或几种;

7.一种可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶的压印方法,其特征在于,所述压印方法包括:

8.根据权利要求7所述的压印方法,其特征在于,所述(2)中模板压在紫外光固化压印胶上的压力为0.6~1.4atm;

9.根据权利要求7所述的压印方法,其特征在于,所述(3)中紫外波长为350~410nm,紫外光线强度为50~200mw/cm2;

10.一种具有纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,其特征在于,其由权利要求1~6任一所述可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶制得,和/或由权利要求7~9任一所述可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶的压印方法制得,该具有纳米尺度图案的紫外光固化压印胶的厚度为10~500nm,单列宽为10~500nm。


技术总结
本发明涉及一种可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶及其压印方法与制品,属于纳米压印技术领域。本发明公开了一种可制备纳米尺度图案的紫外光固化压印胶,所述紫外光固化压印胶的配方包括:含Si‑H的甲基环硅氧烷10~90%、含乙烯基的甲基环硅氧烷10~90%、紫外光催化剂0.1~1%、活性稀释剂0.1~10%、含氟表面活性剂0.1~10%、其他微量助剂0.01~5%;所述配方中硅氧烷的含量为50~70%;所述含Si‑H的甲基环硅氧烷中的Si‑H、含乙烯基的甲基环硅氧烷中的乙烯基的比值1:(0.5~2)。本发明还公开了一种压印方法及厚度为10~500nm,单列宽为10~500nm的紫外光固化压印胶。本发明的具有纳米尺度图案的紫外光固化压印胶形状准确,边界清晰,分辨率高;可进一步加工刻蚀,可具有较强的抗刻蚀能力与刻蚀选择性。

技术研发人员:宋育杰,孙佳琪,刘明,周子皓
受保护的技术使用者:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
技术研发日:
技术公布日:2024/3/24
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